微电子工艺设计教学大纲.docx

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1、微电子工艺设计教学大纲目录一、课程开设目的与要求2二、教学中应注意的问题2三、课程内容3第一章微电子制造工艺引论和半导体衬底3第一节微电子制造引论3第二节半导体衬底3第二章单项工艺I：热处理和离子注入3第一节扩散3第二节热氧化3第三节离子注入3第四节快速热处理3第三章单项工艺2：图形转移3第一节光学光刻3第二节光刻胶3第三节非光学光刻技术3第四节真空科学和等离子体3第五节刻蚀3第四章单项工艺3：薄膜3第一节物理淀积：蒸发和溅射4第二节化学气相淀积4第三节外延生长4第五章工艺集成4第一节器件隔离、接触和金属化4第二节 CMOS技术4第三节GaAs工艺技术4第四节硅双极型工艺技术4第五节微机电系统

2、4第六节集成电路制造4四、授课学时分配4五、实践环节安排4六、教材及参考书目5课程名称：微电子工艺设计课程编号：056511英文名称： Microelectronics Process Design课程性质：独立设课课程属性：专业方向课应开学期：第7学期学时学分：课程总学时一48,其中实验学时-16。课程总学分一3学生类别：本科生适用专业：电子信息工程、电子科学与技术。先修课程：模拟电子技术、数字电子技术。一、课程开设目的与要求微电子工艺学时电子科学与技术专业的一门专业课程，其任务是介绍半 导体器件，集成电路的材料性能，工艺原理、工艺步骤及工艺集成的基础知 识，使学生对微电子工艺的设计与实施有

3、一个基本的系统知识为日后从事半 导体器件及集成电路的设计及生产提供知识储备。通过本课程的学习，学 生需要熟悉半导体衬底的特点；掌握微电子工艺的设计与实施步骤；了解工 艺集成的原理与方法。二、教学中应注意的问题1、应着重抓好基本理论、基本知识、基本方法的学习。2、在实验条件不完备的情况下可充分利用多媒体的演示效果三、课程内容第一章微电子制造工艺引论和半导体衬底重点与难点：重点在于微电子制造工艺的了解和衬底的用途；难点在于对晶 体结构和工艺过程的理解。基本要求：1 .掌握晶体结构。2 . 了解微电子的制造工艺。3 .熟悉单晶的生长方法。第一节 微电子制造引论第二节半导体衬底第二章单项工艺I：热处理

4、和离子注入重点与难点：重点在于扩散原理及各种处理工艺（热氧化、离子注入）的内 在原理；难点在于各种处理过程的物理模型分析。基本要求：1 .掌握扩散的基本原理。2 .掌握热氧化、离子注入对内部载流子的影响。3 .熟悉快速热处理的特点。第一节扩散第二节热氧化第三节离子注入第四节快速热处理第三章单项工艺2：图形转移重点与难点：重点在于各种图形转移方法的原理；难点在于光刻和刻蚀的原 理。基本要求：1 .掌握光刻的原理。2 .掌握刻蚀工艺。3 .熟悉真空科学和等离子体概念。第一节光学光刻第二节光刻胶第三节非光学光刻技术第四节真空科学和等离子体第五节刻蚀第四章单项工艺3：薄膜重点与难点：重点在于各种沉积薄

5、膜的方法；难点在于光刻和刻蚀的原理。基本要求：1 .熟悉薄膜生长的各种方法及其特点。2 .掌握警惕外延生长的步骤。第一节物理淀积：蒸发和溅射第二节化学气相淀积第三节外延生长第五章 工艺集成重点与难点：重点在于各种常用半导体器件的制备步骤；难点在于微机电系 统和集成电路制造。基本要求：1 .掌握各种常用半导体器件的制备步骤。2 . 了解微机电系统和集成电路的制造。第一节 器件隔离、接触和金属化第二节CMOS技术第三节GaAs工艺技术第四节硅双极型工艺技术第五节微机电系统第六节集成电路制造四、授课学时分配教学课时分配表教学内容授课学时第一章微电子制造工艺引论和半导体衬底4第二章单项工艺I:热处理和

6、离子注入6第三章单项工艺2：图形转移8第四章单项工艺3：薄膜4第五章工艺集成10合计32五、实践环节安排实验是教学的重要环节。通过实验来验证、巩固课堂所学的理论知识，培养锻炼 学生的实践能力，进一步提高学生的分析问题解决问题的能力。基本要求：1 .每次实验课前，学生应预习实验讲义，明确实验目的和任务，拟定实验 步骤，并认真复习与实验内容相关的理论。2 .实验过程中严格按实验规程操作。爱护实验仪器设备。3 .实验完成后要写出实验报告，其内容包括实验数据的整理和计算，对实 验结果及实验中出现的问题的分析讨论，对实验方法的建议等。4 .实验报告一律用规定的格式书写。本课程实验共16学时5个实验。实验具体内容如下。实验课时分配表六、教材及参考书目实验内容实验学时1.热氧化制备SiO222.光刻工艺23.蒸发工艺64.制版工艺45. P-N结特性测量2合计16(1)美St叩hen A. Campbell著，曾莹等译，微电子制造科学原理与工程技术, 电子工业出版社。(2)庄同曾，集成电路制造技术-原理与实践，电子工业出版社课程教学大纲验收表课程名称微电子技术编写负责人王永强编写 参加人王智晓完成时间2013.8教 研 室思 见（教研室组织讨论情况，包括主持人、参加人，教研室整体意见）负责人签名：年月日所在单位 意见负责人签名：（公章）年月日教 务 处思 见负责人签名：（公章）年月日