基本光学测量技术教材课件.ppt

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1、第三章 基本光学测量技术第一节 光电测量用的精密测角仪第一节 光电测量用的精密测角仪n角度计量是计量科学的重要组成部分，随着生产和高科技的发展，对角度计量的要求日益增多，测角技术及其测量准确度因为在不断提高。光学测量所涉及的许多量是可以通过测量角度后间接得到的，例如棱镜角度的偏差、反射棱镜角度的光学平行差、玻璃材料的折射率、光学系统的焦距、自聚焦透镜的数值孔径等。n角度测量的方法和仪器很多，例如光学角度规、水平仪、测角仪、光学分度头、分度台、经纬仪、罗盘、体视望远镜、周视瞄准镜等。精密测角仪是实现任意角高精度测量的重要仪器之一，也是光学测量实验室的基本仪器。n测角仪的关键部件是圆分度器件，圆分

2、度是指对圆周的分度，角度测量就是使被测的角度量与圆分度进行比较。n实现圆分度的器件有很多种，常用的是度盘，其它还有多面体、圆光栅、光学轴角编码器、同步感应器等。1精密测角仪 一、精密测角仪概述n近年来，利用计量光栅的测角技术发展迅速，精度越来越高，应为圆周误差是封闭的，很容易采用全积分或多头读数法将圆光栅的刻划误差减小，使测角系统具有较高的测角准确度；同时随着微电子技术的发展，将光栅的一个刻线周期等分成百份甚至上千份都是能够办到的，因此可以获得很高的角分辨率；计量光栅还具有信号强、反差高非接触、响应速度快和便于控制等特点，因此它广泛应用于角度的计量中。国内外著名的精密测角仪，其角度基准器几乎都

3、是利用计量光栅制成的。1精密测角仪 一、精密测角仪概述n第一代测角仪-用光学度盘作基准器的测角仪（测量不确定度多数为秒级，如英国60年代生产的C-20型测角仪，不确定度1，分辨率0.1；n第二代测角仪-利用光栅做成的数显转台，不确定度达十分之一秒级，如我国航天航空工业部与1985年研制成功的精密数显转台，角分辨率为0.01,不确定度为0.22；西德70年代末研制的210转台，分辨率为0.02 ，不确定度为0.15 。n第三代测角仪-以电子计算机控制的具有自动测角功能的精密测角仪，如日本的用于角度编码器的自动校准系统，可以5转/分的转速动态测角，微机修正误差和数据处理分辨率为0.0135 ，不确

4、定度优于0.3 1精密测角仪 二、JC-1型精密测角仪工作原理nJC-1型精密测角仪是我国自行设计。研制成功的新型动态测角仪。该仪器在设计中采用积木式及结构，可进行多种组合以满足测角、测量光学材料折射率、测量光栅分度元件的刻划误差等的需要。该测角仪利用微机控制测角过程、修正分度误差及进行数据处理；能自动寻找最小偏向角，以最小偏向角法自动测量光学材料折射率，其功能如图3-1所示。n仪器主要由角度基准器、动态光电自准直仪、传动系统及电器柜等组成，如图3-2所示。二、JC-1型精密测角仪工作原理 图图3-1 JC-13-1 JC-1型精密测角仪功能图解型精密测角仪功能图解角度器件动态测试仪编码器，联

5、轴器编码器，联轴节谱线发光管精密测角仪角基准器+光电自准直仪棱镜、角度块、多面体折射率测量仪自寻光栅检验仪光栅盘，度盘等读数头光栅+1精密测角仪 二、JC-1型精密测角仪工作原理n由CMC-80单板机按预定速度控制无刷力矩电机直驱空气轴承转台。由测速机信号组成的速度环及光栅信号给出的位置环控制转台转动，获得了低速下的高稳定性传动。n角度基准器使用了一块刻线数为129600线光栅，由同一光源发出的光被对称的分成八路，形成平行光后照射在八个光栅副上，莫尔条纹光信号经硅光电二极管转换成电量，并给出 四路信号，采用载波调制锁相倍频技术细分为五百等份后，一度分秒共九位数字显示在面板上或送计算机采集。1精

6、密测角仪 二、JC-1型精密测角仪工作原理n动态光电自准直仪在收到自准信号后，形成对准脉冲，以此脉冲锁存角度基准器角度值并显示在面板上同时送计算机采集。JC-1型精密测角仪之所以能达到不确定度 （峰峰值），主要是测角仪中有几个关键单元技术达到较高水平。三、JC-1型精密测角仪的单元技术（一）空气静压轴承空气轴承为计量光栅提供了优良的轴系。用于测角的空气轴承回转精度高（运动误差小于0.025m），刚度高。曾在转台上 处值1.3公斤铅块，在此条件下检验测角仪精度与加载前物变化。1精密测角仪 三、JC-1型精密测角仪的单元技术（一）空气静压轴承在结构设计中采用双半球孔节流，背靠背结构形式增大了跨距，

7、两半球能自立，无干涉，空气轴承的运动和静止部分之间被一层空气包围，摩擦系数极小，且动、静之间无变化，无低速爬行。由于靠气膜而不是靠机械变形支撑，因此具有很高的置中性能，很适合作计量光栅的回转基准。（二）角度基准器一块 刻线129600条的圆光栅安装在空气轴承上，采用平行光照明，提取以此相差 的四路正余弦信号，光栅误差曲线经谐波分析后，认为选取八读数头系统较好，为了获1精密测角仪 三、JC-1型精密测角仪的单元技术得高质量光栅信号供电子电路细分，其结构设计的要点是：采用高精度回转精度；长焦距平行光管发出的平行光照明；多读数头合成；大视场接受；优化系统参数设计等，从而获得了能满足500细分要求的光

8、栅信号。原始信号经电路处理和500细分后，其分辨率为1精密测角仪 三、JC-1型精密测角仪的单元技术（三）动态光电自准直仪n自准直仪是精密测角仪重要组成部分，其主要功能是：动态自动取数，静态人工读数和接受谱线完成最小偏向角的测试。n动态测量-由平面反射镜返回的光线或光谱灯发出的单色光经分束镜分成两部分，一部分成像在分划板上，完成目视测量；另一路有两块直角棱镜等分成两部分，经两个狭缝分别有两支R456光电倍增管转换成电信号，两信号具有一固定相位差，经差分放大等电路处理后，给出一对称脉冲，以次脉冲提取角度信息锁存、显示，完成动态测量，如图3-3所示。用动态角度基准作为动态测量角度值的方式必须适应动

9、态采样速度响应的要求，其光路原理如图3-4所示。1精密测角仪 三、JC-1型精密测角仪的单元技术（三）动态光电自准直仪n静态读数-该自准直仪没有目视测量系统，读数分划格值为 ，目镜系统设计参数为：目镜视场角 ；目镜放大率 ；眼点距离15.37mm，出瞳直径1.12mm；目视分辨率60对线/毫米。其它与动态测量系统共用的参数有：物镜焦距900mm，物镜视场角 ；望远镜放大率倍数 ，物镜相对孔径118。动态光电自准直仪的主要技术关键是提取高质量的差分信号。信号质量主要指：两路差分信号的稳定性，等幅性，高信噪比和小的直流飘移等。信号质量直接影响差分点对准精度。1精密测角仪四、用于日常工作的测角仪器以

10、上介绍的JC-1型测角仪是属于高精密型的，在工厂和实验室中大量的日常测角工作是在一般的精密测角仪（精度为秒级）上完成的，一般精密测角仪结构原理如图3-5 所示，这类测角仪的所有部件包括自准直望远镜、工作台、平行光管、光学度盘、符合成像系统、轴系和读数显微镜系统都装在牢固的基座上。它的主要部分是光学度盘和轴系，二者精确共轴。测角仪工作之前必须调整自准直望远镜和平行光管的视轴，使它们垂直于光学度盘转轴（又称主轴），平行光管的视轴应位于自准直望远镜绕主轴转动时其视轴扫过的平面内（该平面与度盘刻线面平行）。1精密测角仪四、用于日常工作的测角仪器为了适应不同工作的需要，精密测角仪可以有多种形式，例如仪器

11、的主轴由铅垂位置改为水平位置，即可作成本章第二节所介绍的用于测量光学玻璃折射率和色散的V棱镜折光仪。第三章 基本光学测量技术第二节 测角技术的应用第二节 测角技术的应用一、在精密测角仪上测量棱镜的角度n准确度要求高的特殊棱镜，以及光学冷加工中使用的光学角度样板，除了30、45、60、90标准角度的棱镜，可以使用自准直方法并经计算获得较高的测角准确度外，通常都要在精密测角仪上测量角度。常用的方法有如下三种。（一）借助自准直望远镜定位对准测量棱镜角度（一）借助自准直望远镜定位对准测量棱镜角度图3-6（a）是一种测量方法的原理图。自准直望远镜的作用是对棱镜被测角的两个平面定位和对准，通常称为照准定位

12、。测量时可以使工作台和度盘固定，利用自准直望远镜转动来照准定位；123第二节 测角技术的应用一、在精密测角仪上测量棱镜的角度也可以使自准直望远镜固定，工作台和度盘转动。首先是自准直望远镜对准棱镜工作面，如图3-6（a）的实现所示位置，当看到自准直像和分划板本身重合时，表示自准直望远镜视轴与棱镜平面法线重合。这时，从度盘上得到一读数。然后使自准直望远镜与棱镜工作面对准，如图3-6（a）的虚线所示位置，又可得到一读数，两次读数之差即为两工作面法线的夹角。图中很容易看出被测角A为：123A=180-（3-1）第二节 测角技术的应用一、在精密测角仪上测量棱镜的角度n在精密测角仪上测量时，首先必须调节被

13、测棱镜的位置，使组成被测角的两平面法线构成的平面与自准直望远镜的视轴平行。这样当自准直望远镜分别在平面和上照准时，可同时得到在分划线本身重合的自准直像。为了是这样的调节方便起见，在工作台上可以按图3-6（b）所示那样来放置被测棱镜。这时转动调平螺钉3能使平面倾斜，而对平面的影响很小。当转动调平螺钉2时能使平面倾斜，而对平面的影响很小。度盘自准直望远镜被测角度工作台调平螺钉123第二节 测角技术的应用一、在精密测角仪上测量棱镜的角度（二）用平行光管和自准直望远镜组合定位对准（方法二）n使平行光管视轴和自准直望远镜视轴组成一锐角，如图3-6所示。先使构成被测角A的一个工作面转到图示位置，并调节到自

14、准直望远镜中看到平行光管狭缝的像。当狭缝像与自准直望远镜分划板刻线对准时，就表明平面的法线正处在该锐角的角平分线上。此时从度盘上可以取得一读数。度盘平行光管自准直望远镜第二节 测角技术的应用一、在精密测角仪上测量棱镜的角度然后，使工作台和度盘一起带着被测棱镜转动，直到使平面转到此位置上，并再次从自准直望远镜中看到平行光管狭缝的反射像。用同样对准后，有可以从度盘上取得另一读数。很明显。两读数之差就是平面和的法线之间的夹角，于是被测棱镜角A为：这时，自准直望远镜本身的照明灯泡不必点亮，作为普通望远镜使用。在测量之前也必须调节工作台的调平螺钉，是被测角两表面法线构成的平面与由平行光管视轴和自准直望远

15、镜视轴构成的平面相平行。度盘平行光管自准直望远镜第二节 测角技术的应用一、在精密测角仪上测量棱镜的角度（三）用分割平行光束定位对准测量棱镜顶角（方法三）n使被测角A的棱线对向平行光管，则由平行光管射出的平行光束分成两半，分别射到平面和平面上，如图3-7（b）所示。首先使自准直望远镜转到正对着平面反射光线的方向，观察到平行光管狭缝的反射像。当反射像和分划板刻线对准时，就可以在度盘上取得第一个读数；平行光管度盘自准直望远镜工作台第二节 测角技术的应用一、在精密测角仪上测量棱镜的角度然后使自准直望远镜转到正对着平面反射光线的方向，再次观察到平行光管狭缝的反射像，并使它与分划板刻线对准，从度盘上又可取

16、得一个读数。两读数之差即为图中的角 。很容易看出，被测角A为:这里自准直望远镜也是作为普通望远镜使用。测量之前还必须借助工作台调平螺钉调节棱镜的位置，使平面和的法线构成的平面与旋转望远镜时由视轴扫出的平面平行。平行光管度盘自准直望远镜工作台A=/2第二节 测角技术的应用二、光学玻璃折射率的测量n作为成像光学系统的介质材料，光学玻璃对折射率的要求是很严格的，在光学玻璃整个熔制过程中，需要不断地进行折射率测量，以便控制折射率的变化，和即使纠正偏差，保证成品玻璃的折射率在严格的质量指标范围内。n众所周知，折射率是以光在真空中的传播速度与在介质中的转播速度之比来定义的，但是要通过测量光速度来得到折射率

17、显然是很难办到的，光学玻璃折射率的测量主要借助于折射定律，即通过测量光线在不同介质中传播时偏折的角度来实现的，测角技术是测量光学玻璃折射率的基础。重点介绍常用的V棱镜法，另外介绍一种适合折射率自动测量的直角照射法。第二节 测角技术的应用二、光学玻璃折射率的测量（一）用V棱镜测量光学玻璃的折射率1.测量原理 图3-8为测量原理图。V棱镜是一块带有“V”字形缺口的长方形棱镜。它是有两块材料完全相同、折射均为 的直角棱镜胶合而成，V形缺口的张角为AED=90，两个尖棱的角度BAE=CDE=45。n将被测玻璃样品磨出构成90的两个平面，放在V棱镜的V形缺口内。由于样品角度加工的误差，被测样品的两个面和

18、V形缺口的两个面之间会有空隙，需要在中间填充一些折射率和被测样品折射率接近的液体，（一）V棱镜法n这种液体称为折射液。其作用一是防止光线在界面上发生全反射，二是即使样品加工90角不准确，加上折射液之后，近似于一个准确的90角，三是样品表面只需要细磨，免去抛光的麻烦。n以单色平行光垂直入射V棱镜的AB面，如果被测样品的折射率n和已知的V棱镜折射率 相同，则整个V棱镜加上被测棱镜玻璃样品就像一块平行平板玻璃一样，光线在两接触面上不发生偏折。所以最后出射光线也将不发生任何偏折。如果两者折射率不同，则光线在接触面上发生偏折，最后的出射光线相对于入射光线就要产生一偏折角。（一）V棱镜法很明显，偏折角 的

19、大小和被测玻璃样品的折射率有关。V棱镜法就是通过测量偏折角 的的准确值，计算出被测玻璃的折射率 。（1）若 ，入射光垂直于AB面,在各个分界面上应用折射定律可得：消去1和2图3-8 a（一）V棱镜法若 则光线通过CD面后的偏折方向如图（b）所示，将两种情况的公式合写为：式（3-6）是V棱镜法的原理公式。测得出射光线相对于入射角 ，根据已知的V棱镜的折射率 ，就可算出被测玻璃的折射率 。图3-8 b（一）V棱镜法当 时，式中取正号；当 时，式中取负号。由于在测量前并不知道是 还是 ，式（3-6）中的正负号可根据出射光线的偏折方向来确定。如图3-8（a）所示方向偏折时取正号；如图3-8（b）所示方

20、向时，取负号。对于应用这种原理的专用测量仪器-V棱镜折光仪。则利用度盘上的度数来区分正负号。对于 ，度盘上的 角的读数是在030范围内；对于 的情况，角的读数是在360330范围内。（一）V棱镜法2.V棱镜折射仪n因V棱镜法具有测量精度高，测量速度快和测量范围广等特点，所以光学玻璃的生产和使用单位广泛采用这种方法，所用仪器称为V棱镜折光仪。n这种仪器实际上是一台立式精密测角仪。它除了作为角度测量仪器要求有较高精度的底盘和轴系外，对光学系统还要求较小的二级光谱，并要求杂散光少和成像清晰等。n国内外生产多种型号的V棱镜折光仪。分析和比较国内生产的几种仪器后，在光学玻璃测试方法的国家标准中，采用了国

21、产JCZ-1型V棱镜折光仪做起诶普通光学玻璃折射率测量的标准仪器。（一）V棱镜法图3-9是其光学系统图。它主要由平行光管、V棱镜、对准望远镜、度盘和读数显微镜等组成。（图略）（一）V棱镜法n平行光管给出一束单色平行光，其视轴应与V棱镜入射面垂直，分划板4上刻有一条和V棱镜的V型缺口底棱相平行的细线作为目标线。为了减少杂散光，分划板上透光部分只有中间一条窄带，其余部分不透光。分划板由单色光源通过聚光镜2和滤色片2照亮。n对准望远镜用于对准平行光管的目标线经过V棱镜和被测玻璃的像。它由望远镜8、分划板9和目镜10组成。对准望远镜和度盘14连在一起绕水平主轴OO旋转，使它对准出射光线方向。它的分划板

22、上是一对短双线，如图3-9 所示，用它作为目标像的瞄准线。（一）V棱镜法n图中还给出了在对准望远镜视场中所看到的正好对准目标像时的图像。为了保证在可见光范围内用各种波长单色光照明时，目标线像与双短线之间都看不出视差，准直物镜5和望远镜8都应采用复消色差物镜。n读数显微镜是用来读出度盘转角的它由显微物镜15，梯形棱镜16和测微目镜组成。这里采用的是阿基米德螺旋式测微目镜。仪器度盘的分划格值为1，利用测微目镜细分，可以读到0.001。图3-10是读数显微镜的视场情况。图中读数为14.8154，最后一位是估读的。（一）V棱镜法3.测量方法 光线的偏折角按下列步骤进行测量：(1)首先要调节仪器的零位，

23、即当对准望远镜直接瞄准来自平行光管的没有偏折的光线时，读数应是0。本仪器带有一块校正零位的标准玻璃块，它是从V棱镜的同一块玻璃上切下来加工而成的。调整零位时，将它放在V棱镜的缺口内，中间加少许折射率与已知的 接近的折射液。由于V棱镜与标准块的折射率完全相同，光想通过时 不发生偏折。用望远镜的瞄准双线对准平行光管的目标线，此时读数应为0。如有偏差应校正好，或者记下零位读数，在以后的读数中减去。（一）V棱镜法(2)在被测样品的两直角面上涂上少许与样品折射率接近的折射液，然后将它放在V棱镜的缺口内，并注意排除其间的气泡。（3）转动对准望远镜，找到平行光管目标线的像。并用瞄准双线与之对准。（4）用读数

24、显微镜的测微目镜读出 此时度盘位置的准确读数，经零位修正后就是所要测量的偏转角 。（5）利用式（3-6）就可计算出被测玻璃的折射率 。为了快速测量的需要，通常采用事先编好制的 与 的表格。根据测得的 值，使用表格数据进行插值计算就得到 值。（一）V棱镜法4.测量误差根据间接测量的标准不确定度传播公式，折射率的测量标准不确定度 可写为：由式（3-6）可求得V棱镜材料折射率的测量标准不确定度偏折角的测量标准不确定度（一）V棱镜法将式（3-8）代入（3-7）可得：这就是V棱镜法折射率测量标准不确定度 的计算公式。V棱镜材料的折射率在制造时必须经过精密测量，当要求 时，要求 不大于 。偏折角 的测量误

25、差包括下列因素：（1）度盘的刻线误差，用 表示它的标准不确定度。（2）对准望远镜的对准误差，用 表示其标准不确定度。并且有 ，其中 是人眼直接观察时的对准误差，是望远镜的放大率。（一）V棱镜法（3）读数显微镜的读数标准不确定度，用 表示，这里包括了显微镜的对准误差和测微目镜的测量误差。考虑上述误差因素，偏折角的测量标准不确定度 为：因为每测量一次 角。必须包括两次对准望远镜的对准过程和两次读数显微镜的读数过程，所以上式中有系数2。当要求 时，应不大于6。（一）V棱镜法例 现有一次测量，得到 ，已知 。计算得到 ，设：则根据（3-8）有：代入式（3-7）可得：（一）V棱镜法n这样的测量不确定度已

26、不能满足大多数光学仪器对光学玻璃的折射率测量要求。n上面讨论的是影响测量不确定度的一些主要因素，此外，还有V棱镜的形状误差、被测玻璃样品的角度误差、折射液的折射率误差、仪器的调整误差、测量环境误差等等。但只要按一定要求控制这些误差，就能使V棱镜折光仪的测量不确定度不大于 。（二）最小偏向角法1.测量原理单色平行光PM经被测棱镜AB面入射后，从AC面沿 方向射出，入射光线与出射光线间的夹角 称为偏向角。当 时，值最小，称为最小偏向角 。在最小偏向角情况下，有公式：测出被测棱镜的顶角A和最小偏向角 ，即可求出棱镜折射率。ABCMPMP（二）最小偏向角法2.测量方法n测量工作在分光仪上进行，分光仪上

27、基本结构：（1）平行光管-给出无穷远的目标；（2）带有阿贝式自准直目镜的望远镜-对被测三棱镜表面自准直以及与平行光管狭缝像对准，（3）度盘和读数系统-读数方法为游标对准读数方式。3.测量方法及步骤（1）调整分光仪：将三棱镜（被测试样）放在承物台上（注意三棱镜三个表面与承物台下的三个调节螺钉一致），通过调节承物台下的三个螺钉使分别使三个表面的自准直像在望远镜视场中的高低位置一致以保证三棱镜主截面与度盘（二）最小偏向角法旋转轴垂直（三棱镜存在棱差时，应使构成顶角A的两个表面自准直像高低一致。（2）测量顶角A：转动自准直望远镜对构成顶角A的一面自准直，读出读数；再转动自准直望远镜对另一面自准直，再读

28、数，两次读数差的角 与顶角A互补，即 ；ABCMMP（二）最小偏向角法（3）测量最小偏向角：用单色平行光照明平行光管的狭缝像，平行光管射出的平行光从三棱镜AB面入射，由AC面射出，转动自准直望远镜找到狭缝亮像时，慢慢逆时针、顺时针反复转动承物台，如果看到狭缝亮像像棱镜顶角A的方向移出视场，则可少量转动自准直望远镜使狭缝亮像进入视场，然后继续转动承物台，直到在视场中找到狭缝亮像刚要往回走的位置，并转动望远镜使其分划板中心与此位置的狭缝亮像对准，即可读出读数；ABCMM（二）最小偏向角法取下三棱镜，转动望远镜对准平行光管，使平行光管狭缝亮像与自准直望远镜分划板中心对准，再读数；两次读数差即为 。将

29、所测顶角A、最小偏向角 代入计算公式即可算出照明单色光的折射率大小。如用钠黄光照明狭缝，则可得折射率 。ABCMM（二）最小偏向角法提高测量准确度的措施-三像法（1）准确确定最小偏向角的位置。实验中当接近以最小偏向角折射时，折射狭缝亮像移动很慢，刚要往回走（最小偏向角)位置是很不容易确定的。我们可以借助三棱镜的内、外反射像与视场中的折射像的相对位置，准确确定最小偏向角的位置（如图所示）：a）若棱镜的 B与 C严格相等时，转动承物台，使内、外反射像、折射像三个重合，即为最小偏向角（也可是外反射像与折射像重合）ABCabcdefg（二）最小偏向角法内反射像在棱镜内经三个表面反射一次从出射面射出进入

30、自准直望远镜的像；外反射像指光线没有进入棱镜，只从棱镜底面反射进入自准直望远镜的像指b）棱镜的 B与 C不相等，转动承物台，三个像不可能重合，让内反射像与外反射像分布在折射像的两旁，使内反射像到折射像的距离为外反射像到折射像的距离的二倍时，可大致认为是最小偏向角的位置。g（二）最小偏向角法（2）以三棱镜三个角分别为顶角测出 ，取平均数代入计算公式进行就计算。但该棱镜的三个角的差值不能超过几秒。4.测量误差由间接测量标准不确定度传播律公式：折射率的测量标准不确定度为：其中：顶角A测量标准不确定度 最小偏向角测量标准不确定度（三）直角照射法1.测量原理 如图3-11所示，对一个三棱镜的被测样品，要

31、求平行光束对向一个棱（如图中AB棱）并垂直于底面（BC面）照射，入射平行光束被分成两半，分别经AB、BC面和AC面。经AC、BC面折射后，产生两束折射光，测角仪测出两束光的夹角 后，可以由公式求出被测样品的折射率。由于本方法要求平行光束垂直底面照射，故称为直角照射法。（三）直角照射法原理公式见图3-11，由光路1得：由光路2得：并有：同理，依次以B、C为顶角，可得与上述7个公式类似的两组14个公式，又因故有（三）直角照射法利用上述关系可以导出该方法的原理公式：当直接测量 时，利用下列关系式：求出 代入（3-10）式就可以利用计算机精确求出被测玻璃的折射率。（三）直角照射法直接测量 与直接测量

32、比较，可以减少瞄准次数并且受入射光与底面垂直的影响较少，故精确度较高。上述分别通过A、B、C三个顶角入射，测出 的方法，称为封闭测量法。n当玻璃的折射率较高（例如大于1.8），若试件做成等边三棱镜，则光束会在棱镜内发生全反射。为此可做成顶角大于60度的等腰棱镜，平行光束对向这个角入射，则不会发生全反射。但不能进行封闭测量，只能得到一组7个方程，由这组方程可得到入下等式：（三）直角照射法测出角度 后，应用计算机也可以求出折射率。但其准确度不如封闭测量法高。2.测量方法n在测角仪的工作台上放一块两平面严格平行、两平面皆镀铝的方形玻璃板，调整自准直望远镜，使它对玻璃板的两平面皆自准直（即望远镜视准轴

33、垂直于平面），这时自准直望远镜视轴垂直于度盘转轴。再调整平行光管，使其视轴与望远镜视轴一致（见图3-12）。工作台上换上被测三棱镜，倾斜调节工作台，使自准直望远镜对三棱镜的一个平面（如BC面）自准直，这时平行光管出射的平行光垂直于BC面，如图3-12所示。（三）直角照射法绕测角仪主轴转动自准望远镜，分别在位置1和2处两次对准从棱镜出射的平行光管的狭缝像，用仪器的读数系统读出位置1和位置2的夹角，即为 ；转动工作台，按同样的方法是平行光束分别垂直于AC、AB面入射，测出 ，即可求出 ，由式（3-10）求出折射率 。12（三）直角照射法3.误差分析由式（3-10）可以看出，直角照射法测量折射率的误

34、差主要由测量角度 的误差产生，先求误差 与 的关系，为讨论问题方便，可设 此时式（3-10）可以变为：对上式求微分得：（三）直角照射法简写为可以看出K值与折射率n有关，表3-1给出了不同折射率的K值以及 为1和1.5时产生的n值。K值的大小反映了不同测量方法的误差灵敏度。就是说，在相同的测角误差 的情况下，K值越小产生的折射率误差 越小，说明该方法对测角误差不灵敏。因而是较好的方法。n1.41.51.61.71.8k0.390.370.330.270.18n （三）直角照射法下面将直角照射法与最小偏向角法作一比较：假设取试样的 ，顶角 ，由表3-1查出直角照射法的 。最小偏向角法的K值由下式计

35、算：当 时，最小偏向角 ，由上式得：可见，直角照射法的测量准确度高于最小偏向角法。例如当 时，；若要求最小偏向角法的测量误差 ，则要求 ，即要使用不确定度小于1的测角仪进行测量。（三）直角照射法n影响测角误差的因素除测角仪的测角误差外还有入射平行光束平行度误差；入射光束与底面的不垂直度误差；此外还有由于测量环境引起试样折射率和空气折射率的变化而产生的折射率误差。现分析如下：（1）入射试样的平行光管的平行度。当光束的会聚角或发散角为0.5时，经计算的折射率的误差 。可见该项误差影响大，必须采用第一章第二章介绍的五棱镜法调校测角仪的平行光管。由于平行光管物镜色差的影响，每次更换单色光照明时，必须重

36、新调校平行光管。（三）直角照射法（2）平行光束与底面的垂直度。设光束对底面的倾角为 ，假定已知折射率n的情况下，可以求出 的偏差 ，再由式（3-13）求出 。设 ，得 ，可见该项误差影响很小。（3）测量的环境影响，测量过程中应保证环境的温度为 ，气压为 。如果测量环境不符合上述要求，则应对测量结果作温度修正和气压修正。环境条件修正问题可以归结为两方面，一是样品折射率的环境温度修正，而是环境的空气折射率修正。（三）直角照射法A.样品折射率的环境温度修正光学玻璃的折射率随温度变化而变化，通常把温度每增高折射率的增长值称为折射率温度系数，用符号 表示。当测量环境的温度为 时，用下式计算样品折射率温度

37、修正值 式中，-样品折射率随温度变化三维修正量；-折射率温度系数；-测量环境的温度。时，为正。B.测量环境的空气 折射率修正大气压强对光学玻璃折射率测量的影响是通过空气折射率改变而引起的。（三）直角照射法n由于空气折射率的改变，使光线在玻璃样品与空气交界面上的光线折射方向改变，从而使折射率测量数值改变。空气折射率的大小与气压压强、温度、空气中的水蒸气气压、含量以及光波波长等多个因素有关。n按最新的空气折射率修正公式有：PaC（三）直角照射法n当压强101325Pa，温度15C时空气折射率的小数部分用下列空气色散公式计算：式中：-光波波长的倒数，单位为 。n当 时，由式（3-16）算出 （三）直

38、角照射法当空气温度 ，压强 时，对 的光波，空气折射率由式（3-15）计算，式中：得：即得标准条件 ，。对 的光波的空气折射率 。（三）直角照射法考虑到空气中水蒸气压强时空气折射率的修正公式为：式中 -水蒸气压强，单位Pa。考虑到空气中 含量时的空气折射率修正公式为：式中X-在空气中的相对含量，X是相对量。（三）直角照射法有了正确计算空气折射率的公式，就可以计算在测量环境条件下的空气折射率 ，以及标准环境条件的空气折射率 ，由下式即可求出标准条件下被测玻璃的折射率：式中 ，由式（3-14）计算。三、精密测角法测量物镜焦距通过精密的角度测量得到物镜焦距的方法是常用的，也是准确度很高的方法。（一）

39、测量原理如图3-13所示，在被测透镜的焦平面上，垂直于光轴设置一玻璃刻线尺或者分划板。其中A和B是它上面的两条已知间隔为 的刻线。两刻线对被测物镜主点的张角为 ，则当刻线尺或者分划板被照亮后，刻线上A和B两点发出的光束经过被测透镜后，成为两束夹角为 的平行光。度盘被测物镜刻线尺望远镜（一）测量原理用测角仪上的望远镜先后对准刻线A和B，则望远镜转过的角度就是 ，从图中可以看出被测物镜的焦距 为：这就是精密测角法测量焦距的公式。其中 是玻璃刻线尺或分划板上两条刻线的间隔，是事先经过精密测量的已知量。只要精确测量出角度 ，就很容易计算出焦距 。度盘被测物镜刻线尺望远镜(二)测量方法利用经纬仪测量平行

40、光管物镜的焦距就采用了上述原理，如图3-14所示，将经纬仪安置在被测平行光管物镜前，首先要将平行光管的分划板准确调焦在物镜焦平面上，调节经纬仪的内调焦转鼓，是平行光管分划板的刻线清晰而无视差地成像在经纬仪望远镜视场内，转动平行光管，使其分划板上刻线的方向和经纬仪望远镜的垂直分划板一致。B分划板平行光管物镜经纬仪A(二)测量方法在平行光管分划板上选定两条刻线A和B，其间隔 可事先测出。转动经纬仪并使望远镜先后对准该两条刻线，于是，通过经纬仪的读数系统，从水平度盘上可先后记下两个读数，它们之差就是所要测量的角度 。将已知的 和测量得到的 代入时式（3-20），就可计算出被测的平行光管物镜的焦距。B

41、分划板平行光管物镜经纬仪A(二)测量方法n也可以应用这个测量原理在精密测角仪上测量物镜的焦距。如图（3-15）所示。被测物镜安置在测角仪的工作台上，使物镜入瞳中心与工作台转动中心基本重合。首先利用自准直原理将一立方棱镜的带有分划刻线尺的表面调到位于被测物镜的焦平面上。为此在物镜前设置一辅助平面反射镜，在立方棱镜后用一低倍显微镜观察分划刻线尺和由辅助平面反射回来的刻线尺像。度盘被测物镜望远镜滤光片低倍显微镜辅助平面发反射镜AB(二)测量方法调节到两者重合无视差时，立方棱镜的分划表面就准确定位于焦平面上。测量时取走辅助平面反射镜。转动望远镜使它先后对准两条刻线A和B。两个度盘读数之差值就是角度 。

42、已知A和B两刻线间距为 ，于是，代入式（3-20）就可计算得到被测物镜的焦距。度盘被测物镜望远镜滤光片低倍显微镜辅助平面发反射镜AB（三）测量误差由式（3-20）可以得到：因此，焦距 的测量标准不确定度 为：（三）测量误差由于是间接测量，所以，焦距测量标准不确定度由刻线间隔的测量标准不确定度和角度测量的标准不确定度组成。在测长仪上测量分划线的间隔 ，可达到例如，用一经纬仪测量平行光管物镜焦距，测角标准不确定度为 ，则 。已知刻线间隔为 ，测得 ，利用式（3-20）得到：利用（3-22）式就是测量相对标准不确定度为：（三）测量误差n由计算例子可以看出。精密测角法测量物镜焦距的准确度是比较高的。如

43、果使用准确度更高一些的精密测角仪器或者经纬仪，焦距的测量准确度还可以提高。n但是必须指出，用这种方法测量时，测量装置调整比较麻烦。测量时还应注意被测物镜畸变和球差的影响。为此选择分划刻线间距 不要太大，也就是由测角仪器测量到的角度 值不能太大，否则，经纬仪的望远物镜将切割光束而引起对准误差。而且应使两刻线尽量对光轴对称安置。本方法不适于测量负透镜的焦距。四、自聚焦透镜数值孔径测量n自聚焦透镜又称梯度折射率元件，它是一种不同于普通光学透镜的新型成像光学元件。这里所介绍的是一种折射率随径向变化的圆柱形光学透镜。由于自聚焦透镜具有体积小、重量轻、像差小。入射和出射面是平行平面等特有的优点，目前已在工

44、业内窥镜、医用内窥镜、复印机的阵列镜头、微型照相机、激光视盘、光学传感器和光通讯系统等领域得到广泛应用。自聚焦透镜的光学参数与普通透镜光学参数有较大差异，数值孔径是自聚焦透镜的基本评价参数之一，它反映元件的聚光能力和成像能力。这里介绍一种应用测角技术来测量其数值孔径的原理和方法。四、自聚焦透镜数值孔径测量（一）测量原理如图3-16所示，从自聚焦透镜的成像过程可以看到光线在透镜中是沿正弦曲线传播的，一条入射到自聚焦透镜前端面的光线，其入射角为 ，入射位置为 ，根据斯涅耳定律，进入透镜后有如下关系式：式中 -自聚焦透镜最大数值孔径；-在最大数值孔径情况下入射光线与透镜中轴线的夹角；-入射光线在进入

45、透镜后的折射角；-自聚焦透镜的中心折射率；-自聚焦透镜分布系数 ；-自聚焦透镜的半径。四、自聚焦透镜数值孔径测量从公式可以知道，若能测得 值，将会很快计算出自聚焦的数值孔径值，关键是要准确地确定对应最大孔径角的光线位置。（二）测量方法如图所示采用一个有较高准确度的测角装置，样品置于精密转台上，用平行光垂直自聚焦透镜的前表面，其前表面中心和测角装置转台中心精确重合。平行光管调制器转台光电二极管A/D转换器打印机计算机步进电机自聚焦透镜样品前端面光阑（二）测量方法测角装置转台在步进电机的带动下，相对于光束转动，样品后端面进入积分球输入端口，用在积分球上的光电探测器探测输出光强，通过放大器，由单板机

46、进行处理。这里需要说明的是自聚焦透镜的光学参数与它的长度 和传播周期P有关,一般 等于P/4、P/2、P/3和P，不同周期长度的自聚焦透镜它的出射光束方向也不相同。平行光管调制器转台光电二极管打印机计算机步进电机自聚焦透镜样品前端面光阑A/D转换器（二）测量方法参看图3-16。在图3-17 中以测P/4长度的自聚焦透镜为例进行数值孔径大小的测量。设光束垂直于样品前端表面入射，也即 的输出光强为 ，当 逐渐变大，输出光强逐渐变小，我们定义 对应的入射角 为数值孔径角，对 取正弦值就得到数值孔径NA。平行光管调制器转台光电二极管计算机步进电机自聚焦透镜样品前端面光阑A/D转换器打印机（三）测量误差

47、引起测量误差的主要来源有：（1）平行光管发出的光束不平行引入的数值孔径的不确定度 平行光管发出的光束发散角为0.14时，引入的数值孔径角不确定度0.035，数值孔径值的不确定度 ；（2）步进电机转动系统的误差引入数值孔径的不确定度 步进电机所连接的蜗轮蜗杆传动比174，当蜗轮蜗杆绝对准确地传动时，步进传动系统引入的数值孔径角不确定度0.013，数值孔径的不确定度 。（3）光电探测系统的误差引入数值孔径的不确定度 （三）测量误差光电探测器系统在光强最大值的5%处的定位不确定度0.05，数值孔径的不确定度为 。（4）软件包计算引入数值孔径不确定度仪器软件包计算误差引入的仪器数值孔径角的不确定度，数

48、值孔径不确定度 。（5）自聚焦物镜放置位置偏差引起数值孔径的不确定度 样品的前入射面不垂直入射平行光，当倾斜引入的不确定度0.1，数值孔径的不确定度 。总的合成不确定度如下（表3-2）：（三）测量误差表3-2 自聚焦透镜数值孔径测量的合成不确定度误差分量数值孔径角不确定度数值孔径不确定度0.0350.0130.050.0750.10.14五、高精度测量光学角规偏向角这里介绍利用干涉和测长方法实现标准光学角规偏向角测量的原理和方法。（一）标准光学角规及其应用工作面间具有一定楔角的玻璃平板通常称为光楔或楔形镜，光线通过光楔时出射光线方向对入射光线方向的偏折角称为偏向角。经过严格标定偏向角值的光楔称

49、为标准光学角规。由于光学角规能在透射光路的水平或垂直面内产生偏向角，所以可用于检定高精度自准直仪、圆度检验仪等的示值误差或细分误差，也可以检定测角仪、光学经纬仪、分度头、分度台等仪器的测微系统，以及各种小角度工作计量器具的示值误差。近年来光学角规已作为计量基准器具列入JJG2057-90国家平面角计量器具检定系统中。五、高精度测量光学角规偏向角（二）光学角规偏向角的测量原理图3-18所示为泰曼干涉仪中的测试光路部分，其中P为被测光学角规，为测试反射镜，光束垂直光学角规前表面入射，经光学角规在主截面内偏折后垂直射向测试反射镜，形成一自准光路。因为此时干涉场中各点光程相等，所以将呈现明暗均匀的一片

50、色。当光学角规处于如图实线所示的起始位置时，光线ABC的光程等于光线PQ的光程，所以有：（二）光学角规偏向角的测量原理当光楔沿其主截面与前表面交线方向平移距离 后，光楔位置如图中虚线所示，则类似有：光楔移动前后的光程差变化量为：令上式 左端 式中:为与光程变化量对应的干涉级次变化量；为测量光线的波长l（二）光学角规偏向角的测量原理由图3-18看出：上式 右端所以式（3-26）可改写为：整理得：上式即为测量光学角规偏向角的原理公式，从式中可见，只要分别测出光楔的移动距离 和对应的干涉级次变化量 ，即可直接求出被测光楔的偏向角 ，而无须分别测量光学角规的楔角 和折射率 。l五、高精度测量光学角规偏