洁净室(区)空气洁净度等级表.pdf

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1、洁净室(区）空气洁净级别表洁净度级别0。5m 尘粒数100 级10,000 级100,000 级300，000 级3，500350，0003，500，00010,500，000尘粒最大允许数/立方米5m 尘粒数02，00020,00060，000微生物最大允许数浮游菌/立方米51005001000131015沉降菌/皿ISO14644-1（国际标准）空气洁净度等级(N）ISOISO Class1Class1ISOISO Class2Class2ISOISO Class3Class3ISOISO Class4Class4ISOISO Class5Class5ISOISO Class6Class6

2、ISOISO Class7Class7ISOISO Class8Class8ISOISO Class9Class9大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米)0。1um101001，00010，000100,0001，000,0000。2um2242372,37023，700237,0000。3um101021，02010，200102，0000 0。5um5um4353523,52035,200352,0003,520，00035，200,0008838328,32083，200832,0008，320，000292932,93029，300293，0001.0um5.0um

3、5.0um注注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平各国洁净度等级近似对照表ISOISO个/M0。5um14644146441 113。510.035.31003531，0002-34M1M1。5M2M2.5M3-110-USUS209E(1992209E(1992）USUS209D209D（1988)1988)EECEECcGMPcGMP（19891989）FRANCEFRANCEAFNORAFNOR（19811981）GERMANYGERMANYVDI2083(1990)VDI2083(1990)-01-2-JAPANJAPANJAOA(1989JAO

4、A(1989）-2-34-3,53010，00035，300100,000353，0001,000,0003,530，00010，000，00056-78M3.5M4M4.5M5M5.5M6M6.5M71001,00010，000-100，000A+B-1，000CD4，000-400，000-4,000，000-3-456-567-8-洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级大于或等于表中粒径的最大浓度限值（大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/mpc/m)空气洁净度等级空气洁净度等级(N(N）0。1um1234（十级）5(百级)6（千级）7（万级)8（十万级）9（一百万级）1010010001000010000010000000.2um2242372370237002370000。3um101021020102001020000 0。5um5um4353523520352003520003520000352000001um88383283208320083200083200005um5um29293293029300293000