真空技术课程学习.pptx

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1、会计学1真空技术真空技术第一页，共42页。引言引言(ynyn)n n稀薄(xb)气体现象及理论空间(kngjin)现象分子运动论范畴固-气界面现象表面物理学范畴第1页/共42页第二页，共42页。1.气体气体(qt)分子运动论的基本原分子运动论的基本原理理n n气态最主要的特征是：n n 1.本身即无一定形状，亦无一定体积。任一数量的气体，都能无限制膨胀而充满于任何形状与大小的容器n n 2.气体可均匀混合在一起。任何不同种类的气体，不论(bln)其比例如何，都能混合成均匀状态。第2页/共42页第三页，共42页。气体气体(qt)基本定律基本定律n n玻义耳定律：一定质量的气体玻义耳定律：一定质量

2、的气体(qt(qt)，在恒定的温度下，其体积，在恒定的温度下，其体积V V与压强与压强P P成反比：成反比：n n PV=C PV=Cn n盖盖 吕萨克定律：一定质量的气体吕萨克定律：一定质量的气体(qt(qt)，在恒定压强下，其体，在恒定压强下，其体积随温度而线性增加：积随温度而线性增加：n n Vt=V0(1+t)Vt=V0(1+t)n n查理定律：一定质量的气体查理定律：一定质量的气体(qt(qt)，在保持体积不变的条件下，在保持体积不变的条件下，其压强随温度而线性增加：其压强随温度而线性增加：n n Pt=P0(1+t)Pt=P0(1+t)n n 第3页/共42页第四页，共42页。n

3、n阿伏加德罗定律：在相同的温度和压强下，相同体积的任阿伏加德罗定律：在相同的温度和压强下，相同体积的任何气体都含有相同数目的分子何气体都含有相同数目的分子(fnz)(fnz)。所以又叫四同定。所以又叫四同定律，也叫五同定律（五同指同温、同压、同体积、同分律，也叫五同定律（五同指同温、同压、同体积、同分子子(fnz)(fnz)个数、同物质的量）。个数、同物质的量）。n n 1 1克分子克分子(fnz)(fnz)重量的不同气体，具有相同的分子重量的不同气体，具有相同的分子(fnz)(fnz)数数6.02310236.0231023个个n n气体状态方程：描述理想气体状态变化规律的方程。质量气体状态

4、方程：描述理想气体状态变化规律的方程。质量为为MM，摩尔质量为，摩尔质量为 的理想气体，其状态参量压强的理想气体，其状态参量压强P P、体积、体积V V和绝对温度和绝对温度T T之间的函数关系为：之间的函数关系为：n n n n 克拉伯龙方程克拉伯龙方程 第4页/共42页第五页，共42页。气体分子运动论基本气体分子运动论基本(jbn)假假设设n n1.1.任何气体均由大量任何气体均由大量(dling)(dling)微小分子的质点所组微小分子的质点所组成；对于单一气体，这些质点完全是相同的。这成；对于单一气体，这些质点完全是相同的。这些微小质点称为分子。些微小质点称为分子。n n2.2.分子尽管

5、微小，但仍有一定体积。因此在运动分子尽管微小，但仍有一定体积。因此在运动时它们不断碰撞，且亦与容器器壁碰撞，这些碰时它们不断碰撞，且亦与容器器壁碰撞，这些碰撞是完全弹性的，即无能量损失的，即无能量损撞是完全弹性的，即无能量损失的，即无能量损失的。失的。n n3.3.分子的运动及碰撞遵从牛顿定律，可以用经典分子的运动及碰撞遵从牛顿定律，可以用经典力学来处理。力学来处理。n n4.4.分子的数目是巨大的，而气体的宏观性质是大分子的数目是巨大的，而气体的宏观性质是大量量(dling)(dling)分子微观性质的统计平均值，可以采分子微观性质的统计平均值，可以采用统计学的方法予以求出用统计学的方法予以

6、求出第5页/共42页第六页，共42页。理想气体理想气体(l xin q t)n n理想气体实质是分子运动论的一个重要理论模型，该模型的特点有：理想气体实质是分子运动论的一个重要理论模型，该模型的特点有：n n（1 1）气体分子本身的体积与它的活动空间即整个气体体积或容器体）气体分子本身的体积与它的活动空间即整个气体体积或容器体积相比是微不足道的，可以将分子看成几何点。积相比是微不足道的，可以将分子看成几何点。n n（2 2）分子之间没有相互作用力。除了碰撞而外，每个分子的运动完）分子之间没有相互作用力。除了碰撞而外，每个分子的运动完全是独立的，不受其他分子的影响。全是独立的，不受其他分子的影响

7、。n n低压气体与理想气体很接近，因此在真空技术中完全可以应用低压气体与理想气体很接近，因此在真空技术中完全可以应用(yngyng)(yngyng)理想气体的模型而不必加以修正。理想气体的模型而不必加以修正。第6页/共42页第七页，共42页。蒸汽蒸汽(zhn q)n n有关理想气体的概念只适用于“永久(yngji)气体”，不适用于蒸汽。二者的区别在于所处温度是在临界温度以上或以下n n实用上以室温（1525oC）为准，凡临界温度高于室温的气体称为蒸汽，而低于室温的则称为“永久(yngji)气体”与液体处于平衡状态的蒸汽，其压强称为饱和(boh)蒸汽压。对于一定物质饱和(boh)蒸汽压只取决于温

8、度第7页/共42页第八页，共42页。2.气体气体(qt)的压强的压强n n宏观定义：处在容器中的气体，对器壁施有压力。宏观定义：处在容器中的气体，对器壁施有压力。在达到平衡以后，这个压力是恒定的。单位面积在达到平衡以后，这个压力是恒定的。单位面积器壁上所受的压力称为压强器壁上所受的压力称为压强n n微观定义：从气体分子运动论的观点来看，气体微观定义：从气体分子运动论的观点来看，气体的压力是大量分子碰撞于单位面积器壁而产生的压力是大量分子碰撞于单位面积器壁而产生(ch(ch nshng)nshng)的动量变化率的总和。（从此观点的动量变化率的总和。（从此观点判定，压强这个概念是具有统计性质的）判

9、定，压强这个概念是具有统计性质的）n n根据分子运动论理论，可求出压强公式根据分子运动论理论，可求出压强公式第8页/共42页第九页，共42页。n n根据分子运动论理论根据分子运动论理论(l(l ln)ln)，可求出压，可求出压强公式强公式上述压强(yqing)公式还可以根据能量均分原理改变为另一个形式。能量均分原理的内容是：在粒子数很多且已经达到热平衡时，粒子在每一个自由度上的能量平均值为1/2KT。根据此原理，在粒子可以被视为质点的情况，它们只有三个自由度，各个自由度的平均能量为:第9页/共42页第十页，共42页。n n关于混合气体的压强，可采用实验总结出来关于混合气体的压强，可采用实验总结

10、出来的定律的定律(dngl(dngl)道尔顿分压定律道尔顿分压定律(dngl(dngl)（混合气体的总压强等于各个成份（混合气体的总压强等于各个成份气体的分压强之和）气体的分压强之和）道尔顿分压定律在以分子间相互碰撞为主的低真空和分子与器壁碰撞为主的高真空情况下都成立。若将分子看成是质点，则它们只有移动动能，根据(gnj)能量均分原则，每一质点的平均动能为结论：当气体达到热平衡时，各种成份的分子平均动能都相等质量大的分子速率小，质量小的分子速率大。此结论在真空中有重要意义，例如(lr)气体扩散第10页/共42页第十一页，共42页。3.气体分子的速率气体分子的速率(sl)分布分布麦克斯韦速率麦克

11、斯韦速率(sl)分布律分布律n n从气体分子运动论观点来看，所谓平衡状态，即相当从气体分子运动论观点来看，所谓平衡状态，即相当于气体分子在容器中是均匀分布的，而且它们运动的于气体分子在容器中是均匀分布的，而且它们运动的方向亦是机会均等的。方向亦是机会均等的。n n分子混沌性假设：在稳定状态下，分子在空间的分布分子混沌性假设：在稳定状态下，分子在空间的分布是均匀的是均匀的；分子沿空间各方向是机会均等的。；分子沿空间各方向是机会均等的。n n18591859年麦克斯韦从纯几率年麦克斯韦从纯几率(j l(j l)论考虑导出这个分布，论考虑导出这个分布，因此一般成为麦克斯韦速率分布。此分布由波尔兹曼因

12、此一般成为麦克斯韦速率分布。此分布由波尔兹曼从对碰撞过程的细致考虑推导出。在统计学中，从抽从对碰撞过程的细致考虑推导出。在统计学中，从抽象的推理出发，亦得到这个定律的严格证明。象的推理出发，亦得到这个定律的严格证明。第11页/共42页第十二页，共42页。n n速率分布函数速率分布函数n n 速率分布函数是用来速率分布函数是用来(yn(yn li)li)描述气体分子速率分布规律描述气体分子速率分布规律的，的，表表n n示速率示速率 v v 附近单位速率区间内分子数占总分子数的比率。附近单位速率区间内分子数占总分子数的比率。n n 若气体分子总数为若气体分子总数为NN，dNdN为速率区间为速率区间

13、vv+dvvv+dv内的分子，则内的分子，则 由于分子速率在0 之间分布，在其上概率(gil)为上式称为归一化条件第12页/共42页第十三页，共42页。麦克斯韦(mi k s wi)求出 f(v)分布在速率(sl)区间vv+dv内的分子数N为 第13页/共42页第十四页，共42页。三种(sn zhn)代表性速率最可几速率 气体分子平均(pngjn)速率 气体(qt)方均根速率 第14页/共42页第十五页，共42页。分子速率与气体种类（通过m）有关，这个事实导致“选择作用”的出现凡与热运动速率有关的现象，其结果对各种气体是不相同的。依据扩散原理进行抽气的扩散泵，对H2的抽气速率就比N2、CO2等

14、的抽速为大，因为前者的平均速率高；混合气体通过一个管道时亦发生“选择作用”各个(gg)成份通过的快慢不一样，如U235和U238就是利用此现象进行分离的。下表给出一些气体分子平均速率（温度为15oC时）。可见(kjin)大多数气体分子的平均速率都比声速（约340米/秒）为快。第15页/共42页第十六页，共42页。4.平均自由程与碰撞平均自由程与碰撞(pn zhun)截面截面一、气体(qt)分子平均自由程l 为了解释巨大的分子速率与缓慢的扩散过程之间的矛盾，克劳修斯于1898年引进气体分子自由程的概念。l 在气体中，一个(y)分子从一次碰撞到另一次碰撞之间的路程称为分子平均自由程。l 分子间的碰

15、撞纯属于随机过程，自由程将有短有长，差异很大。设想跟踪某一个分子的大量自由程，则可期望得到其长度有一定平均值，这个平均值称为平均自由程长度第16页/共42页第十七页，共42页。n n一个分子一个分子(fnz(fnz)在单位时间内与其他分子在单位时间内与其他分子(fnz(fnz)碰碰撞的平均次数称为碰撞率，用撞的平均次数称为碰撞率，用 表示表示分子(fnz)相互碰撞次数简图则平均(pngjn)自由程为如果考虑其他分子在运动，以及分子速率分布，可严格计算出这两个参量就特定气体而言就特定气体而言，温度温度T T一定时一定时依据依据P=n K T，平均自由程可写为平均自由程可写为第17页/共42页第十

16、八页，共42页。分子自由程 与容器尺寸d的比值 称为克鲁曾系数。它是气体中现象性质的一个(y)很好判据。混合气体中分子(fnz)平均自由程第18页/共42页第十九页，共42页。二、离子或电子在气体中的自由二、离子或电子在气体中的自由(zyu)(zyu)程程离子或电子在气体中运动时，它们将与分子碰撞，形成离子或电子在气体中运动时，它们将与分子碰撞，形成自由自由(zyu)(zyu)程。程。（1 1）离子的直径可以认为与分子直径相同；但它们的运动速）离子的直径可以认为与分子直径相同；但它们的运动速率，通常因受电场的作用而远大于分子的速率。因此，可率，通常因受电场的作用而远大于分子的速率。因此，可将分

17、子视为静止的。将分子视为静止的。则离子平均自由则离子平均自由(zyu)(zyu)程为程为（2）电子的有效(yuxio)直径远小于与分子的有效(yuxio)直径；它们的运动速率高，因此同样可将分子视为静止的。则电子平均自由程为第19页/共42页第二十页，共42页。第20页/共42页第二十一页，共42页。三、有效直径与有效截面粒子间的碰撞，是一种力场的相互作用。分子间的碰撞是两个分子接近到一定距离后，出现了显著的相互斥力，导致飞行轨道剧烈改变。此距离（从该两分子中心算起）就定义为分子的有效直径，它的一般则为有效半径。有效直径是温度的函数，温度愈高，分子动能愈大，能克服斥力作用而飞的更近，故有效直径

18、愈小。分子相互间的引力导致分子飞行路程弯曲(wnq)，使其更易“碰撞”，则意味着其有效直径增大。温度愈低，分子动能愈低，引力的效应就愈明显，有效直径亦增大。第21页/共42页第二十二页，共42页。n n电子或离子与气体分子的碰撞也有相应电子或离子与气体分子的碰撞也有相应(xingyng)(xingyng)地有效直径。地有效直径。n n实验发现：有效直径或平均自由程均强烈地依赖于电实验发现：有效直径或平均自由程均强烈地依赖于电子、离子的能量（冉邵尔子、离子的能量（冉邵尔-汤生效应）汤生效应）n n关于带电粒子在气体中碰撞，使用的更多的是有效截关于带电粒子在气体中碰撞，使用的更多的是有效截面的概念

19、，而非有效直径。面的概念，而非有效直径。n n 以电子为例以电子为例第22页/共42页第二十三页，共42页。n n宏观截面（总有效截面）：一立方厘米体积中宏观截面（总有效截面）：一立方厘米体积中宏观截面（总有效截面）：一立方厘米体积中宏观截面（总有效截面）：一立方厘米体积中所有所有所有所有(su(su y y u)u)分子微观截面之总和。总有效截分子微观截面之总和。总有效截分子微观截面之总和。总有效截分子微观截面之总和。总有效截面用面用面用面用QQ表示，即表示，即表示，即表示，即Q=enQ=en。第23页/共42页第二十四页，共42页。5 自由程长度自由程长度(chngd)分布律分布律N0个分

20、子飞行 x 路程(lchng)，未遭受碰撞的个数为分子自由程长度(chngd)分布律这就是自由程长度处在xx+dx间的分子数。上式规律不仅适用分子，同样也适用离子、电子在真空技术中，绝大多数都是自由程平均值长于电极间距真空技术中，绝大多数都是自由程平均值长于电极间距d d。于是。于是似乎电子或离子都将毫无例外地从一个电极飞到另一个电极，实际上似乎电子或离子都将毫无例外地从一个电极飞到另一个电极，实际上这个结论是不符合实际情况的。这个结论是不符合实际情况的。第24页/共42页第二十五页，共42页。n n六、电子碰撞(pn zhun)引起的电离引起电离的碰撞数与总碰撞数之比称为引起电离的碰撞数与总

21、碰撞数之比称为(chn wi)电离几率电离几率第25页/共42页第二十六页，共42页。第26页/共42页第二十七页，共42页。n n七、气体分子的入射率n n 在真空技术的具体问题中，常需要计算(j sun)单位时间内n n入射到单位面积上的分子数目，即分子入射率。n n 由麦克斯韦速率分布推导出的分子入射率为n n 气体分子单位(dnwi)时间入射到单位(dnwi)面积上的分子数与分子数密度 n 成正比，与气体热运动平均速率 v成正比。第27页/共42页第二十八页，共42页。八、八、分子从表面的反射分子从表面的反射余弦余弦(yxin)(yxin)定律（克努曾定律）定律（克努曾定律）余弦余弦(

22、yxin)(yxin)定律：碰撞于固体表面的分子，它们飞离表面的定律：碰撞于固体表面的分子，它们飞离表面的方向与原飞来方向无关，并与表面法线方向所成角度方向与原飞来方向无关，并与表面法线方向所成角度 的余的余弦弦(yxin)(yxin)而分布。而分布。设为一个分子，则其离开表面时位于立体角设为一个分子，则其离开表面时位于立体角dwdw（与表面法线成（与表面法线成 角）中的几率为：角）中的几率为：余弦定律基于“吸附(xf)层”假设：凡碰撞于容器表面的分子都将被表面暂时吸附(xf)，在表面滞留一段时间以后再重新 “蒸发”出来。该假设已被试验所证实。固体表面对碰撞分子的漫反射，使得反射出来气体分子的

23、运动方向与入射时的运动方向无关，这与气体分子间的碰撞情况相似。第28页/共42页第二十九页，共42页。余弦定律的意义及注意余弦定律的意义及注意余弦定律的意义及注意余弦定律的意义及注意(zh y)(zh y)问题问题问题问题n n（1 1）揭示了固体表面对气体分子作用的一个重要侧面，）揭示了固体表面对气体分子作用的一个重要侧面，它将分子原有的方向性彻底消灭它将分子原有的方向性彻底消灭分子忘掉了原有的分子忘掉了原有的运动方向，均按余弦定律反射。（导致了分子的运动方向，均按余弦定律反射。（导致了分子的“混沌混沌性性”，保证了麦克斯韦分布律的成立）。，保证了麦克斯韦分布律的成立）。n n（2 2）分子

24、在固体表面要停留一段时间，这点有重大的实）分子在固体表面要停留一段时间，这点有重大的实际意义，这是气体分子能够与固体进行能量交换、动量际意义，这是气体分子能够与固体进行能量交换、动量交换的先决条件。（这是真空技术中，容器交换的先决条件。（这是真空技术中，容器(rngq)(rngq)表表面散热、对气体分子加热、高速运动表面拖动气体分子面散热、对气体分子加热、高速运动表面拖动气体分子以及固体表面对气体吸附等的物理基础）以及固体表面对气体吸附等的物理基础）n n（3 3）由于分子每碰撞于表面都要停留一定时间，这就造）由于分子每碰撞于表面都要停留一定时间，这就造成了高真空下（此时分子仅与器壁碰撞）气体

25、或蒸汽通成了高真空下（此时分子仅与器壁碰撞）气体或蒸汽通过管道需要较长时间。过管道需要较长时间。n n（4 4）在分子尺度上光滑的表面吸附作用极其微弱，此时）在分子尺度上光滑的表面吸附作用极其微弱，此时余弦定律不成立。常见的光滑表面是晶体的解理面。余弦定律不成立。常见的光滑表面是晶体的解理面。第29页/共42页第三十页，共42页。九、气体的输运九、气体的输运九、气体的输运九、气体的输运(sh yn)(sh yn)过程过程过程过程高压高压(goy)强，克努曾系强，克努曾系数较小时数较小时气体(qt)内摩擦现象气体热传导现象气体扩散现象分子粘滞性低压气体热传导热流逸现象热辐射计力现象非平衡过程低压

26、强，克努曾系低压强，克努曾系数较大时数较大时第30页/共42页第三十一页，共42页。气体气体气体气体(qt(qt)中的迁移中的迁移中的迁移中的迁移现象现象现象现象n n气体的输运方程n n单位时间单位面积的净输入量n n其中 是相互成反比的量，所以当 n 增加减小时，恰好(qiho)不变，亦即输运量与 n 无关，与压强无关第31页/共42页第三十二页，共42页。n n气体的动量(dngling)迁移内摩擦现象n n设垂直于Z轴安放两个平行板，两板距离为d，期间有分子数密度为n的气体，处于原点的一块静止不动，上面的一块以一定速度u沿Y轴方向运动。n n由于上板的牵动，板间气体亦往Y轴方向运动，在

27、压强较高时，它的运动有“层流”性质。紧贴上板气体速度为u，下板速度为0。n n 流动的气体，当其中存在速度梯度时，相邻流动层之间的气体分子在粘滞摩擦力（内摩擦力）的作用下形成宏观流动，流层间的内摩擦力为第32页/共42页第三十三页，共42页。n n由牛顿由牛顿(ni dn)(ni dn)第二定第二定律知道律知道在内摩擦现象中，分子输运(sh yn)的物理量就是它们的叠加有向动量，输运(sh yn)方程中的g就应该是g=m u(Z)第33页/共42页第三十四页，共42页。n n结论(jiln)第34页/共42页第三十五页，共42页。n n气体的能量迁移热传导现象n n当气体内部分的温度不同时，热

28、量将从高温处向低温处传递，这种现象称为气体的热传导现象。通过热传导，最终气体各处温度趋于一致。n n单位面积传递的热量可以由傅立叶定律描述：热传导的热量与温度梯度成正比，传递方向(fngxing)与温度梯度方向(fngxing)相反。第35页/共42页第三十六页，共42页。n n结论(jiln)：在气体分子运动论建立的初期(chq)，理论上得到了K、与气体压强无关的结论，曾引起不少惊讶。后来实验证实这些结论完全正确，从而肯定了自由程理论的成功第36页/共42页第三十七页，共42页。n n气体的质量的迁移扩散现象n n当气体内各部分质量不同时，气体分子将从密度大处向密度小处迁移，最终使得各处密度

29、相等，此即为扩散现象。是气体的质量迁移过程。n n扩散分为“自扩散”和“互扩散”两种。“自扩散”发生在单一成分气体由于存在密度梯度时；“互扩散”发生在多层分气体由于存在密度梯度时。n nA 自扩散n n 当单一成分气体内存在密度梯度时，密度大处的气体分子将自发地向密度小处迁移，单位时间通过单位面积迁移的分子数目与分子数密度梯度成正比，可以由费克第一(dy)定律表示：第37页/共42页第三十八页，共42页。单位时间内通过单位截面积的气体分子质量(zhling)迁移量为 扩散系数与气体种类(zhngli)有关，与气体温度、压力等因素有关，其计算表达式是第38页/共42页第三十九页，共42页。讨论(

30、toln)第39页/共42页第四十页，共42页。B B 互扩散互扩散 在多种成分在多种成分(chng fn)(chng fn)气体中，当一种或者多种气体成气体中，当一种或者多种气体成分分(chng fn)(chng fn)存在密度梯度时，将产生互扩散，直到存在密度梯度时，将产生互扩散，直到各成分各成分(chng fn)(chng fn)密度均衡为止，互扩散中，单位时密度均衡为止，互扩散中，单位时间通过单位面积发生质量迁移量为：间通过单位面积发生质量迁移量为：互扩散系数与各组分成分的扩散能力以及分子(fnz)数密度有关，对于两种气体的相互扩散过程，其扩散系数可表示为：第40页/共42页第四十一页，共42页。第41页/共42页第四十二页，共42页。