「半导体超纯水设备用水水质标准」.pdf

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1、半导体超纯水设备用水水质标准半导体超纯水设备用水水质标准半导体超纯水设备是应用于半导体生产零件清洗的超纯水设备,需要符合特定的用水水质标准,下面具体介绍下半导体超纯水设备。半导体超纯水设备水质标准:半导体超纯水设备出水水质要符合美国 ASTM 纯水水质标准、我国电子工业电子级水质技术标准(18.c、15M.cm、10M.、2Mcm、05.m)我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。半导体超纯水设备制备工艺:1、预处理系统反渗透系统中间水箱粗混合床精混合床纯水箱纯水泵紫外线杀菌器抛光混床精密过滤器用水点(1M.CM)(传统工艺)2、预处理反渗透中间水箱水泵D装置纯

2、化水箱纯水泵紫外线杀菌器抛光混床.2 或.m 精密过滤器用水点(8M.C)(最新工艺)3、预处理一级反渗透加药机（P调节)中间水箱第二级反渗透(正电荷反渗膜)纯水箱纯水泵DI 装置紫外线杀菌器.或0.5精密过滤器用水点（1M.C)(最新工艺)4、预处理反渗透中间水箱水泵ED装置纯水箱纯水泵紫外线杀菌器.2 或.m 精密过滤器用水点(15M.CM）（最新工艺)5、预处理系统反渗透系统中间水箱纯水泵粗混合床精混合床紫外线杀菌器精密过滤器用水点（15.CM)（传统工艺）半导体超纯水设备的应用领域：电解电容器生产铝箔及工作件的清洗。电子管生产、显像管和阴极射线管生产配料用纯水。黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水。生产液晶显示器的屏面需用纯水清洗和用纯水配液。晶体管生产中纯水主要用于清洗硅片。集成电路生产中高纯水清洗硅片。半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路用纯水。半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗。高品质显像管、萤光粉生产。汽车、家电表面抛光处理。