SEM-EDX 培训2.ppt

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1、Serve through PeopleConnect through TechnologySEM/EDX SEM/EDX 介绍介绍GQA2SEM/EDX SEM/EDX 介绍介绍介绍介绍Serve through PeopleConnect through Technology一：一：SEM/EDXSEM/EDX基本原理基本原理二：样品制备二：样品制备三：参数选择三：参数选择3Serve through PeopleConnect through TechnologySEM/EDXSEM/EDX基本原理基本原理基本原理基本原理 :二次电子和背散色电子二次电子和背散色电子二次电子和背散色电子二

2、次电子和背散色电子二次电子SESE：二次电子SESE检测器接受入射电子与试样产生二次电子，进行SEM分析。二次电子二次电子SESE特点：特点：1.1.二次电子主要来自试样表面,只有试样表面产生的二次电子能被检测到,因此SE用来分析样品的表面形状,外观形貌特征。4Serve through PeopleConnect through TechnologySEM/EDXSEM/EDX基本原理基本原理基本原理基本原理 :二次电子和背散色电子二次电子和背散色电子二次电子和背散色电子二次电子和背散色电子2.2.它与加速电压存在一定的关系,当加速电压越低时,SE分辨率越高,越适合观察表面形状。所以低电压适

3、合观察表面形状。备注:并不是越低越好,因为当加速电压降低,探头直径变大,当直接大于二次电子深度,信息流失,此时并不适合观察。比如，钨灯丝电子枪，当加速电压很低时0.5KV,信息流失,不适合观察。5Serve through PeopleConnect through TechnologySEM/EDXSEM/EDX基本原理基本原理基本原理基本原理背散射电子：背散色电子检测器接受入射电子与试样产生背散射电子(BSE)BSE),进行SEM分析（主要分析样品组成，不同元素颜色分界明显。右图背散射电子像显示试样中金和镍的镀层组成信息。）6Serve through PeopleConnect thro

4、ugh TechnologySEM/EDXSEM/EDX基本原理基本原理基本原理基本原理背散射电子应用：背散射电子应用：1.1.背散射电子主要来自试样的较深层,它能区分不同元素原子量。因此不同元素物质颜色分界明显。主要用来分析试样的组成。如背散射电子图中，元素原子量较低部分的颜色较灰暗。如下Au,Ni镀层背散射电子图,原子量较小的Ni-P层颜色比原子量大的Au部分灰暗，Au层比较明亮。备注：Au原子量=79,Ni原子量=28，P原子量=157Serve through PeopleConnect through TechnologySEM/EDXSEM/EDX基本原理基本原理基本原理基本原理背

5、散射电子应用：背散射电子应用：2.2.如果ENIG keypad上有机污染，在背散射电子图中可以看到明亮的keypad上有其它黑色物质，这是因为有机物主要由C元素组成（C的原子量为6），而金的原子量为79，所以在图上，含C物质比keypad灰暗。含C污染物金面8Serve through PeopleConnect through TechnologySEM/EDXSEM/EDX基本原理基本原理基本原理基本原理SEM/EDXSEM/EDX一体化分析：一体化分析：SEM/EDX能谱仪接受入射电子与试样产生的特征X射线,二次电子（或背散色电子进行）进行SEM/EDX分析，在SEM监视器及EDX监测

6、器上显示相关SEM图像分析及EDX数据分析。9Serve through PeopleConnect through TechnologySEM/EDXSEM/EDX能谱仪介绍能谱仪介绍能谱仪介绍能谱仪介绍 能谱仪系统主要由以下几个部分组成：电源供应器，为x-stream提供24v直流电源X-stream控制器（包含数字脉冲处理器,从探测器接收电信号，测量并计入相应通道,从而在谱图相应位置获得峰谱）Mics控制器（与SEM/TEM的图像接口相连接,实现图像获取）探测器（探测X射线信号并转换为电信号）计算机系统(运行微分析应用软件)仪器介绍：仪器介绍：计算机系统10SEM/EDXSEM/EDX样

7、品制备样品制备样品制备样品制备Serve through PeopleConnect through Technology样品制备注意事项样品制备注意事项:针对有机物试样,由于熔点低,会受到热的影响,再加上导电性差,所以样品在制备时候必须做一些特殊制备,否则会影响SEM图像质量。11Serve through PeopleConnect through TechnologySEM/EDXSEM/EDX参数选择参数选择参数选择参数选择SEM/EDX参数优化的选择:(正在DOE实验进行中，待定)1.加速电压 20kV-25kV2.活时间 20s-100s3.处理时间 16s-100s12Serve through PeopleConnect through TechnologyThank You!