习题课电子衍射花样标定PPT.ppt
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1、会计学1习题课电子衍射花样习题课电子衍射花样(huyng)标定标定第一页,共57页。小孔径小孔径(kngjng)(kngjng)角成像角成像把把散散射射角角大大于于的的电电子子挡挡掉掉,只只允允许许散散射射角角小小于于的的电电子子通通过过(tnggu)物镜光阑参与成象。物镜光阑参与成象。第1页/共56页第二页,共57页。第2页/共56页第三页,共57页。二、衍射二、衍射(ynsh)衬度衬度n n 样品微区晶体取向或者晶样品微区晶体取向或者晶体结构不同,满足布拉格衍射体结构不同,满足布拉格衍射条件的程度不同,使得在样品条件的程度不同,使得在样品下表面形成一个下表面形成一个(y)随位置不随位置不同
2、而变化的衍射振幅分布,所同而变化的衍射振幅分布,所以像的强度随衍射条件的不同以像的强度随衍射条件的不同发生相应的变化,称为衍射衬发生相应的变化,称为衍射衬度。度。第3页/共56页第四页,共57页。n n 衍射衬度对晶体结构和取向十分敏感衍射衬度对晶体结构和取向十分敏感衍射衬度对晶体结构和取向十分敏感衍射衬度对晶体结构和取向十分敏感(mngn)(mngn)(mngn)(mngn),当样品中存在有晶体缺陷时,该处,当样品中存在有晶体缺陷时,该处,当样品中存在有晶体缺陷时,该处,当样品中存在有晶体缺陷时,该处相对于周围完整晶体发生了微小的取向变化,相对于周围完整晶体发生了微小的取向变化,相对于周围完
3、整晶体发生了微小的取向变化,相对于周围完整晶体发生了微小的取向变化,导致缺陷处和周围完整晶体有不同的衍射条件,导致缺陷处和周围完整晶体有不同的衍射条件,导致缺陷处和周围完整晶体有不同的衍射条件,导致缺陷处和周围完整晶体有不同的衍射条件,形成不同的衬度,将缺陷显示出来。这个特点形成不同的衬度,将缺陷显示出来。这个特点形成不同的衬度,将缺陷显示出来。这个特点形成不同的衬度,将缺陷显示出来。这个特点在研究晶体内部缺陷时很有用在研究晶体内部缺陷时很有用在研究晶体内部缺陷时很有用在研究晶体内部缺陷时很有用.所以广泛地用于所以广泛地用于所以广泛地用于所以广泛地用于晶体结构研究。晶体结构研究。晶体结构研究。
4、晶体结构研究。n n 晶体样品,薄膜样品(金属,陶瓷)的衬晶体样品,薄膜样品(金属,陶瓷)的衬晶体样品,薄膜样品(金属,陶瓷)的衬晶体样品,薄膜样品(金属,陶瓷)的衬度来源于衍射衬度。度来源于衍射衬度。度来源于衍射衬度。度来源于衍射衬度。第4页/共56页第五页,共57页。衍射衍射(ynsh)衬衬度的形成度的形成衍衍射射(ynsh)衬衬度度衍衍 射射 衬衬 度度 通通 常常(tngchng)是是单束成像衬度单束成像衬度.成成像像时时用用透透射射束束或者用衍射束或者用衍射束.图中用透射束成像图中用透射束成像第5页/共56页第六页,共57页。明场像和中心明场像和中心(zhngxn)暗场像暗场像透射透
5、射(tu sh)束束衍射衍射(ynsh)束束衍射束衍射束像面像面第6页/共56页第七页,共57页。从衍射从衍射(ynsh)图上看图上看衍射衍射(ynsh)束束明明场场像像 中中心心(zhngxn)暗场像暗场像 第7页/共56页第八页,共57页。明场像、明场像、暗场暗场(nchng)像、像、中心暗中心暗场场(nchng)像像明场像明场像:用透射束成像用透射束成像.暗场像暗场像:用单束衍射束成像用单束衍射束成像中中心心暗暗场场像像:用用束束倾倾斜斜装装置置把把衍衍射射束束调调到到主主轴轴上上成成像像.使使成成像像的的衍衍射射束束通通过过电电镜镜中中轴轴,以以减减小球差,获得小球差,获得(hud)(
6、hud)较高质量的图象。较高质量的图象。第8页/共56页第九页,共57页。TiNbSnTiNbSn合金合金(hjn)(hjn)孪晶孪晶马氏体马氏体第9页/共56页第十页,共57页。位错的明场像和暗场位错的明场像和暗场(nchng)像像第10页/共56页第十一页,共57页。奥氏体不锈钢中孪晶奥氏体不锈钢中孪晶第11页/共56页第十二页,共57页。除除透透射射束束外外,还还同同时时让让一一束束或或多多束束的的衍衍射射束束参参与与成成象象。由由于于各各束束的的相相位位相相干干作作用用而而得得到到晶晶格格(jn(jn)(条纹)像或晶体结构(原子)像。(条纹)像或晶体结构(原子)像。用用来来成成象象的的
7、衍衍射射束束(透透射射束束可可视视为为零零级级衍衍射射束束)愈愈多,得到的晶体结构细节愈丰富。多,得到的晶体结构细节愈丰富。三、相位三、相位(xingwi)衬衬度度第12页/共56页第十三页,共57页。相相位位(xingwi)衬衬度度光光路路图图衍射(ynsh)衬度(振幅衬度)第13页/共56页第十四页,共57页。1.1.电子束通过试样电子束通过试样(sh(sh yn)yn),相位受到晶体势,相位受到晶体势场的调制,在试样场的调制,在试样(sh(sh yn)yn)下表面处得到带有下表面处得到带有晶体结构信息的物面波晶体结构信息的物面波0(r).0(r).2.2.物面波物面波0(r)0(r)经过
8、物镜的作经过物镜的作用,在后焦面上得到衍射用,在后焦面上得到衍射(ynsh)(ynsh)束,用衍射束,用衍射(ynsh)(ynsh)波函数波函数Q(g)Q(g)表示。物表示。物镜好象起了频谱分析器的作用,镜好象起了频谱分析器的作用,把物面波中的透射波和各级衍把物面波中的透射波和各级衍射射(ynsh)(ynsh)波分开来。从数波分开来。从数学上讲,物镜对学上讲,物镜对0(r)0(r)进行了进行了一次富氏变换。记作一次富氏变换。记作Q(g)=F0(r)Q(g)=F0(r)相位相位(xingwi)衬度原理衬度原理物面波物面波 0 0(r)(r)衍射波衍射波Q(g)Q(g)Q(g)=FQ(g)=F0
9、0(r)(r)像面波像面波(r)(r)(r)=(r)(r)=(r)=F=F-1-1Q(g)Q(g)第14页/共56页第十五页,共57页。3.3.3.3.透透透透射射射射束束束束与与与与衍衍衍衍射射射射束束束束相相相相互互互互干干干干涉涉涉涉后后后后,在在在在像像像像面面面面上上上上成成成成像像像像得得得得到到到到与与与与所所所所选选选选衍衍衍衍射射射射束束束束相相相相对对对对应应应应的的的的晶晶晶晶格格格格条条条条纹纹纹纹像像像像。这这这这个个个个过过过过程程程程,可可可可理理理理解解解解为为为为Q(g)Q(g)Q(g)Q(g)乘乘乘乘上上上上相相相相位位位位因因因因子子子子(ynz)exp(
10、ynz)exp(ynz)exp(ynz)exp(-iX(g)(-iX(g)(-iX(g)(-iX(g)后后后后的的的的富富富富氏氏氏氏逆逆逆逆变变变变换换换换,其其其其结结结结果果果果是是是是衍衍衍衍射射射射波波波波还还还还原原原原成成成成放放放放大大大大了了了了的物面波,即像面波的物面波,即像面波的物面波,即像面波的物面波,即像面波(r)(r)(r)(r)。物面波物面波 0 0(r)(r)衍射波衍射波Q(g)Q(g)Q(g)=FQ(g)=F0 0(r)(r)像面波像面波(r)(r)(r)=(r)(r)=(r)=F=F-1-1Q(g)Q(g)相位相位(xingwi)衬度原理衬度原理第15页/共
11、56页第十六页,共57页。高分辨高分辨(fnbin)晶格像晶格像成像全过程成像全过程包包含含了了两两次次富富氏氏变变换换.第第一一次次,物物镜镜将将物物面面波波分分解解成成各各级级衍衍射射波波,在在物物镜镜后后焦焦面面上上得得到到衍衍射射谱谱。第第二二次次各各级级衍衍射射波波相相互互干干涉涉(gnsh)(gnsh),重重新新组组合合,得得到到保保留留原原有有相相位位关关系系的的像像面面波波,在在像像平平面面处处得得到晶格条纹像。到晶格条纹像。物物面面波波函函数数 衍衍射射(ynsh)(ynsh)波波函函数数 像像面面波波函数函数第16页/共56页第十七页,共57页。相位相位(xingwi)(x
12、ingwi)衬度衬度像的种类像的种类原子像:像点与原子柱的投影对应原子像:像点与原子柱的投影对应(duyng)(duyng),可以用原子分布进行解释。,可以用原子分布进行解释。结构像:像点与原子团或原子围成的通结构像:像点与原子团或原子围成的通道对应道对应(duyng)(duyng),可以用结构进行直接,可以用结构进行直接解释。解释。晶格条纹像:像点与晶面间距对应晶格条纹像:像点与晶面间距对应(duyng)(duyng),与原子排列无关。,与原子排列无关。高分辨像:分辨率很高的像。高分辨像:分辨率很高的像。第17页/共56页第十八页,共57页。第18页/共56页第十九页,共57页。Al-Mn合
13、金合金(hjn)中韧位中韧位错错第19页/共56页第二十页,共57页。Al合合金金(hjn)中中的的析析出出相相第20页/共56页第二十一页,共57页。共共格格析析出出(xch)相相第21页/共56页第二十二页,共57页。第22页/共56页第二十三页,共57页。成像模式的相互成像模式的相互(xingh)关系关系n n当电子束通过样品后,可以人为地选择不同的成像方式,当电子束通过样品后,可以人为地选择不同的成像方式,当电子束通过样品后,可以人为地选择不同的成像方式,当电子束通过样品后,可以人为地选择不同的成像方式,得到不同衬度的电子显微像,它们得到不同衬度的电子显微像,它们得到不同衬度的电子显微
14、像,它们得到不同衬度的电子显微像,它们(t men)(t men)反映了样品反映了样品反映了样品反映了样品晶体结构的不同方面。这些成像衬度方式相辅相成,互晶体结构的不同方面。这些成像衬度方式相辅相成,互晶体结构的不同方面。这些成像衬度方式相辅相成,互晶体结构的不同方面。这些成像衬度方式相辅相成,互为补充,在不同层次和尺度上提供了晶体结构的信息,为补充,在不同层次和尺度上提供了晶体结构的信息,为补充,在不同层次和尺度上提供了晶体结构的信息,为补充,在不同层次和尺度上提供了晶体结构的信息,通过这些成像模式的选择达到研究晶体结构和晶体缺陷通过这些成像模式的选择达到研究晶体结构和晶体缺陷通过这些成像模
15、式的选择达到研究晶体结构和晶体缺陷通过这些成像模式的选择达到研究晶体结构和晶体缺陷的目的。的目的。的目的。的目的。第23页/共56页第二十四页,共57页。电子显微镜成像原理电子显微镜成像原理(yunl)Abbe成像原理成像原理(yunl)第24页/共56页第二十五页,共57页。Cu/Cr合金合金(hjn)衍射衬衍射衬度像度像 第25页/共56页第二十六页,共57页。Cu/Cr合金合金(hjn)晶格条纹像晶格条纹像第26页/共56页第二十七页,共57页。电子衍射要点电子衍射要点(yodin)小结小结 电子衍射原理,布拉格方程,电子衍射原理,布拉格方程,爱瓦尔德图解,倒易点阵,结爱瓦尔德图解,倒易
16、点阵,结构消光规律,电子衍射基本构消光规律,电子衍射基本(jbn)公式,晶带定理,衍射公式,晶带定理,衍射花样的标定,相机常数的确定花样的标定,相机常数的确定第27页/共56页第二十八页,共57页。一一.布拉格方布拉格方程程(fngchng)d 为衍射晶面间距。为衍射晶面间距。为入射电子束的波长。为入射电子束的波长。为入射束与衍射晶面之间的夹角。为入射束与衍射晶面之间的夹角。n为衍射级数(为衍射级数(n=0,1,2,3),),当当 n0就就是是透透射射(tu sh)束束,与与入入射射束束平行。平行。第28页/共56页第二十九页,共57页。二二.埃瓦尔德图解埃瓦尔德图解(tji)(tji):衍射
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