传感技术及应用压电式传感器.pptx

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1、第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器的广泛应用压电式传感器的广泛应用 可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。也可以用于军事工业，例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来测量大的压力，也可以用来测量微小的压力。测量压力第1页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器的广泛应用 测量加速度频率范围：1-10000Hz（10%),通用测振 频率范围：0.1-4000Hz（10%),三向测振频率范围：1-10000Hz（10%)大振动、冲击测

2、量 频率范围：0.2-7000Hz（10%)高温、长期振动监测频率范围：0.1-2000Hz（10%),低频，小g测振 第2页/共66页6-1压电效应压电效应某些电介质物质，在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，某些电介质物质，在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，内部会产生极化现象，同时在其表面上产生电荷；当外力去掉后，内部会产生极化现象，同时在其表面上产生电荷；当外力去掉后，又重新回到不带电的状态，又重新回到不带电的状态，这种将机械能转变为电能的现象，称这种将机械能转变为电能的现象，称为为“顺压电效应顺压电效应”。相反，在电介质的极化方向上施加电场，它会产生机械变形，相反，在电介质的极化方

3、向上施加电场，它会产生机械变形，当去掉外加电场时，电介质的变形随之消失。当去掉外加电场时，电介质的变形随之消失。这种将电能转换为这种将电能转换为机械能的现象，称为机械能的现象，称为“逆压电效应逆压电效应”。第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器F FF F极化面极化面Q Q压电介质压电介质机械能机械能电能电能正压电效应正压电效应逆压电效应逆压电效应压电效应及可逆性压电效应及可逆性第3页/共66页当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电的频率与动态力的频率相同

4、；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。p石英晶体的压电效应演示石英晶体的压电效应演示第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第4页/共66页1、种类、种类：n石英晶体石英晶体：如石英等；如石英等；n压电陶瓷压电陶瓷：如钛酸钡、锆钛酸铅等；如钛酸钡、锆钛酸铅等；n压电半导体压电半导体：如硫化锌、碲化镉等；如硫化锌、碲化镉等；n高分子压电材料：高分子压电材料：聚偏二氟乙烯等。聚偏二氟乙烯等。2、对压电材料特性要求对压电材料特性要求：转换性能转换性能：要求具有较大压电常数；要求具有较大压电常数；机机械械性性能能

5、：机机械械强强度度高高、刚刚度度大大，以以期期获获得得宽宽的的线线性性范范围和高的固有振动频率；围和高的固有振动频率；电电性性能能：具具有有高高电电阻阻率率和和大大介介电电常常数数，以以减减弱弱外外部部分分布电容的影响并获得良好的低频特性；布电容的影响并获得良好的低频特性；环环境境适适应应性性强强：温温度度和和湿湿度度稳稳定定性性要要好好，要要求求具具有有较较高的居里点，获得较宽的工作温度范围；高的居里点，获得较宽的工作温度范围；时间稳定性时间稳定性：要求压电性能不随时间变化。要求压电性能不随时间变化。p压电材料压电材料第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器

6、第5页/共66页 a.a.石英晶体石英晶体 石石英英是是一一种种具具有有良良好好压压电电特特性性的的压压电电晶晶体体。其其介介电电常常数数和和压压电电系系数数的的温温度度稳稳定定性性好好。在在2020200200范范围围内内，温温度度每每升升高高11，压压电电系系数数仅仅减减少少0.0160.016。但但是是当当到到573573时，压电特性完全失去，这就是它的时，压电特性完全失去，这就是它的居里点居里点。石石英英晶晶体体的的突突出出优优点点是是性性能能非非常常稳稳定定，机机械械强强度度高高，绝绝缘缘性性能能好好。但但价价格格昂昂贵贵，且且压压电电系系数数低低。因因此此一一般般仅仅用用于于标标准

7、准仪仪器器或或要求较高的传感器中。要求较高的传感器中。第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第6页/共66页b.b.压电陶瓷压电陶瓷1 1、钛酸钡压电陶瓷钛酸钡压电陶瓷钛钛酸酸钡钡（BaTiO3）是是由由碳碳酸酸钡钡（BaCO3）和和二二氧氧化化钛钛（TiO2）按按1：1分分子子比比例例在在高高温温下下合合成成的的压压电陶瓷。电陶瓷。它它具具有有很很高高的的介介电电常常数数和和较较大大的的压压电电系系数数（约约为为石石英英晶晶体体的的50倍倍）。不不足足之之处处是是居居里里温温度度低低（120），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。），温度稳定性和机械强度不如

8、石英晶体。锆钛酸铅系压电陶瓷（锆钛酸铅系压电陶瓷（PZT）锆锆钛钛酸酸铅铅是是由由PbTiO3和和PbZrO3组组成成的的固固溶溶体体Pb（Zr、Ti）O3。它它与与钛钛酸酸钡钡相相比比，压压电电系系数数更更大大，居居里里温温度度在在300以以上上，各各项项机机电电参参数数受受温温度度影影响响小小，时时间间稳稳定定性性好好。此此外外，在在锆锆钛钛酸酸中中添添加加一一种种或或两两种种其其它它微微量量元元素素（如如铌铌、锑锑、锡锡、锰锰、钨钨等等）还还可可以以获获得得不不同同性性能能的的PZT材材料料。因因此此锆锆钛钛酸酸铅铅系系压压电电陶陶瓷是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料。瓷是目前压电

9、式传感器中应用最广泛的压电材料。第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第7页/共66页c.c.压电半导体压电半导体 1968年年出出现现了了多多种种压压电电半半导导体体材材料料，如如硫硫化化锌锌、碲化镉、氧化锌、硫化镉、碲化锌和砷化镓等。碲化镉、氧化锌、硫化镉、碲化锌和砷化镓等。特特点点：既既有有压压电电特特性性，又又有有半半导导体体性性质质，因因此此，可可研研制制压压电电传传感感器器，也也可可制制作作半半导导体体电电子子器器件件，还还可可将将二二者者结结合合，研研制制新新型型集集成成压压电电传传感感器器。这这种种力力敏敏器器件件具具有有灵灵敏敏度度高高，响

10、响应应时时间间短短等等优优点点。此此外外用用ZnO作作为为表表面面声声波波振振荡荡器器的的压压电电材材料料，还还可可测测温温度度等参数。等参数。第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第8页/共66页d.d.高分子压电材料高分子压电材料高分子压电薄膜：高分子压电薄膜：高分子压电薄膜：高分子压电薄膜：是某些高分子聚合物经延展和拉是某些高分子聚合物经延展和拉伸以及电场极化后具有压电性能的材料，如聚偏二伸以及电场极化后具有压电性能的材料，如聚偏二氟乙烯。氟乙烯。优点：耐冲击、不易破碎、稳定性好、频带宽。优点：耐冲击、不易破碎、稳定性好、频带宽。高分子压电陶瓷薄膜：高

11、分子压电陶瓷薄膜：高分子压电陶瓷薄膜：高分子压电陶瓷薄膜：是在高分子化合物中加入压是在高分子化合物中加入压电陶瓷粉末制成的，这种复合材料保持了高分子压电陶瓷粉末制成的，这种复合材料保持了高分子压电陶瓷薄膜的柔软性，又具有较高的压电系数。电陶瓷薄膜的柔软性，又具有较高的压电系数。第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第9页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器一、石英晶体的压电效应一、石英晶体的压电效应石英晶体有天然和人造石英单晶石英晶体有天然和人造石英单晶两种。两种。石英晶体属六方晶系，是一个正石英晶体属六方晶系

12、，是一个正六面体，有右旋和左旋石英晶体之六面体，有右旋和左旋石英晶体之分，在晶体学中用三根互相分，在晶体学中用三根互相垂直的垂直的轴轴Z、X、Y 表示它的坐标。表示它的坐标。（讲义（讲义P108）第10页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第11页/共66页 Z 轴为光轴（中性轴），轴为光轴（中性轴），它是晶体的对称轴，光线沿它是晶体的对称轴，光线沿Z轴通过轴通过晶体不产生双折射现象，因而它的贡献是作为基准轴。晶体不产生双折射现象，因而它的贡献是作为基准轴。X 轴为电轴（垂直于光轴），轴为电轴（垂直于光轴），该轴压电效应最显著，它通过正该轴压电效

13、应最显著，它通过正六棱柱相对的两个棱线且垂直于光轴六棱柱相对的两个棱线且垂直于光轴Z，显然，显然X轴共有三个。轴共有三个。Y 轴为机械轴（力轴），轴为机械轴（力轴），显然也有三个，它垂直于两个相对的显然也有三个，它垂直于两个相对的表面，在此轴上加力产生的变形最大。表面，在此轴上加力产生的变形最大。第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第12页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器+YXp3p1p2（a）YX+p1p2p3Fx+Fx（b）YX Fy+Fy+p1p2p3（c）现将组成石英（现将组成石英（SiO2）晶体

14、的硅离子和氧离子的排列）晶体的硅离子和氧离子的排列在垂直于晶体在垂直于晶体Z轴的轴的xy平面上进行投影，等效为正六边形平面上进行投影，等效为正六边形排列。排列。图中图中“”代表代表Si4+，“”代表代表2O2。+第13页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器当石英晶体未受力作用当石英晶体未受力作用时，正、负离子（即时，正、负离子（即Si4+和和2O2）正好分布在正六边形的）正好分布在正六边形的顶角上，形成三个大小相等，顶角上，形成三个大小相等，互成互成120夹角的电偶极矩夹角的电偶极矩p1、p2和和p3。电偶极矩的矢量和等于电偶极矩的矢量和等于零，

15、即零，即，这，这时晶体表面不产生电荷，时晶体表面不产生电荷，石英石英晶体从整体上呈电中性。晶体从整体上呈电中性。（见（见图图a）+YXp3p1p2图（图（a）第14页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器YX+p1p2p3Fx+Fx图（图（b）当石英晶体受到沿当石英晶体受到沿X方向的方向的压压缩力缩力作用时，晶体沿作用时，晶体沿X方向产生压方向产生压缩变形，正、负离子的相对位置缩变形，正、负离子的相对位置随之变动，正、负电荷中心不再随之变动，正、负电荷中心不再重合，电偶极矩在重合，电偶极矩在X轴方向的分量，轴方向的分量，在，在X X轴的正方向的晶体

16、表面上出轴的正方向的晶体表面上出轴的正方向的晶体表面上出轴的正方向的晶体表面上出现正电荷。现正电荷。现正电荷。现正电荷。而在而在Y轴和轴和Z轴方向的轴方向的分量均为零。在垂直于分量均为零。在垂直于Y轴和轴和Z轴轴的晶体表面上不出现电荷。的晶体表面上不出现电荷。这种沿这种沿X轴作用力，而在垂直于轴作用力，而在垂直于此轴晶面上产生电荷的现象，称此轴晶面上产生电荷的现象，称为为“纵向压电效应纵向压电效应纵向压电效应纵向压电效应”。（见图。（见图b）第15页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器YX Fy+Fy+p1p2p3图（图（c）当石英晶体受到沿当石

17、英晶体受到沿Y轴方轴方向的压缩力作用时，电偶极矩向的压缩力作用时，电偶极矩在在X轴方向的分量轴方向的分量，在在在在X X轴的正方向的晶体表面轴的正方向的晶体表面轴的正方向的晶体表面轴的正方向的晶体表面上出现负电荷上出现负电荷上出现负电荷上出现负电荷。（这种情况等这种情况等同于沿同于沿X轴方向的拉力作用轴方向的拉力作用），），同样在垂直于同样在垂直于Y轴和轴和Z轴的晶面轴的晶面上不出现电荷。上不出现电荷。这种沿这种沿Y轴作用力，而在垂轴作用力，而在垂直于直于X轴的晶面上产生电荷的轴的晶面上产生电荷的现象，称为现象，称为“横向压电效应横向压电效应横向压电效应横向压电效应。”（见图（见图c）。）。第

18、16页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器当晶体受到沿当晶体受到沿Z轴方向的力（无论是压缩力轴方向的力（无论是压缩力或拉伸力）作用时，因为石英晶体在或拉伸力）作用时，因为石英晶体在X轴方向和轴方向和Y方向的变形相同，正、负电荷中心始终保持重方向的变形相同，正、负电荷中心始终保持重合，电偶极矩在合，电偶极矩在X、Y方向的分量等于零。方向的分量等于零。所以沿光轴方向施加作用力，石英晶体不会产所以沿光轴方向施加作用力，石英晶体不会产生压电效应。生压电效应。当作用力当作用力Fx或或Fy的方向相反时，电荷的极的方向相反时，电荷的极性随之改变。如果石英晶体的

19、各个方向同时受到性随之改变。如果石英晶体的各个方向同时受到均等的作用力（如液体压力），石英晶体将保持均等的作用力（如液体压力），石英晶体将保持电中性。电中性。所以石英晶体没有体积变形的压电效应。所以石英晶体没有体积变形的压电效应。第17页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器石英晶体的特点石英晶体的特点介电和压电常数的温度稳定性好，适合做工介电和压电常数的温度稳定性好，适合做工作温度范围很宽的传感器。作温度范围很宽的传感器。机械强度很高，可承受约机械强度很高，可承受约108Pa的压力。的压力。天然石英的稳定性好天然石英的稳定性好资源少，存在某些缺陷

20、。资源少，存在某些缺陷。第18页/共66页二、压电陶瓷的压电效应二、压电陶瓷的压电效应第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电陶瓷是人工制压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料。造的多晶压电材料。它由无数细微的电畴组成，这些电畴实际上它由无数细微的电畴组成，这些电畴实际上是自发极化的小区域，自发极化的方向完全是任意是自发极化的小区域，自发极化的方向完全是任意排列的。排列的。在无外电场作用时，从整体来看，这些电在无外电场作用时，从整体来看，这些电畴的极化效应被互相抵消，使原始的压电陶瓷呈电畴的极化效应被互相抵消，使原始的压电陶瓷呈电中性，不具有压电性质。中性，不具

21、有压电性质。未极化未极化的电畴的电畴第19页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器为了使压电陶瓷具有压电效应，必须进行极化处理。为了使压电陶瓷具有压电效应，必须进行极化处理。所谓极化处理，就是在一定温度下对压电陶瓷施加强电所谓极化处理，就是在一定温度下对压电陶瓷施加强电场（如场（如2030kv/cm直流电场），经过直流电场），经过23小时以后，压电小时以后，压电陶瓷就具备压电性能了，这是因为陶瓷内部的电畴的极化方陶瓷就具备压电性能了，这是因为陶瓷内部的电畴的极化方向在外电场作用下都趋向于电场的方向，这个方向就是压电向在外电场作用下都趋向于电场的方向

22、，这个方向就是压电陶瓷的极化方向，通常取陶瓷的极化方向，通常取z轴方向。轴方向。电电场场方方向向电极化处理电极化处理后的电畴后的电畴第20页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器经过极化处理的压电陶瓷，在外电场去掉后，其内部仍存在着很强的剩余极化强度，当压电陶瓷受外力作用时，电畴的界限发生移动，因此剩余极化强度将发生变化，压电陶瓷就呈现出压电效应。几个关键词：极化强度、束缚电荷、自由电荷第21页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器热释电效应热释电效应某些晶体除了由于机械效应的作用而引起某些晶体除了由于

23、机械效应的作用而引起的电极化（压电效应）之外，还可由于温度变化的电极化（压电效应）之外，还可由于温度变化而产生电极化。而产生电极化。用热释电系数来表示该效应的强弱，它是用热释电系数来表示该效应的强弱，它是指温度每变化指温度每变化1摄氏度时，在单位重量晶体表面摄氏度时，在单位重量晶体表面上产生的电荷密度大小。上产生的电荷密度大小。第22页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器几种压电陶瓷几种压电陶瓷钛酸钡压电陶瓷钛酸钡压电陶瓷锆钛酸铅系压电陶瓷锆钛酸铅系压电陶瓷压电聚合物压电聚合物第23页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压

24、电式传感器压电式传感器第24页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器超声波美容仪器用压电陶瓷晶片医用B超换能器用晶片第25页/共66页高分子压电薄膜高分子压电薄膜压电薄膜聚偏二氟乙烯（PVF2）、聚氟乙烯（PVF）、聚偏氟乙烯（PVDF）、改性聚氯乙烯（PVC）等 第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第26页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器三、压电常数和表面电荷的计算三、压电常数和表面电荷的计算1、石英晶体的压电常数和表面电荷的计算、石英晶体的压电常数和表面电

25、荷的计算从石英晶体上切一片平行六面体从石英晶体上切一片平行六面体晶体切片，使它的晶体切片，使它的晶面分别平行于晶面分别平行于x、y、z轴。轴。btl1zxyT1（1）当晶片受到）当晶片受到x 方向方向压缩应力压缩应力T1(N/m2)作用时，作用时，晶片将产生厚度变形，在晶片将产生厚度变形，在垂直于垂直于x轴表面上产生的轴表面上产生的电荷密度电荷密度1与应力与应力T1成正成正比。比。第27页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器当石英晶片在当石英晶片在x轴方向施加压缩力时，产生的电轴方向施加压缩力时，产生的电荷荷q正比于作用力正比于作用力F1，与晶片

26、的几何尺寸无关，若，与晶片的几何尺寸无关，若晶片在晶轴晶片在晶轴x方向受到拉力（大小与压缩力相等）方向受到拉力（大小与压缩力相等）的作用，则仍在垂直于的作用，则仍在垂直于x轴表面上出现轴表面上出现等量电荷等量电荷，但但极性相反极性相反。+xF1F1+xF1F1石英晶片上电荷极性与受力方向的关系石英晶片上电荷极性与受力方向的关系第28页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器（2）当晶片受到沿）当晶片受到沿y（即机械轴）方向的应力（即机械轴）方向的应力T2作用时，在垂直于作用时，在垂直于x轴表面出现电荷，电荷的极性轴表面出现电荷，电荷的极性如下图示。如

27、下图示。+xF2F2+xF2F2电荷密度电荷密度1212与施加的应力与施加的应力T2成正比。成正比。第29页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器?一道练习题一道练习题有一石英晶体，其长度为有一石英晶体，其长度为5mm，宽度为，宽度为4mm，厚度为，厚度为10mm，当受到压力，当受到压力P=10MPa作用时，作用时，求在纵向压电效应的压缩力作用下时产生的电荷求在纵向压电效应的压缩力作用下时产生的电荷量。（量。（d=2.31pC/N）第30页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器（3）当石英晶体受到）当石

28、英晶体受到z轴（即光轴）方向应力轴（即光轴）方向应力T3作用时，作用时，无论是拉伸应力，还是压缩应力，都不会产生电荷，即：无论是拉伸应力，还是压缩应力，都不会产生电荷，即：d13=0。（4）当石英晶体分别受到剪切应力）当石英晶体分别受到剪切应力T4、T5、T6作用时，作用时，则有则有（即（即d15=0）（即（即d16=0）xyz123456以上三式中的以上三式中的T4、T5、T6分别为晶片分别为晶片x面（即面（即yz平面）、平面）、y面（即面（即zx平面）和平面）和z面（即面（即xy平面）上平面）上作用的剪切应力。作用的剪切应力。第31页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传

29、感器压电式传感器压电式传感器由此可得到石英晶体在所有应力作用下的顺压电效应由此可得到石英晶体在所有应力作用下的顺压电效应矩阵表达式矩阵表达式：压电常数矩阵是正确选择压电元件、受力状态、变形压电常数矩阵是正确选择压电元件、受力状态、变形方式、能量转换率以及晶片几何切型的重要依据。方式、能量转换率以及晶片几何切型的重要依据。第32页/共66页由压电常数矩阵还可以知道，压电元件承受机械应力作由压电常数矩阵还可以知道，压电元件承受机械应力作用时，有哪几种变形方式具有能量转换作用。用时，有哪几种变形方式具有能量转换作用。3）石英晶体通过）石英晶体通过dij的四种基本变形方式可将机械能转换为的四种基本变形

30、方式可将机械能转换为电能。电能。(a)厚度变形厚度变形，通过，通过d11产生产生x方向的方向的纵向压电效应纵向压电效应；(b)长度变形长度变形，通过，通过d12产生产生y方向的方向的横向压电效应横向压电效应；(c)面剪切变形面剪切变形，晶体受剪切面与产生电荷的面共面。，晶体受剪切面与产生电荷的面共面。如：对如：对x切晶片，当切晶片，当x面（即面（即yz平面）上作用剪切应力时，平面）上作用剪切应力时，通过通过d14在此同一面上产生电荷。对于在此同一面上产生电荷。对于y切晶片，通过切晶片，通过d25可在可在y面（即面（即zx平面）产生面剪切式能量转换。平面）产生面剪切式能量转换。(d)厚度剪切变形

31、厚度剪切变形，晶体受剪切面与产生电荷不共面，如，晶体受剪切面与产生电荷不共面，如y切晶片，当切晶片，当z面（即面（即xy平面）上作用有剪切应力时，通过平面）上作用有剪切应力时，通过d26在在y面（即面（即zx平面）上产生电荷。平面）上产生电荷。第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第33页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器2、压电陶瓷的压电常数和表面电荷的计算压电陶瓷的压电常数和表面电荷的计算压电陶瓷的极化方向通常取压电陶瓷的极化方向通常取z 轴方向，在垂直于轴方向，在垂直于z 轴轴平面上的任何直线都可取作为

32、平面上的任何直线都可取作为x 轴或轴或y 轴，对于轴，对于x 轴和轴和y轴，其压电特性是等效的。压电常数轴，其压电特性是等效的。压电常数dij 的两个下标中的的两个下标中的1和和2可以互换，可以互换，4和和5也可以互换，这样在也可以互换，这样在18个压电常数中，个压电常数中，不为零的只有不为零的只有5个，其中独立的压电常数只有三个，即个，其中独立的压电常数只有三个，即d33、d31和和d15。如钛酸钡压电陶瓷，压电常数矩阵为：如钛酸钡压电陶瓷，压电常数矩阵为：钛酸钡压电陶瓷除厚度变形、长度变形和剪切变形外，钛酸钡压电陶瓷除厚度变形、长度变形和剪切变形外，还可利用体积变形获得压电效应。还可利用体

33、积变形获得压电效应。第34页/共66页石英晶体与压电陶瓷的比较石英晶体 压电陶瓷a 单晶体 人工制造的多晶体b 极化方向：X、Y Z轴c 介电和压电常数 灵敏度高的温度稳定性好第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第35页/共66页压电材料的主要性能指标压电常数压电常数衡量压电效应强弱的参数，直接关系到压衡量压电效应强弱的参数，直接关系到压电输出的灵敏度电输出的灵敏度弹性常数弹性常数决定着压电器件的固有频率和动态特性决定着压电器件的固有频率和动态特性介电常数介电常数影响压电器件的固有电容与频率下限影响压电器件的固有电容与频率下限绝缘电阻绝缘电阻影响电荷泄漏和

34、低频特性影响电荷泄漏和低频特性居里点居里点压电材料开始丧失压电特性的温度压电材料开始丧失压电特性的温度 第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第36页/共66页压电元件的结构形式压电元件的结构形式第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器 在压电式传感器中，常用两片或多片组合在一起在压电式传感器中，常用两片或多片组合在一起使用。由于压电材料是有极性的，因此接法也有两种，使用。由于压电材料是有极性的，因此接法也有两种，如图所示。图如图所示。图a为并联接法，其输出电容为并联接法，其输出电容C为单片为单片的的n倍，即倍，即C=nC，

35、输出电压，输出电压U=U，极板上的电，极板上的电荷量荷量Q为单片电荷量的为单片电荷量的n倍，即倍，即Q=nQ。图中。图中b为为串联接法，这时有串联接法，这时有QQ，U=nU，C=C/n。6-2压电式传感器的等效电路压电式传感器的等效电路第37页/共66页 在以上两种联接方式中，并联接法输出电荷大，本身电容大，因此时间常数也大，适用于测量缓变信号，并以电荷量作为输出的场合。串联接法输出电压高，本身电容小，适用于以电压作为输出量以及测量电路输入阻抗很高的场合。a b第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第38页/共66页压电式传感器的等效电路压电式传感器的等效电

36、路第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器对被测量的感受程度是通过其压压电式传感器对被测量的感受程度是通过其压电元件产生电荷量大小来反映的电元件产生电荷量大小来反映的，因此它相当于一个，因此它相当于一个电荷源，而压电元件电极表面聚集电荷时，它又相当电荷源，而压电元件电极表面聚集电荷时，它又相当于一个以压电材料为电介质的电容器。于一个以压电材料为电介质的电容器。（讲义（讲义P161）第39页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器QCaRfUaUCaRfUa因为传感器既是电荷源又是电容器，其等效电路可以认为

37、是因为传感器既是电荷源又是电容器，其等效电路可以认为是两者的并联。也可以等效为一个电压源和一个电容串联的电路。两者的并联。也可以等效为一个电压源和一个电容串联的电路。其开路电压：其开路电压：由上图可知，只有在外电路负载由上图可知，只有在外电路负载Rf无穷大，而且内部无穷大，而且内部无漏电时，压电传感器所产生的电荷及其形成的电压无漏电时，压电传感器所产生的电荷及其形成的电压Ua才能长期保持，如果负载不是无穷大，则电路将以才能长期保持，如果负载不是无穷大，则电路将以RfCa为时间常数按指数规律放电。为时间常数按指数规律放电。第40页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式

38、传感器压电式传感器利用压电式传感器进行测量时，由于它要与测量电路相利用压电式传感器进行测量时，由于它要与测量电路相连接，于是应考虑连接，于是应考虑电缆电容电缆电容Cc，放大器的，放大器的输入电阻输入电阻Ri、输入输入电容电容Ci以及压电传感器的以及压电传感器的泄漏电阻泄漏电阻Ra，从而可以得到压电传，从而可以得到压电传感器完整等效电路。感器完整等效电路。QCaRaCcRiCiUCaRaCcRiCi压电传感器产生的电荷很少，信号微弱，而自身又要有极压电传感器产生的电荷很少，信号微弱，而自身又要有极高的绝缘电阻，因此需经测量电路进行阻抗变换和信号放大，高的绝缘电阻，因此需经测量电路进行阻抗变换和信

39、号放大，且且要求测量电路输入端必须有足够高的阻抗和较小的分布电容要求测量电路输入端必须有足够高的阻抗和较小的分布电容，以防止电荷迅速泄漏，电荷泄漏将引起测量误差。以防止电荷迅速泄漏，电荷泄漏将引起测量误差。第41页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器6-3压电式传感器的测量线路压电式传感器的测量线路根据压电式传感器的工作原理及其等效电路，根据压电式传感器的工作原理及其等效电路，它的输出可以是电压信号也可以是电荷信号，因此设它的输出可以是电压信号也可以是电荷信号，因此设计前置放大器也有两种形式：计前置放大器也有两种形式：一种是电压放大器一种是电压放

40、大器，其，其输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正比；输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正比；另另一种是电荷放大器，一种是电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。其输出电压与输入电荷成正比。第42页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器一、电压放大器一、电压放大器左图为电压放大器电路简化左图为电压放大器电路简化等效电路图，图中等效电路图，图中UCaRCUscUsrA；如果压电元件受作用力的为交变力如果压电元件受作用力的为交变力FFm SintFm 作用力幅值作用力幅值。则产生的电荷与电压均按正弦规律变化。则产生的电荷与电压均按正弦规律变化

41、（压电元件是压电陶瓷在其电轴上作用交变力）（压电元件是压电陶瓷在其电轴上作用交变力）Qd33F；d33压电系数压电系数。则压电元件上产生的电压值则压电元件上产生的电压值：第43页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器根据上面的电路，可得到前置放大器的输入电压根据上面的电路，可得到前置放大器的输入电压Vsr，写成复数形式写成复数形式：则前置放大器输入电压的幅值则前置放大器输入电压的幅值Vsrm为：为：输入电压与作用力之间相位差为：输入电压与作用力之间相位差为：第44页/共66页传感器的电压灵敏度传感器的电压灵敏度：因为因为，则，则第六章第六章第六章第

42、六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第45页/共66页结论：结论：（1）当）当0（作用在压电元件上的力是静态力），则放大器（作用在压电元件上的力是静态力），则放大器输入电压等于零，这意味着电荷被泄漏，从输入电压等于零，这意味着电荷被泄漏，从原理上这时压电传原理上这时压电传感器不能测静态量；感器不能测静态量；（2）当）当，可近似看作放大器输入电压与作用力的频，可近似看作放大器输入电压与作用力的频率无关，（被测物理量变化频率越高越能满足上述条件），率无关，（被测物理量变化频率越高越能满足上述条件），可可见压电式传感器高频响应非常好。见压电式传感器高频响应非常好。（3）为扩大低频响

43、应范围，必须尽量提高回路的时间常数，）为扩大低频响应范围，必须尽量提高回路的时间常数，但不能提高电容，否则电压灵敏度会下降，因此只能提高电阻。但不能提高电容，否则电压灵敏度会下降，因此只能提高电阻。主要取决于前置放大器的输入电阻，放大器输入电阻越大，测主要取决于前置放大器的输入电阻，放大器输入电阻越大，测量回路的时间常数越大，传感器的低频响应越好。量回路的时间常数越大，传感器的低频响应越好。电压放大器电路简单，元器件少、价格便宜、工作可靠，电压放大器电路简单，元器件少、价格便宜、工作可靠，但电缆长度不能长，增加电缆长度会降低传感器的电压灵敏度，但电缆长度不能长，增加电缆长度会降低传感器的电压灵

44、敏度，而且而且不能随便更换出厂时规定的电缆，一旦更换电缆，必须重不能随便更换出厂时规定的电缆，一旦更换电缆，必须重新校正灵敏度，否则将引起测量误差新校正灵敏度，否则将引起测量误差。第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器第46页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器二、电荷放大器二、电荷放大器QCaCcCiCfRfUscK电荷放大器实际上是一个具有深度负反馈的高增益运电荷放大器实际上是一个具有深度负反馈的高增益运算放大器。算放大器。当放大器开环增益和输入电阻、反馈电阻相当大时，当放大器开环增益和输入电阻、反馈电阻相

45、当大时，放大器的输出电压放大器的输出电压Vsc正比于输入电荷正比于输入电荷Q。式中式中Ca传感器压电元件传感器压电元件的电容；的电容；Cc电缆电容电缆电容Ci放大器输入电容放大器输入电容Cf放大器反馈电容放大器反馈电容k放大器的开环增益放大器的开环增益第47页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器当当k足够大，则：足够大，则：则则：电荷放大器的输出电压仅与电荷量和反馈电容有关，只要电荷放大器的输出电压仅与电荷量和反馈电容有关，只要保持反馈电容的数值不变，输入电压就正比于输入电荷量，且保持反馈电容的数值不变，输入电压就正比于输入电荷量，且当（当（1+

46、K）Cf 10（Ca+Cc+Ci）以上时，以上时，可认为传感器的灵敏度与电缆电容无关，更换电缆和使可认为传感器的灵敏度与电缆电容无关，更换电缆和使用较长电缆（数百米）时，无需重新校正传感器灵敏度。用较长电缆（数百米）时，无需重新校正传感器灵敏度。Rf（约（约10101014）提供直流反馈；）提供直流反馈；电荷放大器的时间常数电荷放大器的时间常数RfCf相当大（相当大（105S以上），下限截止以上），下限截止频率频率fL=1/(2RfCf)，低达，低达310-6Hz，上限频率高达，上限频率高达100KHz，输入阻抗大于输入阻抗大于1012，输出阻抗小于，输出阻抗小于100。压电式传感器配用电荷放

47、大器时，压电式传感器配用电荷放大器时，低频响应比配用电压低频响应比配用电压放大器要好得多放大器要好得多，可对准静态的物理量进行有效的测量可对准静态的物理量进行有效的测量。第48页/共66页6-4压电式传感器的应用压电式传感器的应用第49页/共66页第50页/共66页第51页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器一、压电式加速度传感器一、压电式加速度传感器通过压电元件与质量块的结合，可以构通过压电元件与质量块的结合，可以构成压电式加速度传感器，压电式加速度传感器成压电式加速度传感器，压电式加速度传感器常见的结构型式有基于压电元件厚度变形的常见的结构型

48、式有基于压电元件厚度变形的压压缩型缩型和基于剪切变形的和基于剪切变形的剪切型剪切型。（c）梁式）梁式（a）单端中心压缩式）单端中心压缩式（b）挑担式）挑担式见讲义见讲义P166第52页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器灵敏度：100mV/g 100mV/g 量程：50g 50g 频率范围：0.5-8000Hz0.5-8000Hz（10%)10%)分辨率：0.0002g 0.0002g 线性：1%1%横向灵敏度：5%5%典型值：3%3%温度范围：-40+120用途：模态试验LC0101第53页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式

49、传感器压电式传感器压电式传感器LC0106灵敏度：灵敏度：1000mV/g量程：量程：5g频率范围：频率范围：0.04-1500Hz（10%)分辨率：分辨率：0.00002g重量：重量：200gm安装螺纹：安装螺纹：M5mm线性：线性：1%横向灵敏度：横向灵敏度：5%典型值：典型值：3%温度范围：温度范围：-40+120用途：超低频、小用途：超低频、小g测量测量第54页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器二、压电式力和压力传感器二、压电式力和压力传感器按用途和压电元件的组成可分为单向力、双向力和按用途和压电元件的组成可分为单向力、双向力和三向力传

50、感器。三向力传感器。左图是压电式压力传感左图是压电式压力传感器的结构图，它主要由器的结构图，它主要由石英晶片、膜片、薄壁石英晶片、膜片、薄壁管、外壳等组成。石英管、外壳等组成。石英晶片由多片叠堆放在薄晶片由多片叠堆放在薄壁管内，并由拉紧的薄壁管内，并由拉紧的薄壁管对石英晶片施加预壁管对石英晶片施加预载力。感受外部压力的载力。感受外部压力的是位于外壳和薄壁管之是位于外壳和薄壁管之间的膜片，它由挠性很间的膜片，它由挠性很好的材料制成。好的材料制成。第55页/共66页第六章第六章第六章第六章 压电式传感器压电式传感器压电式传感器压电式传感器ULT25系列 压电石英力传感器 ULT25系列产品可用于测