半导体物理学(刘恩科)第七版 完整课后题答案).pdf
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1、第一章习题第一章习题 1设晶格常数为a 的一维晶格,导带极小值附近能量Ec(k)和价带极大值附近能量 EV(k)分别为:h2k2h2(k k1)2h2k213h2k2 Ec=,EV(k)3m0m06m0m0m0为电子惯性质量,k1a,a 0.314nm。试求:(1)禁带宽度;(2)导带底电子有效质量;(3)价带顶电子有效质量;(4)价带顶电子跃迁到导带底时准动量的变化解:(1)导带:22k22(k k1)由 03m0m03k14d2Ec222282又因为:2 03m0m03m0dk得:k 所以:在k 价带:dEV62k 0得k 0dkm0d2EV62又因为 0,所以k 0处,EV取极大值m0d
2、k22k123 0.64eV因此:Eg EC(k1)EV(0)412m03k处,Ec取极小值4(2)m*nC22d ECdk23m083k k14(3)m*nV22d EVdk2 k01m06(4)准动量的定义:p k所以:p (k)3k k143(k)k0 k10 7.951025N/s42.晶格常数为 0。25nm 的一维晶格,当外加 102V/m,107V/m 的电场时,试分别计算电子自能带底运动到能带顶所需的时间。解:根据:f qE hkk得t qEt(0t1a)8.27108s1.61019102(0a)107t2补充题补充题 1 11.61019 8.271013s分别计算 Si(
3、100),(110),(111)面每平方厘米内的原子个数,即原子面密度(提示:先画出各晶面内原子的位置和分布图)Si 在(100),(110)和(111)面上的原子分布如图1 所示:(a)(100)晶面(b)(110)晶面(c)(111)晶面11 422(100):242 6.781014atom/cm282aa(5.4310)112 4 24249.591014atom/cm2(110):2a a2a2114 2 24111):42(7.831014atom/cm2233aa2a2补充题 2271(coska cos2ka),一维晶体的电子能带可写为E(k)28ma8式中 a 为 晶格常数,
4、试求(1)布里渊区边界;(2)能带宽度;(3)电子在波矢 k 状态时的速度;*(4)能带底部电子的有效质量mn;(5)能带顶部空穴的有效质量m*p解:(1)由dE(k)n 0得k dka(n=0,1,2)进一步分析k (2n 1)a,E(k)有极大值,E(k)MAX222mak 2na时,E(k)有极小值所以布里渊区边界为k (2n 1)a(2)能带宽度为E(k)MAX E(k)MIN(3)电子在波矢 k 状态的速度v(4)电子的有效质量22ma21 dE1(sinka sin2ka)dkma42mm 21d E(coska cos2ka)22dk*n能带底部k 2n*所以mn 2ma(2n
5、1),a(5)能带顶部k 且mp mn,*所以能带顶部空穴的有效质量mp*2m3半导体物理第半导体物理第 2 2 章习题章习题1.实际半导体与理想半导体间的主要区别是什么?答:(1)理想半导体:假设晶格原子严格按周期性排列并静止在格点位置上,实际半导体中原子不是静止的,而是在其平衡位置附近振动。(2)理想半导体是纯净不含杂质的,实际半导体含有若干杂质.(3)理想半导体的晶格结构是完整的,实际半导体中存在点缺陷,线缺陷和面缺陷等。2.以As掺入Ge中为例,说明什么是施主杂质、施主杂质电离过程和n型半导体。As 有 5 个价电子,其中的四个价电子与周围的四个Ge 原子形成共价键,还剩余一个电子,同
6、时 As 原子所在处也多余一个正电荷,称为正离子中心,所以,一个 As 原子取代一个 Ge 原子,其效果是形成一个正电中心和一个多余的电子。多余的电子束缚在正电中心,但这种束缚很弱,很小的能量就可使电子摆脱束缚,成为在晶格中导电的自由电子,而 As 原子形成一个不能移动的正电中心。这个过程叫做施主杂质的电离过程.能够施放电子而在导带中产生电子并形成正电中心,称为施主杂质或 N 型杂质,掺有施主杂质的半导体叫 N 型半导体。3.以 Ga 掺入 Ge 中为例,说明什么是受主杂质、受主杂质电离过程和 p 型半导体。Ga 有 3 个价电子,它与周围的四个 Ge 原子形成共价键,还缺少一个电子,于是在G
7、e 晶体的共价键中产生了一个空穴,而 Ga 原子接受一个电子后所在处形成一个负离子中心,所以,一个 Ga 原子取代一个 Ge 原子,其效果是形成一个负电中心和一个空穴,空穴束缚在 Ga 原子附近,但这种束缚很弱,很小的能量就可使空穴摆脱束缚,成为在晶格中自由运动的导电空穴,而 Ga 原子形成一个不能移动的负电中心。这个过程叫做受主杂质的电离过程,能够接受电子而在价带中产生空穴,并形成负电中心的杂质,称为受主杂质,掺有受主型杂质的半导体叫 P 型半导体。4.以 Si 在 GaAs 中的行为为例,说明 IV 族杂质在 III-V 族化合物中可能出现的双性行为。Si 取代 GaAs 中的 Ga 原子
8、则起施主作用;Si 取代 GaAs 中的 As 原子则起受主作用。导带中电子浓度随硅杂质浓度的增加而增加,当硅杂质浓度增加到一定程度时趋于饱和。硅先取代 Ga 原子起施主作用,随着硅浓度的增加,硅取代As 原子起受主作用。5。举例说明杂质补偿作用。当半导体中同时存在施主和受主杂质时,若(1)NDNA因为受主能级低于施主能级,所以施主杂质的电子首先跃迁到 NA个受主能级上,还有 ND-NA个电子在施主能级上,杂质全部电离时,跃迁到导带中的导电电子的浓度为 n=ND-NA。即则有效受主浓度为 NAeff ND-NA(2)NA ND施主能级上的全部电子跃迁到受主能级上,受主能级上还有 NA-ND个空
9、穴,它们可接受价带上的 NAND个电子,在价带中形成的空穴浓度 p=NA-ND。即有效受主浓度为 NAeff NA-ND(3)NAND时,不能向导带和价带提供电子和空穴,称为杂质的高度补偿6。说明类氢模型的优点和不足。7。锑化铟的禁带宽度 Eg=0。18eV,相对介电常数r=17,电子的有效质量m*n=0.015m0,m0为电子的惯性质量,求施主杂质的电离能,施主的弱束缚电子基态轨道半径。解:根据类氢原子模型:*4*mnqmnE013.64ED 0.0015 7.110eV2222m2(40r)170rh20r02 0.053nmq m0h20rm0rr 2*r0 60nm*q mnmn8。磷
10、化镓的禁带宽度 Eg=2。26eV,相对介电常数r=11.1,空穴的有效质量 mp=0.86m0,m0为电子的惯性质量,求受主杂质电离能;受主束缚的空穴的基态轨道半径。解:根据类氢原子模型:*4*E0mPqmP13.6EA 0.086 0.0096eV2(40r)22m0r211.12h20r02 0.053nmq m0r h0rm0r*r0 6.68nm2*q mPmP2第三章习题和答案第三章习题和答案10021.计算能量在 E=Ec到E EC之间单位体积中的量子态数。*22mnL31*2)V(2mng(E)(E EC)2解232dZ g(E)dEdZ单位体积内的量子态数Z0V1002100
11、h2EcE 3c 2 22mnl8mnl1*21V(2mn)Z0g(E)dE(E EC)2dE23VEC2EC3V(2m)22(E E)C3223*n32100h2Ec28mnLE2.试证明实际硅、锗中导带底附近状态密度公式为式(3-6)。2.证明:si、Ge半导体的E(IC)K关系为22x2y2zkhk k状态数。E(k)E()CC2mtml2即d g(k)Vk g(k)4k dkz111mmm3令kx(a)2kx,ky(a)2ky,kz(a)2kz123mtmtml12(mtmt ml)dzg(E)4(E Ec)2V22dEhh222则:Ec(k)Ec(k k k)xyz2ma对于si导带
12、底在100个方向,有六个对称的旋转椭球,在k 系中,等能面仍为球形等能面锗在(111)方向有四个,在E E dE空间的状态数等于k空间所包含的m m mtl在k 系中的态密度g(k)t3ma1k2ma(E EC)h3122mnVg(E)sg(E)4(2)2(E Ec)2Vh1223mn smtml313.当 E-EF为 1。5k0T,4k0T,10k0T 时,分别用费米分布函数和玻耳兹曼分布函数计算电子占据各该能级的概率。费米能级E EF费米函数1E EF1 ek0T玻尔兹曼分布函数f(E)f(E)eEEFk0T1。5k0T4k0T10k0T0。1820.0184.541050.2230。01
13、834.541054。画出-78oC、室温(27 oC)、500 oC 三个温度下的费米分布函数曲线,并进行比较。5。利用表 3-2 中的 m*n,mp数值,计算硅、锗、砷化镓在室温下的NC,NV以及本征载流子的浓度.32koTmn2N 2()C2h2koTmp325Nv 2()2hEg1ni(NcNv)2e2koTGe:mn 0.56m0;mp o.37m0;Eg 0.67evsi:mn1.08m0;mp o.59m0;Eg1.12evG A:m 0.068m;masn0p o.47m0;Eg1.428ev6。计算硅在78oC,27oC,300oC 时的本征费米能级,假定它在禁带中间合理吗?
14、Si的本征费米能级,Si:mn1.08m0,mp 0.59m0mE E3kTpCVEF Eiln24mn3kT0.59m0当T1195K时,kT1 0.016eV,ln 0.0072eV41.08m03kT0.59当T2 300K时,kT2 0.026eV,ln 0.012eV41.083kT0.59当T 573K时,kT 0.0497eV,ln 0.022eV2341.08所以假设本征费米能级在禁带中间合理,特别是温度不太高的情况下。7.在室温下,锗的有效态密度 Nc=1。051019cm-3,NV=3。91018cm-3,试求锗的载流子有效质量 mn mp。计算 77K 时的 NC和 NV
15、。已知 300K 时,Eg=0。67eV。77k 时 Eg=0。76eV。求这两个温度时锗的本征载流子浓度。77K 时,锗的电子浓度为 1017cm3,假定受主浓度为零,而 EcED=0.01eV,求锗中施主浓度 ED为多少?7(.1)根据N2(k0NTmcp2Tm2(20kn2)32mmv22)3223得0.56m13n2k0T2k0T Nc2 Nv2205.1 10 31kgkg2p0.29m02.6 10 31(2)77K时的NC、NVN(C77K)3TN(TC300K)773773NC NC()1.051019()1.371018/cm3300300773773NV NV()3.910
16、18()5.081017/cm33003001Eg2koT10.672k0300(3)ni(NcNv)2e室温:ni(1.05103.910)2e19181.71013/cm31.98107/cm3ND1 2eEDnok TN0C77K时,ni(1.3710185.081017)2en0 nD10.762k077NDE EDFk0T1 2eNDE E E EFDcCk0T1 2exp17nE0.011017173oD(1 2eND n)10(1 2e)1.1710/cm018koTN0.0671.3710C8。利用题 7 所给的 Nc和 NV数值及 Eg=0.67eV,求温度为 300K 和
17、500K 时,含施主浓度 ND=51015cm-3,受主浓度 NA=2109cm3的锗中电子及空穴浓度为多少?Eg18.300K时:ni(NcNV)2e2k0T 2.01013/cm3e500K时:ni(NCNV)2e1g2k0T 6.91015/cm3根据电中性条件:n0 p0NDNA 022 n n(N N)n 000DAi2n0p0 ni12ND NA ND NA22n0()ni22N ND NA ND2p0A()ni222153n0 510/cm12 9.计算施主杂质浓度分别为 1016cm3,1018 cm3,1019cm3的硅在室温下的费米能级,并假定杂质是全部电离,再用算出的的费
18、米能 级核对一下,上述假定是否在每一种情况下都成立。计算时,取施主能级在导带底下的面的0.05eV。9.解假设杂质全部由强电离区的EF193NDNC 2.810/cmEF Ec k0T ln,T 300K时,103NCn 1.510/cmiN或EF Ei k0T lnD,Ni1016ND10/cm;EF Ec 0.026ln Ec0.21eV192.8101018183ND10/cm;EF Ec 0.026ln Ec0.087eV192.8101019193ND10/ncm;EF Ec1 0.026ln119 Ec0.0.27eV16D2.8100.16 0.42%成立ND10:EDEC0.2
19、1ND 0.05110.026(2)EC ED1e0.026为90%,10%占据施主1eVe施主杂质全部电离标准22nD1是否 10%E E1NDF1neDk0T1ND1018:2D 30%不成立0.037ND1nD11e0.026或2 90%E EF1NDD1enD1ND1019:2k0T0.023 80%10%不成立ND11e0.0262(2)求出硅中施主在室温下全部电离的上限163D(2NDED)e(未电离施主占总电离杂质数的百分比)NCkoT0.050.1NC0.0262ND0.0510%e,NDe 2.51017/cm3NC0.0262ND1016小于2.51017cm3全部电离ND
20、1016,10182.51017cm3没有全部电离(2)也可比较ED与EF,ED EFkT全电离163N10/cm;ED EF 0.050.21 0.160.026成立,全电离DND1018/cm3;ED EF 0.037 0.26EF在ED之下,但没有全电离ND1019/cm3;ED EF 0.0230.026,EF在ED之上,大部分没有电离10。以施主杂质电离 90%作为强电离的标准,求掺砷的 n 型锗在 300K 时,以杂质电离为主的饱和区掺杂质的浓度范围。10.解As的电离能ED 0.0127eV,NC1.051019/cm3室温300K以下,As杂质全部电离的掺杂上限2NDEDexp
21、(D)NCk0T2ND 0.012710%expNC0.0260.01270.01270.1NC0.0260.11.0510190.026ND上限ee 3.221017/cm322As掺杂浓度超过ND上限的部分,在室温下不能电离Ge的本征浓度ni 2.41013/cm3As的掺杂浓度范围5ni ND上限,即有效掺杂浓度为2.41014 3.221017/cm311.若锗中施主杂质电离能ED=0。01eV,施主杂质浓度分别为 ND=1014cm-3j 及1017cm-3。计算99%电离;90%电离;50电离时温度各为多少?12。若硅中施主杂质电离能 ED=0。04eV,施主杂质浓度分别为1015
22、cm3,1018cm-3。计算99%电离;90%电离;50%电离时温度各为多少?13.13.有一块掺磷的有一块掺磷的 n n 型硅,型硅,N ND D=10=101515cmcm3 3,分别计算温度为分别计算温度为77K77K;300K300K;500K500K;800K800K 时导带中电子浓度(本征载流子浓度数值查图时导带中电子浓度(本征载流子浓度数值查图 3-73-7)13(.2)300K时,ni1010/cm3 ND1015/cm3强电离区n0 ND1015/cm3(3)500K时,ni 41014/cm3 ND过度区2(4)8000K时,ni1017/cm3n0ni1017/cm3n
23、0NDND 4ni21.141015/cm31414。计算含有施主杂质浓度为计算含有施主杂质浓度为 N ND D=9=9 10101515cmcm3 3,及受主杂质浓度为及受主杂质浓度为 1.11.1 10101616cmcm3 3,的的硅在硅在 33K33K 时的电子和空穴浓度以及费米能级的位置时的电子和空穴浓度以及费米能级的位置.解:T 300K时,Si的本征载流子浓度ni1.51010cm3,掺杂浓度远大于本征载流子浓度,处于强电离饱和区p0 NA ND 21015cm3ni2n01.125105cm3p0p021015EF EV k0T ln 0.026ln 0.224eVNv1.11
24、019p021015或:EF Ei k0T ln 0.026ln 0.336eV10ni1.51015.15.掺有浓度为每立方米为掺有浓度为每立方米为 10102222硼原子的硅材料,硼原子的硅材料,分别计算分别计算300K;300K;600K600K 时费时费米能级的位置及多子和少子浓度(本征载流子浓度数值查图米能级的位置及多子和少子浓度(本征载流子浓度数值查图 3 37 7)。(1)T 300K时,ni1.51010/cm3,杂质全部电离ap01016/cm3ni2n0 2.25104/cm3p0p01016EE Ei k0T ln 0.026ln10 0.359eVni10或EE EV
25、k0T lnp0 0.184eVNv(2)T 600K时,ni11016/cm3处于过渡区:p0 n0 NAn0p0 ni2p01.621016/cm3n0 6.171015/cm316E E k T lnp0 0.052ln1.6210 0.025eVFi0ni110161616。掺有浓度为每立方米为掺有浓度为每立方米为 1.51.5 10102323砷原子砷原子 和立方米和立方米 5 5 10102222铟的锗材料,铟的锗材料,分别分别计算计算300K300K;600K600K 时费米能级的位置及多子和少子浓度(本征载流子浓时费米能级的位置及多子和少子浓度(本征载流子浓度数值查图度数值查图
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