EDS 常见问题.pdf

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1、1.EDS 的谱峰有很多峰位对应于同一个元素，是不是说明这个元素含量很高看了看了 EDSEDS 的原理这个问题就会明白，的原理这个问题就会明白，EDSEDS 是一个电子壳层的电子被外来粒子是一个电子壳层的电子被外来粒子或者能量激发，留下一个空位，然后外层电子跃迁至这个空位，同时就会放出或者能量激发，留下一个空位，然后外层电子跃迁至这个空位，同时就会放出特征特征 X X 射线，这样不同壳层之间的电子转移导致的能量差就会有不同的谱线，射线，这样不同壳层之间的电子转移导致的能量差就会有不同的谱线，EDSEDS谱线就是把这些特征谱线就是把这些特征X X射线脉冲的累积分开得到的。射线脉冲的累积分开得到的

2、。这样就能理解谱线越多，这样就能理解谱线越多，说明外面的电子占有壳层越多。而定量分析时是根据不同元素来选择不同线系说明外面的电子占有壳层越多。而定量分析时是根据不同元素来选择不同线系的谱峰强度以及这个元素的响应值来做计算的，所以谱峰多跟元素含量没有关的谱峰强度以及这个元素的响应值来做计算的，所以谱峰多跟元素含量没有关系。系。峰的多少与元素含量的高低没有直接关系，峰的多少与元素含量的高低没有直接关系，对于原子序数较大的元素，对于原子序数较大的元素，其外其外层电子数目多，受激发的层电子数目多，受激发的 K K、L L、M M、N N 等线系的特征谱线就多。等线系的特征谱线就多。2.EDS 的谱峰里

3、面看不到前面的谱峰（比如8keV），是不是说明所选微区里前面的轻元素压根没有或很少对于超轻元素，若选用过高的加速电压，由于吸收增加，对于超轻元素，若选用过高的加速电压，由于吸收增加，X X 射线强度将会明射线强度将会明显减小，若关注超轻元素（显减小，若关注超轻元素（Z10Z20%wt20%wt），定量结果相对误），定量结果相对误差一般优于差一般优于 2%2%，探测限为，探测限为%;%;原子序数越小，含量越低，定量误差原子序数越小，含量越低，定量误差越大，最高可达越大，最高可达 50%;50%;3%wt3%wt含量含量20%wt20%wt 的元素，相对误差的元素，相对误差 10%10%以内以内1

4、%wt1%wt含量含量3%wt3%wt 的元素，相对误差的元素，相对误差 30%30%以内以内%wt含量%wt含量1%wt1%wt 的元素，允许的相对误差的元素，允许的相对误差 5050以内。以内。因为因为 EDSEDS 分析并没有那么精确，所以尽管分析报告的结果会有两位小数，分析并没有那么精确，所以尽管分析报告的结果会有两位小数，但只取一位小数就够了。但只取一位小数就够了。8.EDS 的测量深度EDSEDS 实际上是利用电子束激发样品的特征实际上是利用电子束激发样品的特征 X X 射线来进行元素分析，一般激发射线来进行元素分析，一般激发深度为微米至深度为微米至 5 5 微米深度微米深度9.E

5、DS 的谱峰里面看不到前面的谱峰（比如8 keV），是不是说明所选微区里前面的轻元素压根没有或者很少这个就要注意是否选取的样品位置周围有大颗粒或者其他厚介质的存在，这个就要注意是否选取的样品位置周围有大颗粒或者其他厚介质的存在，吸吸收了本来产率就低的轻元素收了本来产率就低的轻元素 X X 射线，对谱峰结果产生了严重干扰。当有这种现射线，对谱峰结果产生了严重干扰。当有这种现3象时，可以选择其他区域的样品比较一下一些过渡元素的象时，可以选择其他区域的样品比较一下一些过渡元素的 K K 线系和线系和 L L 线系，或线系，或者原地倾转样品，调整样品位置，看是否有明显的变化，以此判断原分析结果者原地倾转样品，调整样品位置，看是否有明显的变化，以此判断原分析结果的可靠性。的可靠性。4