《操作界面介绍》PPT课件.pptx

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1、操作软件的使用及注意事项操作软件的使用及注意事项一、启动操作软件启动操作软件前要把CP5611卡安装到电脑上，然后打开PRODAVE_MPI文件夹，双击SETUP安装驱动程序，重启后，打开控制面板，双击Set PG/PC Interface出现对话框，在属性里把通讯速率设为1.5M）。操作软件里datebase文件夹里面是数据库，recipe文件夹里面是配方。注意：注意：datebase文件夹里面是数据库，和文件夹里面是数据库，和recipe文件夹的名字都不能更文件夹的名字都不能更改，不然程序不能找到数据库和加载配方；假如数据库内数据内容很改，不然程序不能找到数据库和加载配方；假如数据库内数据

2、内容很多，可以用备用文件夹的初始数据库把他替换掉。（最好把数据库备多，可以用备用文件夹的初始数据库把他替换掉。（最好把数据库备份到数据库资料里面再删掉比较好）份到数据库资料里面再删掉比较好）双击桌面快捷方式，进入操作界面。注意必须在注意必须在PLC上电的情况下，软件才能与上电的情况下，软件才能与PLC之间建立通讯。如果中途之间建立通讯。如果中途PLC断电了，操作软件也必须重新启动才可以。断电了，操作软件也必须重新启动才可以。二、操作炉子控制流程1.加载配方加载配方（1）第一次加载配方：从配方界面点击从文件加载，选择要加载的配方，然后点击写入PLC按钮，则该配方就会加载到PLC里面。如果想自己更

3、改配方参数，则将配方改动后，点击保存到文件按钮，将新的配方重命名后点击确认即可。注意假如在配方运行当中，你更改了配方，而退出程序注意假如在配方运行当中，你更改了配方，而退出程序前，忘了点击保存到文件了，那么前，忘了点击保存到文件了，那么PLC里面为你改的新的配方，但文件夹里并在里面为你改的新的配方，但文件夹里并在此新的配方（虽然名字一样），那么重新进入操作软件后，只要点击从此新的配方（虽然名字一样），那么重新进入操作软件后，只要点击从PLC读取读取就可以找到新的配方了，如果不想用就可以找到新的配方了，如果不想用PLC里的配方，那么就从文件重新加载，然里的配方，那么就从文件重新加载，然后点击写入

4、后点击写入PLC，把里面的配方覆盖掉即可。，把里面的配方覆盖掉即可。（2）以后加载配方：一般只要进入操作软件后点击从PLC读取即可。不要从文件夹加载，避免忘了点击写入，而导致PLC里面运行的与界面显示的配方不一致。（3）在配方运行前修改配方参数后，必须点击写入在配方运行前修改配方参数后，必须点击写入PLC才行，才行，当在运行过程当中更改参数后则不用再点击写入了，即你触发了哪个位的地址，哪个参数就会自动写入PLC里面。（4）修改配方状态时，为确保误操作，都有进一级的提示和确认。如把真空模式改为氩气模式会出现对话框提示一下。2.检查主参数检查主参数此项参数主要与抽真空检漏及报警息息相关，一般在碎料

5、多时会更改打开插板阀时的压力参数，或在紧急处理时，避免重复报警而会更改此界面参数。检查主参数时还要顺便检查一下手动界面里的温度控制。检查主参数时还要顺便检查一下手动界面里的温度控制。检查起始温度是否为1175，因为融化第一步为恒温控制。还有PID参数。基本上每次运行前都要检查一遍。因为基本上每次运行前都要检查一遍。因为PLC掉电再上电后这些主参数会恢复为初掉电再上电后这些主参数会恢复为初始设定值。始设定值。PVPV：当前读到的温度值：当前读到的温度值SPSP：当前步的温度设定值：当前步的温度设定值起始：指配方使用温度控制时起始的温度设置值，因为按照工艺，融化第一步为起始：指配方使用温度控制时起

6、始的温度设置值，因为按照工艺，融化第一步为1175恒温控制，此时要把此参数设置为恒温控制，此时要把此参数设置为1175，配方目标温度也设为，配方目标温度也设为1175，这样程，这样程序才能恒温。序才能恒温。功率控制：PV指，输出的功率大小，SV指设定的功率大小。PIDPID参数设置：参数设置：OFFSET的设置如上图所示，如果增加10度则下限值设为10，点击确定。设的时候只要管下限就可，上限值会自动设置。注意一定要点击确认按钮。并且系统消息会有记录提示：3.抽真空及检漏抽真空及检漏可以手动抽真空，也可以自动抽真空，点击自动执行，再进行确认，就会触发程序自动执行。如果中途有紧急情况，可以点击停止

7、。每执行完一步，前面标记会显示为绿色，注意此时如果退出系统再重新进入此界面，注意此时如果退出系统再重新进入此界面，绿色则不会显示出来，但是程序还在自动运行。绿色则不会显示出来，但是程序还在自动运行。检漏通过后就可以运行配方了。4.自动执行配方程序自动执行配方程序基本功能介绍基本功能介绍点击开始运行，（比较重要的控制按钮都有进一步提示，确认后才执行，以免造成（比较重要的控制按钮都有进一步提示，确认后才执行，以免造成误操作）误操作）此时当前步配方就会自动加载到模式界面里来。未运行前配方跳转方面的许多选项，正常选项是缺省项，不能够操作。（如图1）（1）（2）（3）当开始运行以后，“当前步延时”按钮可

8、以操作，（此功能必须在运行的时候设置（此功能必须在运行的时候设置才起作用，暂停状态下不能够延时）才起作用，暂停状态下不能够延时）其余选项不能操作。（如图2）只有当点击暂停后，其余选项“进入新的设定”，“进入下一步”，“进入紧急冷却”等功能按钮才可以进行操作。（如图3）按下暂停按钮以后，此时如果需要跳到一个新模式或新阶段，可以输入新时间和模式编号，就可以看见新阶段的编号。输入期望的阶段编号，当看见该编号时，按下“进入新的设定”按钮，程序将从当前的阶段向前或者向后跳到期望的阶段。可以输入新时间使程序在选定的阶段的那个时间开始运行。注意注意“新新的时间的时间”是指此阶段已经走过的时间。是指此阶段已经

9、走过的时间。例如，不小心跳错步的情况下，想从新进入上一步所走的那一时刻，假如估计上一步已经运行了半个小时，这时候，要输入的时间为00：30，即半个小时。按下暂停按钮后，配方所处的状态是指：按下暂停按钮后，配方所处的状态是指：时间暂停在那一个时刻，不再计时；进出气控制还在运行不会变化；功率控制时，功率输出暂停到那个点上，例如暂停时刻功率为30%，那么在暂停的这个时间段内，功率输出就会一直为30%；温度控制时，也是恒温处在那个时刻的温度，例如，暂停时刻温度的给定值为1320，那么程序会让温度在1320恒温；隔热层会停止运行，当继续运行后，隔热层才会运行。点击继续运行后，则配方按时间斜率继续运行。配

10、方、模式、浏览界面功率、温度所代表的含义：配方、模式、浏览界面功率、温度所代表的含义：模式界面里的地址：配方界面里的地址：配方里面所代表的地址是指当前步的最终功率或温度，即当前步时间走完后功率和温度所达到的值。而配方里面的功率和温度值是指过程值，即每一时刻程序所设定的值。浏览界面的温度和功率值：左面功率的PV值与模式界面的白色的一行读到功率值是同一个值，而模式界面下面黄色的值为当前所设定的值。浏览界面下面的SV值是指程序未运行时，手动控制加热时所设定的值。左面温度PV值指热电偶测量的实际温度，与模式界面第一行读到的值是同一个值；SP值是指在温度控制时当前时间的温度设定值，与模式界面里的黄色的温

11、度设定值是同一个值。下面绿色的状态栏表示的是当前所选择的是温度控制还是功率控制。功率功率 温度温度 隔热层隔热层配方之间上一步与下一步功率，温度控制编程思路为：当自动跳转时以上一步的目标值作为下一步的起始值，然后再与该步的目标值比较，根据时间计算斜率进行自动控制。但是如果在上一步配方运行了一段时间的时候进行跳转，那么会采用炉子上步跳步前那一刻的温度给定值作为起始值来与该步的目标值来进行斜率运算进行控制。（注意当温度控制，如果检测到该步应为恒稳控制，（注意当温度控制，如果检测到该步应为恒稳控制，那么则执行恒温程序，如果不是则按照上面方法进行斜率计算。）那么则执行恒温程序，如果不是则按照上面方法进

12、行斜率计算。）修改参数：修改参数：当处于功率控制时：如上图，如果想要更改该步的目标功率，那么直接在配方界面更改即可。如果想要改变此刻当前步的设定功率只要双击黄色的一行的功率值设置为自己想要的功率就可以了，这时候程序会根据当前剩余的时间及目前的功率设定值和配方的目标值来自动计算斜率，进行控制。处于温度控制时：如果想要更改该步的目标温度，那么直接在配方界面更改即可。程序会按照新的斜率进行计算；如果想更改此时刻的设定值，那么在模式界面更改即可；如果想进行恒温控制，那么两个参数地址设为一样的值即可。注意：现在程序修正为无论在暂停还是运行状态下温度时时设定值都可以修改，配方里面的温度设定值也可以修改。在

13、暂停后把温度控制改为功率控制后，温度的时时设定值跟随为TC读到的值，这样再改为温度控制时不会有温度误差报警，但是如果原来为恒温控制的话需要操作人员把时时设定值设为恒温控制。隔热层位置设定隔热层位置设定在长晶阶段设定隔热层目标位置时，不能随意设定，必须理论计算一下隔热层能不能随意设定，必须理论计算一下隔热层能否达到你所设得运行速度。否达到你所设得运行速度。因为他为匀速运行，速度即为当前步所要走的位置除以当前步的时间。他的最小速度为0.1mm/min，所设定的速率不能小于此值，否则不能运行。进出气设定进出气设定注意在冷却阶段出气控制为时开时关控制，即小口径氩气进气总是时开时关状态。所以配方里进气参

14、数地址上必须设定上值，程序按照你所设的百分比来控制阀门开时打开的程度。5.自动运行时进入手动界面自动运行时进入手动界面在配方运行时如果出现一些紧急情况，如氩气管道坏掉，此时可进入手动界面，关掉相应阀门进行保压，此时需要先点击“手动”按钮进入手动界面时需要输入初始密码1 2 3 才能进入，密码更改请在主参数里更改。输入密码后除了该界面上下面的三个按钮缺省外，其余按钮都可以进行操作。注意：需要手动干预隔热层运动时，必须先把配方的当前的自动运行停止，注意：需要手动干预隔热层运动时，必须先把配方的当前的自动运行停止，（因为配方里的自动控制与手动控制分别是不同的程序）也就是进入隔热层（因为配方里的自动控

15、制与手动控制分别是不同的程序）也就是进入隔热层窗口后先点击停止按钮，再设定自己想要的位置与速度，再开始运行，一般窗口后先点击停止按钮，再设定自己想要的位置与速度，再开始运行，一般情况下不要人为干预隔热层的运行。情况下不要人为干预隔热层的运行。修改进入手动的密码修改进入手动的密码当配方在自动运行后，操作人员想进入手动界面的话，需要输入密码。假如想设定成自己方便的密码可以在模式界面主参数设置里面点击下面按钮进行更改。只要输入初始密码123，再下面输入自己想要的密码，并确认一遍，就可以了。5.曲线界面介绍曲线界面介绍数据曲线可以24小时与4小时界面相互转换，方便操作人员观察曲线趋势走向。点击向左向右

16、按钮可以观察以前的曲线与当前的曲线，方便查看曲线。最左边按钮可以一下翻到最早的数据库；查看上一天的数据；向左移动一个小时。X+,X-有放大，缩小功能。想观察谁的曲线就在选择当前刻度曲线里选择。点击下面曲线的名字可以开关当前曲线，例如让他出现或者是消失。点击YS可以设置曲线的纵轴。注意：（注意：（1 1）在）在4 4小时模式下下面所对应的时间是不对的，必须在小时模式下下面所对应的时间是不对的，必须在2424小时的模式下小时的模式下来查询时间。来查询时间。（2 2）数据库里只保存近一个月的曲线数据，当超过一个月后，程序将自动把以）数据库里只保存近一个月的曲线数据，当超过一个月后，程序将自动把以前的

17、数据删除掉前的数据删除掉。查看近期铸锭功能介绍查看近期铸锭功能介绍设有近期铸锭曲线和功率曲线对比窗口，近期铸锭曲线主要是在配方运行时如果想尽快查看以前某一次铸锭的曲线情况，可以点击此按钮：如下图，选择要查看的日期然后点击确定，界面就会自动跳到要查看的那一炉硅锭曲线的时间上。功率曲线功能介绍功率曲线功能介绍功率曲线对比窗口，主要是为了方便工艺人员把功率曲线调用出来对比，好进行工艺参数的修改而设置的。操作时先点击“功率曲线对比”按钮，此时进入如下界面：功率曲线对比界面选择要对比的两条功率曲线点击确认，两条曲线就会出现在此界面上。方便操作人员进行对比。6.6.出炉时注意事项出炉时注意事项当运行到冷却

18、阶段，温度低于400以下时就可以出炉，操作人员即可手动进入冷却阶段程序第五步，此时压力进一步上升，隔热层到达最大位置，等这一步时间走完，选择保存或者不保存当前的运行曲线后，充入氩气使压力达到1000mbar，即可出炉。备注：如果觉得这一炉运行数据比较好，就可以点击确定，这时候这炉的功率数据曲线会保存到数据库里，以备热电偶出现故障时调用此功率曲线。下腔室操作界面现在如果压力低于980mbar，或温度高于400度均不能打开详细的操作界面。但是如果是传感器坏了，想打开下腔室的话，就点击上面的下腔室按钮为可用，使用手动方式打开下腔室。机械泵保护现在加了机械泵保护程序，在配方未运行时，只要开启机械泵抽气

19、再点击关闭后，程序会自动将抽气阀门关闭，将充大气阀和检漏阀打开，当TC管压力大于900MBAR时，充大气阀和检漏阀两个阀门自动会关闭。维修调试界面维修调试界面三、报警说明及其处理方法（1 1）报警说明）报警说明（注意但凡与主参数关联的部分的参数值都是可以修改的）异常报警异常报警1、最大压力报警（冷却第、最大压力报警（冷却第5步时此报警无效）步时此报警无效）最大压力有两级报警，如果炉子压力超过警告值，状态框将会变成黄色，此为第一级报警。第二级报警说明在自动模式下炉腔内的实际压力已经超过了最大的允许压力值，状态框将会变成红色，这两级报警与主参数屏幕上的压力限定时间一起控制以防过压。气体模式下，当压

20、力达到警告值860 mbar时会出现黄色报警，此时黄灯亮，如果操作人员关闭了蜂鸣器的声音，则这时开始计时，30s后重复报警，即每隔30s就重复报警；当达到最大压力900mbar值时会出现红色报警，配方自动暂停，报警那一刻开始计时，时间超过30S时，复位不成功，加热器电源会自动断开，属于紧急报警。压力重复报警时间和压力极限时间放在同一个主参数地址上，改的时候同时起作用。即上面这所有的30S虽然代表含义不同，但是所指向的都是同一个主参数。2、压力误差：高、压力误差：高 低低 气体模式下，当前压力误差已经超过了最大压力误差，发出这个报警，通常情况下因为断开气源才会发出这个报警，所以一般在熔化第一阶段

21、转到第二阶段，实际压力误差太大就会发出这个报警，当炉子没有处于自动模式时也不会发出这个报警。气体模式下，实际压力和设定压力不一样，压力误差达到200mbar，就会触发该报警。并且每隔30s就重复报一次警。注意上面报警参数30S是同一个主参数。即与压力有关的时间都用这个主参数。3、在真空阶段压力变化量、在真空阶段压力变化量 近似近似 精确精确在真空阶段，用这个参数监控炉腔内的压力微小变化，如果压力变化量太大且已经超过压力限定的时间，再次发出报警，如果发出这个报警，一般为热偶保护管泄露。炉子运行时，真空模式下，压力在1.33mbar下，压力增量超过0.05mbar每秒，精确值报警，压力在1.33m

22、bar上，压力增量超过0.1mbar每秒，近似值报警，呈现红色。4、在真空阶段的最大压力报警、在真空阶段的最大压力报警 真空模式下当压力达到上面压力5时会出现此报警。假如报警解决不了，会每隔30S就重复报警。注意上面报警参数30S是同一个主参数。当发出这个报警时，说明炉内过压，可能存在泄露，或者硅料排气过多。5、氩气流量误差报警、氩气流量误差报警 （当配方阀门处于时开时关控制时不报警）这个报警说明质量流量控制器氩气流量误差已经超过了主参数屏幕上规定的误差。氩气流量误差与主参数屏幕上的氩气流量最大误差限定时间同时作用，当超过了这个限定时间，就会发出这个报警，通常情况下，由于断开氩气源才会发出这个

23、报警。当氩气流量误差（设定值与实际值）差距10，并且超过允许时间30S后会触发此报警。次报警的重复报警时间为60S。注意60s与主参数无关。6、水温报警、水温报警此报警有4路，水温超过50则检测开关会发出信号，提示水温过高。（此为开关量常闭点报警，现机械部分没有安装，因为考虑以后安装检测实际温度的传感器）7、主电源掉电报警、主电源掉电报警此报警为常闭点，当主电源掉电后，会使用UPS供电，程序会自动将抽气阀门关闭。在融化和长晶期间掉电后，当炉内温度下降到所允许的温度极值时，程序会自动进入急冷。当主电源在短时间内恢复后，请操作人员打开抽气阀门，复位加热开关，最好使用功率控制模式，使炉内温度恢复到掉

24、电前的温度，再转换为温度控制模式，点击继续运行。8、加热控制器出现故障报警、加热控制器出现故障报警当英杰控制柜内的控制器出现故障会触发此报警，此报警出现后，配方自动暂停。一般出现此报警后说明加热部分出现异常，需要人工紧急处理，如果处理不好则要手动进入紧急冷却。由于引起这块的故障原因很多，需要操作工帮忙来分析，做出应急措施。程序不会做紧急处理。补充：所允许的温度极值（所允许的温度极值（）即掉电时的实际温度减去主参数里面的值，处于哪个阶段就减去相应的里面里的值，就是极值。9、加热电源接触器断开、加热电源接触器断开（在冷却阶段和急冷阶段加热器正常断开的时候不会触发报警）在触发紧急报警处理后同时会出现

25、此报警（紧急报警包括：主电源掉电、最大压力、最大温度、水临界值报警）；人为断开加热开关人为断开加热开关也会触发此报警。此报警出现后，配方自动暂停。出现的对话框如上图所示。发出这个报警说明没有接通电源接触器，只有炉子处于自动状态下，才会发出这个报警。注意“主电源掉电”和“加热控制器故障”报警（都是加热部分出现故障）都会引起加热接触器断开（指的是加热开关）报警，而“加热接触器断开报警”进而会触发在哪个阶段出现故障，故障持续时间，以及处于什么模式以及当前温度值，允许的温度极值，等等并且当在融化和长晶阶段当掉电温度超过所允许的温度极值时程序会进入急冷。10、最大功率、最大功率最大功率重复报警时间.12

26、0S当输出功率超过95%时发出该报警，此报警出现后，配方自动暂停。重复报警时间间隔为60s。即每隔60S声音就会响，但不会断电但不会断电。11、温度误差、温度误差 高高 低低 手动改变温度时，如果变化量太大，或者测量温度值没有按照温度曲线而变化，就会发出这个报警。温度误差重复报警时间.120S设定温度和实际温度两者偏差太大，超过40度，便会报警，相反，低于设定温度40度也会报警，出现此报警后，配方自动暂停。，若关闭了报警声音，120s后温差还没解决，则重复报警，但不会断电。但不会断电。12、最大温度、最大温度 对应主参数：炉子实测温度达到1575以上，便会报警，出现此报警后，配方自动暂停。报警

27、时间在120s，超过时间温度还是1575以上，炉子自动断电，属于紧急报警。此报警声音和硅液溢流声音都为220V蜂鸣器发出的声音。13、UPS电源故障报警电源故障报警当UPS电源走旁路时会提示此报警。该故障发生后，如果主电源掉电后，UPS不能起作用，所以要及时修复此报警。14、TC管泄漏报警管泄漏报警 检漏阶段，炉子压力超过0.015mbar，则TC管泄露报警。炉子运行阶段，压力低于890时也会触发此报警。15、气体供应报警、气体供应报警压缩空气源出现故障，气体压力低于设定极值如40psi会触发报警，重复报警时间间隔为60S。16、高温计没有处于起始位置、高温计没有处于起始位置当检测高温计限位开

28、关离开起始位置超过（600s）则会触发该报警，并提醒操作人员复位高温计位置。17、热电偶故障、热电偶故障热电偶出现问题，不能正常显示温度（一般显示1820）出现该报警，配方自动暂停。弹出如上所示对话框，如复位不成功，确认热电偶出现故障，一般转入功率控制模式。注意1一开始出现热偶断开报警之前，会先触发“最大温度”和“温度误差”报警，但一旦热电偶故障报警出现后，两个报警就会自动取消掉。注意注意2：热偶故障后，程序自动以：热偶故障后，程序自动以40%的功率输出，保证炉内温度不会掉很多。如下的功率输出，保证炉内温度不会掉很多。如下图所示：图所示：18、警告、警告-硅液溢流！硅液溢流！（当在熔化和长晶阶

29、段时硅液溢流报警处理方法为超过30S解决不了，程序将自动进入急冷状态，当在其余阶段时不作任何处理，只发出报警。）正常硅液溢流界面窗口炉子运行时，溢流线超过限制会立刻发出该报警，配方自动暂停。，30s内如果复位不成功，则炉子转入急冷程序。30s从报警时刻开始计时。19、水流报警、水流报警当水流处于警告值时，若没有处理好，每30S会提醒一次。当水流量处于临界值时，在限定时间20S内如果报警不能解决，程序就会直接断开加热器电源，属于紧急报警。正常报警正常报警正常报警在配方里设定了特殊功能的情况下才会触发。与正常报警相关联的主参数为正常报警重复时间间隔.（300S）20、需要操作工的帮助，硅液即将结束

30、熔化、需要操作工的帮助，硅液即将结束熔化在熔化9步，提醒操作工，观察之。当高温计温度突然下降并超出一定值时触发报警。重复报警间隔时间为（300s），即每隔300s会提醒操作人员一次。21、需要操作工的帮助，中心部分长晶结束、需要操作工的帮助，中心部分长晶结束当高温计温度在一段时间内上升超过一定值时，会触发长晶结束报警。重复报警时间间隔为（300s），经过观察，确认可以进入自动延时（30min）时再进行操作。补充说明：补充说明：出现以下报警，炉子自动处于暂停模式方便操作人员进行处理。出现以下报警，炉子自动处于暂停模式方便操作人员进行处理。最大压力，最大功率，温度误差，最大温度，加热器断开，加热控

31、制器故障，最大压力，最大功率，温度误差，最大温度，加热器断开，加热控制器故障，热电偶故障，硅液溢流，断水。热电偶故障，硅液溢流，断水。炉子暂停以后，自动计时，当达到炉子暂停以后，自动计时，当达到30分钟时发出报警声音，出现一个对话框分钟时发出报警声音，出现一个对话框提示：炉子已经暂停提示：炉子已经暂停30分钟是否继续运行？包含三个按钮分钟是否继续运行？包含三个按钮“消音消音”“复位复位”“退出退出”。复位功能的意思是重新计时。复位功能的意思是重新计时。当程序进入急冷阶段，报警灯状态显示为红色。当程序进入急冷阶段，报警灯状态显示为红色。（2 2）报警处理方法）报警处理方法异常报警异常报警（1）T

32、C管泄漏炉子自动运行时，出现TC管泄露，则可以关闭TC管抽气管道上的旋钮阀，以保证空气不进入炉腔。出炉后，更换TC管。（2）最大温度报警炉子实测温度达到1575以上，超过允许时间，炉子自动断电。（3）热电偶出现故障点击“消除报警声音，复位”。如果复位不成功的话，点击“转入功率模式”，设备就会沿用最近一次所保存的功率曲线继续运行。程序会以40%功率输出。（4）最大功率报警炉子自动运行当中，如出现最大功率报警，则点击暂停，进入模式界面的真实值，把温度模式改成功率模式，把功率设定值改小点，让温度达到设定温度，再继续运行。如果温度上不去，功率一直偏大，点击急停进入急冷阶段，防止加热器长时间过热被烧坏。

33、出炉后，用砂纸打磨加热板，把氧化层打磨掉，再用酒精擦洗，重新安装加热板。（5）外部氩气源出现故障 让炉子处于暂停状态下，输入手动密码：123,进入手动屏幕。关闭小口径抽气阀，小口径充气阀，让炉内的压力保持在600mbar。对氩气源进行维修,维修时间不应超过半小时。修好后，打开小口径抽气阀，小口径充气阀，恢复运行。（6）硅液溢流报警点击消除报警声音，复位。如果复位不了，打开模式界面，进入紧急冷却程序。硅液溢流属于危险报警，如果处于熔化后期，或长晶阶段，复位一次，如果复位不了，则立即进入急冷，确保炉子和人身安全。程序在30s内如果复位不成功，则也会自动进入急冷程序。（7）氩气流量误差报警查看进气阀

34、是否正常，外部氩气源压力是否正常。（8）高温计不在起始位置报警 到平台上把高温计复位即可。（9）断电断电后，首先检查冷却水运行是否正常，冷却水得有备用电源，或备用水源，确保冷却水运行正常，保证炉子的安全。短时间断电，则可以打开加热接触器，把运行程序转入功率模式，以恢复温度，从而继续运行程序。长时间的话手动进入急冷模式以保安全。（10）压缩空气源出现故障消除报警声音后，检查压缩空气源压力是否低于报警值，如果过低，检查维修压缩空气源。（11）流量计堵塞问题处理首先确认哪号管子水流偏低或没水。解决水的问题，炉子处于暂停模式。屏幕操作-先按消除报警声音健，记住掉电时功率和温度。等水的问题解决，按加热接

35、触器键开启电源接触器。进入模式界面的真值表,把温度模式改成功率模式，在功率设定一栏中输入大于掉电时的功率5%-10%的功率等待温度恢复到掉电前的温度。达到掉电时温度后,将功率模式改成温度模式，恢复正常运行。注意：如果炉子降温温度超过允许的降温范围，则进入紧急冷却，确保设备安全（12）断水设备运行时，冷却水得有应急备用水源，当设备冷却水供应中断时，打开应急备用水源，对设备进行冷却，确保设备及人身安全，屏幕处理方法按照流量计堵塞处理方法处理。注意：炉子处于自动运行状态，任何时候都要保证冷却水正常运行。正常报警（1）熔化结束报警先消除报警声音，通过高温计观察孔看液面圆形黑影是否较为平静，如果晃动厉害

36、，则说明还需要熔化一段时间，如较为平静,则说明熔化完全.点击进入下一步按钮。（2）中间长晶报警在长晶第六步报警，通过高温计观察孔看液面是否有固体，通过高温计观察口判断长晶速度，确定是否进入延时，如果确定进入延时，则点击自动延时按钮，那么程序就会走完设定的延时时间后（时间在主参数里来设）进入长晶的下一步。补充说明：当出现异常需要重启补充说明：当出现异常需要重启PLC时，请注意重新进入操作界面后，点击从时，请注意重新进入操作界面后，点击从PLC读取按钮，将配方上传上来，注意看一下炉子断电之前处于哪个阶段，温度是多少，读取按钮，将配方上传上来，注意看一下炉子断电之前处于哪个阶段，温度是多少，因为如果温度因为如果温度1175时会自动进入融化阶段，所以点击开始运行之前，可以将配时会自动进入融化阶段，所以点击开始运行之前，可以将配方加热第一步或者融化第一步参数先更改一下，使报警越少越好，尤其是温度方面方加热第一步或者融化第一步参数先更改一下，使报警越少越好，尤其是温度方面的报警和腔室压力的报警。的报警和腔室压力的报警。谢谢大家！