OLED制造中比较重要的三个制程.pdf

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1、OLED 制造中比較重要的三個制程的精华资料 OLED 制造中比較重要的三個制程的精华资料，大家看看，觉得好的给个回复，就是对论坛莫大的支持了！下面是 OLED 比較重要得三個制程得簡短說明！至於材料方面嘛，上網應該可以查到得，目前磷光材料得應用前景要比荧光材料大的多，低分子比高分子的前途也要明朗些！ITO 基板前處理製程 製造有機 EL 顯示面板所採用的 Indium-tin-oxide(ITO)透明導電玻璃基板，通常厚度為或的鈉鹼玻璃(soda lime)，在約 150mm 的 ITO 導電薄膜及鈉鹼玻璃基板之間鍍上約數十微米的 SiO2 薄膜，以阻絕鈉鹼玻璃內金屬離子游移的干擾，而 IT

2、O 薄膜的導電特性則界定在其面電阻(sheet resistance)約 10/。在進入面板製造流程前 ITO 基板的洗淨，則透過濕式及乾式的清洗製程達到高潔淨度的 ITO 表面，在濕式清洗過程反覆地以中性洗劑及純水超音波清洗後，再搭配有機溶劑以快速地乾燥 ITO 基板，經過乾燥的 ITO 基板表面仍有些許的有機物殘留，會影響 ITO 電極的正電荷(hole)注入效率，UV-O3 的處理可以將 ITO 基板上殘留有機物除去，而存在 ITO 表面的缺陷可利用 RF-O2 電漿的表面改質處理，以降低正電荷注入的能階障壁，因此，UV-O3 及 RF-O2 電漿的乾式處理，能有效地降低有機 EL 元件

3、發光的驅動電壓，也廣泛地應用在量產的製程中。多層鍍膜製程 在發光亮度、耗電量及工作電壓的操作條件考量下，多層結構的有機 EL 顯示面板所提供的發光特性和穩定性，始能滿足量產化的要求及量產生產時的效益，因此，多腔體的真空鍍膜系統及單一鍍膜腔體對應一層鍍膜處理的設計原則，架構了量產裝置的運作方式。而針對多層鍍膜量產系統及製程因應簡述如下：1.Mask 及 ITO 基板的對位：由於有機材料及其薄膜對濕式製程及溫度的敏感性，使得一般常用於半導體晶圓製造上的微影蝕刻技術，無法被應用於有機 EL 面板製程中細微化的加工。因此，機械式的 Mask 對位技術於精細的有機成膜上更顯重要，一般超薄的 mask 製

4、造皆利用濕式蝕刻方式，加工的精度及 Mask 成形後的機械強度將受到一定的限制，在製造過程中，Mask 的熱澎脹影響及與基板的貼合性，亦會對 Mask 及 ITO基板的對位精度造成影響。目前應用於單色被動式顯示面板製造上(畫素線寬 ，以 Pin 的機械對位方式，基本上其精度及 Mask 的品質皆能滿足量產製造的需求。但是，對於全彩面板製造所需的高精度 Mask 及對位方式(畫素線寬 ，在製作技術上則是相當大的挑戰，一般採用的 CCD 影像對位方式其精度可達 5 微米的範圍，惟大面積及高精度的超薄 Mask 的製造，仍是製造技術及全彩面板量產上的瓶頸。2.Mask 的交換機構：量產生產時，有機蒸

5、鍍成膜所使用的 Mask，因長時間使用中有機物的累積，造成 Mask 精度的降低，為達到連續生產的目的，在真空系統及製造流程中 Mask 的儲存及交換方法將必須要細心思考及規畫。3.有機鍍膜的蒸發源：在有機成膜的製程中，如何穩定地控制蒸鍍速度及維持長時間的連續蒸鍍，是量產設備上蒸鍍源設計的重要課題。為了生產時控制 Tact Time 的考量，一般蒸鍍源的操作方式皆採用遮板控制的方式，蒸鍍源一直維持在設定的加熱溫度，當基板移入至指定位置時，再打開蒸鍍源之遮板以進行成膜。當連續運轉時，在真空蒸鍍系統中儲存大量的有機材料，以維持蒸鍍源的運轉或使用自動充填的機構，同樣的設計思考也必須應用於金屬電極成膜

6、的製程。而控制蒸鍍速度所使用的水晶式膜厚監測方式，在連續量產過程中，為維持量測的精準度，水晶片自動交換的機構也是必要的。4.金屬電極的蒸鍍源：金屬材料的蒸鍍基本上有兩種方式，一種是阻抗式加熱源方式，另一種是電子槍(EB)蒸鍍法，以上方法皆必須要搭配以自動填充的機構進行連續蒸鍍。而電子槍蒸鍍較適用於快速且大量蒸鍍的製程，但是，伴隨電子槍所產生的二次電子，將對有機材料造成不良的影響，因此，使用電子槍時對於亦應考慮如何避免二次電子的副作用。對此問題日本設備商 TOKKI 提出了它們研究的結果，證明經由適當的設計可以有效地去除二次電子的傷害。將一金屬板貼近蒸鍍基板，並施加一正電位以吸引基板附近游移的電

7、子並量測金屬板上所收集的電流，由電流量的大小可驗證基板附近的二次電子密度，當蒸度速度增加時(電子槍功率增大)，未經適當保護設計的基板上可以明顯看出順向電子流的增加，表示由電子槍產生之電子束撞擊蒸發粒子後而激發出之二次電子的密度，這些二次電子的能量經測定後高達 10eV 左右，相反地，經適當保護設計的基板上則沒有二次電子的產生。5.保護膜：金屬陰極成膜之後，鍍上絕緣性保護膜以防止水氣的侵入，亦是有機EL 量產製程上全力開發的重要製程，以現有的薄膜技術應用於有機 EL 製程上，尚不足以完全隔絕水氣的侵入，必須搭配貼有吸水劑之外部金屬或玻璃封蓋，以降低水氣侵入的速度達到延長元件壽命的效果。封裝製程

8、現有的有機發光材料壽命平均皆可達到 15,000 小時以上，已經可以應用於實際的量產商品上，如果能完全地防止水氣的污染及侵蝕，則元件的壽命可能再向上提升。以 Pioneer 和 NEC 的封裝方法，是以金屬封蓋貼附強力吸水劑後，透過低透濕性 UV 樹脂再和顯示基板做緊密貼合，達到減緩水氣侵入的效果。在封裝腔體中，是以一佈滿金屬封蓋的托盤和 ITO 基板進行對位貼合，其完成照光貼合的時間必須和前段鍍膜製程搭配，以滿足 Tact Time 的要求。而維持封裝腔體內部的低濕度環境，對產品的壽命相當重要，一般必須維持在-70C 的露點。至於阻止水氣侵入的接合樹脂的特性亦不可忽視，接合樹脂為滿足低溫、短

9、時間硬化的量產生產條件，大部份皆採用低透濕性的 UV 環氧樹脂，同時一般接合樹脂多少都會釋放出少量的有機物及水分，為避免其影響元件長期的壽命，在封蓋內部貼附吸水劑是有其必要性。深入浅出分析超前 OLED 显示技术 认识什么是 OLED OLED 即英文 Organic Light Emitting Diode 的缩写，中文译作有机发光二极管。自2003 年开始正式有厂家把 OLED 技术应用在数码相机、手机等数字产品的显示屏幕上。这也能看出 OLED 在移动产品上正在赶超 LCD 的产品。超轻超薄的 OLED OLED 是当前平板显示器业界的新宠儿，很多公司都正在对此进行研发，并努力将该技术推

10、向市场。这与它所具有的优势是分不开的，就以 OLED 跟现在的 LCD 屏幕比较起来，我们可以发现 OLED 确实存在诸多的优点：由于 OLED 的厚度很薄，所以它的物理特性非常柔软 在机身外形设计上，OLED 的显示屏幕可以做得非常纤细，因为 OLED 器件的核心层厚度很薄，厚度甚至可以小于 1 毫米，这样的厚度仅为目前液晶显示器的 1/3。所以它的厚度要比 LCD 屏更薄。同时，由于 OLED 还可以在不同材质的基板上制造，令它在外形设计上可以做出各种各样的弯曲形状的柔软显示设备，来配合各种需要。此外，在 OLED 器件的单个像素中，其尺寸可以相当小，并且还预留了很大的空间减幅潜力，令它特

11、别适合应用在今后高速发展的微显示设备中。OLED 有哪些优势 温度，在低温下照常使用 我们都知道，液晶材料在比较低温的环境中，它的显示效果让人痛心，不过 OLED 就没有这个缺点，OLED 的低温特性尤其好，就算在-40的条件下也能正常显示。除了可以应付严寒的环境外，OLED 的抗冲击能力也较强，由于 OLED 器件均为全固态机构，且采用无真空、液体物质，所以抗震性能良好，可以适应巨大的加速度、振动等恶劣环境，从而使 OLED 的应用范围可以更加广泛。发光，自主发光带来更高亮度 OLED 可以自身发光，而 LCD 则不会发光，这使得 OLED 比目前的 LCD 屏幕要光亮很多，并且对比度更大，

12、色彩效果表现也较好。同时，OLED 的发光转化效率也较高，由于现时的 LCD 需要背景灯光来点亮，而 OLED 只是需要在添加点亮的单元的时候才加上电源，所以 OLED 所需要的电压比较低，比号称省电的 LCD 屏幕更加低功耗，更为节电。视角，无可视角度问题 OLED 不存在视角问题，不像现在的 LCD 屏幕，会有严重的水平和垂直的视角失真。由于 OLED 所具有的主动发光的特性，属于发射型的设计，视角一般都可以达到 180的极限。响应，是 LCD 的 1000 倍 目前液晶屏幕主要的缺点还表现在它的响应时间较长，对于一些游戏显示等快速画面的显示会出现“拖影”的现象，而 OLED 就彻底解决了

13、这个问题，这主要归功于 OLED 器件的单个像素的响应速度得到显着提升，其速度是目前液晶材料组件的 1000 倍以上，完全可以实现高质素的视频回放和 3D 游戏显示，可跟现在的 CRT 的响应速度相媲美。成本，比 LCD 至少节省 20 在重量方面，OLED 的设计重量还要比 LCD 轻得多，因为在制造工艺上，OLED 所需材料很少，它只有一个底层，制造工艺也相对简单，只需要86 道工序，而 LCD 却要上 200 道，它对材料和工艺的要求都比 LCD 减少约 1/3，成本将会更加低。据估计 OLED 量产时的成本要比 LCD 至少节省 20%。缺憾，“短命”的 OLED 在现阶段，OLED

14、面临的最大的缺点就是寿命比LCD 要短，由于 OLED 只能达到约 5000 个工作小时，比起现在的 LCD 可以高达 50000 个工作小时要明显逊色。在技术层面上能够彻底解决这个难题目前仍较困难，而要缩短两者的工作时间的差距，至少还需要 4 到 5 年的时间，这就迫使目前的 OLED 产品仍只能适合在一些移动的数码设备上，譬如手机、MP3。对于要真正广泛应用在桌面上的显示输出设备，还需尚待时日，此外，由于要适应计算机或者是电视机的显示要求，OLED 必须采用主动矩阵技术，这就使 OLED 不可避免地要面临和主动矩阵液晶同样的合格率偏低问题。特殊的结构造就出 OLED 优异的性能 OLED

15、所具备的优异性能跟它的特殊结构的关系是密不可分的，在OLED 显示屏中，每个 OLED 单元犹如一块多层的夹心饼干，其中的发光材料就是夹在每个单元的中间，好比是饼干中的馅料，每个单元都能受控地产生 3 种不同颜色的光，它的结构如图所示。OLED 剑走偏锋，跨入微型显示 OLED 技术除了用于我们日常熟悉的桌面计算机系统中之外，它的另一个应用就是用在微型显示器上，这里所说的微显示器（Microdisplay）一般是指以下的显示器，它目前主要分为 LCD 和 OLED 两大类。微型显示是针对一些小的移动设备，小得能装在衣服口袋里，同时，如果使用这种小巧的 OLED 屏幕来欣赏大屏幕的 DVD 影片时，也无须担心它的显示面积过于狭小，只要给这类微显示器配上一副虚拟的光学系统就可以迎刃而解了。该光学系统可以有单眼用和双眼用两种类型，单眼系统使用者在看显示器的同时也能关注其它事物，但双眼系统视觉效果更好。微型显示的技术最早是应用在战斗机的飞行员当中，现在的发展趋势是主要用在穿戴式电脑上。通过这种微型显示，移动设备就不再受到显示器体积庞大，耗电大的制约。加上 OLED 比 LCD 具有更加优胜的特性，令 OLED 的应用更加广泛，前景更好。