电容式传感器概述.ppt
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1、项目项目(xingm)二二 电容式传感器电容式传感器【项目目标与要求】【项目目标与要求】知识目标:知识目标:1掌握电容传感器的结构和工作原理;掌握电容传感器的结构和工作原理;2了解电容式传感器的应用情况。了解电容式传感器的应用情况。4掌握电容式传感器的实用电路掌握电容式传感器的实用电路技能要求:技能要求:1学会用电容式传感器测量位移;学会用电容式传感器测量位移;2学会电容测厚仪的使用;学会电容测厚仪的使用;3学会电容接近开关学会电容接近开关(kigun)的设计方法与应用电路。的设计方法与应用电路。2023/2/92023/2/91第一页,共46页。项目项目项目项目(xingm)(xingm)四
2、四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器项目项目项目项目(xingm)(xingm)引入引入引入引入 电容传感器可用来测量直线位移、角位移,振动振幅(可测至的微小振幅),尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量,还可用来测量压力、差压力、液位、料面、粮食中的水分含量、非金属材料的涂层、油膜厚度、测量电介质的湿度、密度、厚度等等。在自动检测和控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。当测量金属表面状况、距离尺寸、振动振幅时,往往采用单电极式变极距型电容传感器,这时被测物是电容器的一个电极,另一个电极则在传感器内。电容式传感器是利用电容器的原理将被测非电量转换为电容
3、量的变化,实现非电量到电量的转化。根据电容器变化的参数不同,电容传感器可以分为:变间隙(jin x)式、变面积式和变介电常数式2023/2/92023/2/92第二页,共46页。Page 32023/2/9项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器项目项目项目项目(xingm)(xingm)引入引入引入引入 测厚仪作为一种在线测量板材厚度的高精密仪器,在整个轧机的厚控系统中占着非常(fichng)重要的地位。它为轧机的AGC系统提供实时厚度偏差信号,信号的准确度与分辨力直接影响了压扎板材的厚度质量。第三页,共46页。第一节第一节 电容
4、式传感器的工作电容式传感器的工作(gngzu)(gngzu)原理及结构形式原理及结构形式项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备电容电容(dinrng)(dinrng)传感器的基本理想公传感器的基本理想公式为式为 改变改变A A、d d、三个参量中的任意一个量,均可使平板电容的电容量三个参量中的任意一个量,均可使平板电容的电容量C C 改改变。变。固定三个参量中的两个,可以做成三种类型的电容传感器。固定三个参量中的两个,可以做成三种类型的电容传感器。2023/2/92023/2/94第四页,共46页。
5、电容式传感元件的各种结构电容式传感元件的各种结构(jigu)形式形式项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备电容式传感器传感元件电容式传感器传感元件(yunjin)(yunjin)第五页,共46页。一、变面积一、变面积(min j)式电容传感器式电容传感器项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备 图a是平板形直线位移式结构,其中(qzhng)极板1可以左右移动,称为动极板。极板2固定不动,称为定极板。图b是同
6、心圆筒形变面积式传感器。外圆筒不动,内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。图c是一个角位移式的结构。极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移 度时,两极板的遮盖面积A就减小,因而电容量也随之减小。第六页,共46页。变面积变面积(min j)式电容传感器的特性式电容传感器的特性 变面积式电容传感器的输出特性是线性的,灵敏度是常数。变面积式电容传感器的输出特性是线性的,灵敏度是常数。这一类传感器多用于检测这一类传感器多用于检测(jin c)直线位移、角位移、尺寸等参直线位移、角位移、尺寸等参量。量。项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知
7、识准备知识准备知识准备知识准备第七页,共46页。二、变极距式电容二、变极距式电容(dinrng)传感器传感器 项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备第八页,共46页。二、变极距式电容二、变极距式电容(dinrng)传感器传感器 当当动动极极板板受受被被测测物物体体作作用用引引起起位位移移时时,改改变变了了两两极极板板之之间间的的距距离离d,从从而而使使电电容容量量发发生生变变化化。实实际际使使用用时时,总总是是使使初初始始极极距距d0尽尽量量(jnling)小小些些,以以提提高高灵灵敏敏度度,但但这
8、也带来了变极距式电容器的行程较小的缺点。这也带来了变极距式电容器的行程较小的缺点。项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备第九页,共46页。变极距式电容传感器的特性变极距式电容传感器的特性(txng)曲线曲线 a)结构)结构(jigu)示意图示意图 b)电容量与极板距)电容量与极板距离的关系离的关系1定极板定极板 2动极板动极板 从图中可以看到,为了提高灵敏度,应使当d0小些还是大些?当变极距式电容传感器的初始极距d0较小时(xiosh),它的测量范围变大还是变小?项目四项目四项目四项目四 电容式传感
9、器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备第十页,共46页。为为提提高高灵灵敏敏度度和和线线性性度度,克克服服电电源源电电压压、环环境境温温度度变变化化等等外外界界条条件件影影响响,常采用差动式电容传感器常采用差动式电容传感器上下两极板是固定极板,中间极板是活动极板上下两极板是固定极板,中间极板是活动极板未未开开始始测测量量时时将将活活动动极极板板调调整整在在中中间间位位置置,两两边边(lingbin)(lingbin)电电容容相相等等。测量时,中间极板向上或下平移,就会引起电容量的上增下减或反之。测量时,中间极板向上或下平移,就会引起电容量的上增下减或反之。差动式
10、结构差动式结构(jigu)12S差动平板式电容差动平板式电容(dinrng)传感传感器结构器结构项目四项目四项目四项目四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备第十一页,共46页。项目四项目四项目四项目四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识知识知识知识(zh shi)(zh shi)准备准备准备准备第十二页,共46页。例例:解:解:1)2)S1*S2*C=100*5*0.01=5格格 一一电电容容测测微微仪仪,其其传传感感器器的的圆圆形形极极板板半半径径r=4mm,工工作作初初始始间间隙隙d,介电常数,介电常数=8.8510-12F/
11、m,试求:,试求:1)工工作作中中,若若传传感感器器与与工工件件的的间间隙隙减减小小量量d=2m,电电容容变变化化量量是是多多少少?2)若若测测量量电电路路的的灵灵敏敏度度S1=100mv/PF,读读数数(dsh)仪仪表表的的灵灵敏敏度度S2=5格格/mv,当当d=2m,时,读数时,读数(dsh)仪表示值变化多少格仪表示值变化多少格?项目四项目四项目四项目四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识知识知识知识(zh shi)(zh shi)准备准备准备准备第十三页,共46页。常用变介质常用变介质(jizh)(jizh)型电容传感器的结构型式如下图所示。型电容传感器的结构型式如下图
12、所示。用途:用途:测量测量(cling)(cling)纸张、绝缘薄膜等的厚度纸张、绝缘薄膜等的厚度测量测量(cling)(cling)粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备三、变介电常数式三、变介电常数式 第十四页,共46页。三、变介电常数三、变介电常数(ji din chn sh)式式 表表4-14-1几种介质的相对几种介质的相对(xingdu)(xingdu)介电介电常数常数项目项目项目项目(xingm)(x
13、ingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备 因为各种介质的相对介电常数不同,所以在电容器两极板间插因为各种介质的相对介电常数不同,所以在电容器两极板间插入不同介质时,电容器的电容量也就不同。入不同介质时,电容器的电容量也就不同。第十五页,共46页。变介电常数变介电常数(ji din chn sh)式电容传感器的用途式电容传感器的用途 根据根据(gnj)表表4-1,分析不同介质对变介电常数电容器的影,分析不同介质对变介电常数电容器的影响。在电容器两极板间插入干的纸和潮湿的纸时,哪一种情况响。在电容器两极板间插入干的纸和潮湿的纸时,哪一种情
14、况下的电容量大?下的电容量大?项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备第十六页,共46页。电电容容传传感感器器的的特特点点:电电容容量量小小,变变化化更更小小(PF级级)。理理论论上上,交交流流电电桥桥可可作作为为电电容容传传感感器器的的测测量量电电路路,但但由由于于电电容容及及变变化太小,不易化太小,不易(b y)实现。实现。电桥电路电桥电路调频电路调频电路谐振电路谐振电路运算放大器式电路运算放大器式电路脉冲宽度调制电路脉冲宽度调制电路第二节第二节 电容式传感器的测量电容式传感器的测量(cling)
15、转换电路转换电路 项目四项目四项目四项目四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识知识知识知识(zh shi)(zh shi)准备准备准备准备第十七页,共46页。UCr1C(a)RRU0(c)UCr1Cr2U0LLCr1(b)CU0UCCr2项目四项目四项目四项目四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识知识知识知识(zh shi)(zh shi)准备准备准备准备第二节第二节 电容式传感器的测量转换电路电容式传感器的测量转换电路(dinl)(dinl)(电桥电路(电桥电路(dinl)(dinl))第十八页,共46页。另两个臂是紧耦合电感臂的电桥具有另两个臂是紧耦合电
16、感臂的电桥具有另两个臂是紧耦合电感臂的电桥具有另两个臂是紧耦合电感臂的电桥具有(jyu)(jyu)较较较较高的灵敏度和稳定性,且寄生电容影响极小、高的灵敏度和稳定性,且寄生电容影响极小、高的灵敏度和稳定性,且寄生电容影响极小、高的灵敏度和稳定性,且寄生电容影响极小、大大简化了电桥的屏蔽和接地,适合于高频电大大简化了电桥的屏蔽和接地,适合于高频电大大简化了电桥的屏蔽和接地,适合于高频电大大简化了电桥的屏蔽和接地,适合于高频电源下工作。源下工作。源下工作。源下工作。Cr1Cr2U0U(d)变压器电桥使用元件最少,桥路内阻最小,因此目前变压器电桥使用元件最少,桥路内阻最小,因此目前变压器电桥使用元件
17、最少,桥路内阻最小,因此目前变压器电桥使用元件最少,桥路内阻最小,因此目前(mqin)(mqin)较多采用。较多采用。较多采用。较多采用。项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备第二节第二节 电容式传感器的测量转换电路电容式传感器的测量转换电路 (电桥电路电桥电路 )第十九页,共46页。电桥电桥(din qio)的输出为一调幅波,经放大、相敏解调、滤波后获得输的输出为一调幅波,经放大、相敏解调、滤波后获得输出。出。第二节第二节 电容式传感器的测量电容式传感器的测量(cling)(cling)转换电路转
18、换电路 (电桥电路(电桥电路 )项目四项目四项目四项目四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识知识知识知识(zh shi)(zh shi)准备准备准备准备第二十页,共46页。传传感感器器电电容容是是振振荡荡器器谐谐振振回回路路的的一一部部分分。当当输输入入量量使使传传感感器器电电容容量量发发生生变变化化时时,振振荡荡器器的的振振荡荡频频率率发发生生变变化化。频频率率的的变变化化经经过过鉴鉴频频器器变变为为电电压压变化,再经过放大后由记录变化,再经过放大后由记录(jl)器记录器记录(jl)或显示仪表指示。或显示仪表指示。项目项目项目项目(xingm)(xingm)四四四四 电容式
19、传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识准备知识准备知识准备知识准备第二节第二节 电容式传感器的测量转换电容式传感器的测量转换(zhunhun)(zhunhun)电路电路 (调频电路(调频电路 )第二十一页,共46页。特点:特点:电路比较灵敏;工作点不易选好,且变化范围窄;电路比较灵敏;工作点不易选好,且变化范围窄;连接电缆杂散电容对电路的影响大;连接电缆杂散电容对电路的影响大;为提高测量精度,振荡器的频率要求为提高测量精度,振荡器的频率要求(yoqi)具有很高的稳定性具有很高的稳定性电电容容传传感感器器的的电电容容Cx作作为为谐谐振振电电路路(或或)调调谐谐电容的一部分。电容的一部分。
20、此此谐谐振振回回路路通通过过电电感感耦耦合合,从从稳稳定定的的高高频频振振荡器获得振荡电压。荡器获得振荡电压。当当传传感感器器的的电电容容Cx发发生生变变化化,谐谐振振回回路路的的阻阻抗抗也也发发生生相相应应变变化化,并并被被转转换换成成整整流流器器电电流流的变化。的变化。该电流经过放大、检波即可得到输出。该电流经过放大、检波即可得到输出。为为了了获获得得较较好好的的线线性性,一一般般工工作作(gngzu)点点应应选选择择在在谐谐振振曲曲线线一一边边最最大大振振幅幅的的70附附近的准线性区域内。近的准线性区域内。项目四项目四项目四项目四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识知识
21、知识知识(zh shi)(zh shi)准备准备准备准备第二节第二节 电容式传感器的测量转换电路电容式传感器的测量转换电路 (谐振电路谐振电路 )第二十二页,共46页。运算运算(yn sun)放大器式电路原理图放大器式电路原理图特点特点(tdin)能将变间隙电容式传感器的非线性特性转换为线性关能将变间隙电容式传感器的非线性特性转换为线性关系系项目四项目四项目四项目四 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器知识知识知识知识(zh shi)(zh shi)准备准备准备准备第二节第二节 电容式传感器的测量转换电路电容式传感器的测量转换电路 (运放电路运放电路 )第二十三页,共46页。脉冲宽
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