位移测量光栅传感器与光电编码器优秀PPT.ppt
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1、位移测量光栅传感器与光电编码器第1页,本讲稿共37页基本工作原理和计量光栅的种类基本工作原理和计量光栅的种类一、基本工作原理一、基本工作原理 光栅栅线放大图光栅栅线放大图第2页,本讲稿共37页二、光栅的种类:二、光栅的种类:光栅的种类很多,若按工作光栅的种类很多,若按工作原理分,有物理光栅和计量光栅两种,前者用原理分,有物理光栅和计量光栅两种,前者用于光谱仪器,作色散元件,后者主要用于精密于光谱仪器,作色散元件,后者主要用于精密测量和精密机械的自动控制中。测量和精密机械的自动控制中。而计量光栅按其用途可分为长光栅和圆光栅而计量光栅按其用途可分为长光栅和圆光栅两类。两类。第3页,本讲稿共37页计
2、量光栅的分类第4页,本讲稿共37页黑白透射长光栅第5页,本讲稿共37页光栅传感器的构成原理图第6页,本讲稿共37页莫尔条纹莫尔条纹横向莫尔条纹横向莫尔条纹 相相邻邻的的两两明明暗暗条条纹纹之之间间的的距距离离B称称为为莫莫尔尔条纹间距。条纹间距。第7页,本讲稿共37页长光栅横向模尔条纹第8页,本讲稿共37页 从图中不难看出。当从图中不难看出。当光栅副光栅副间的夹角间的夹角很很小,且两光栅的栅距相等,都为小,且两光栅的栅距相等,都为W时,莫尔条纹时,莫尔条纹间距间距B为为:由于由于值很小,条纹近似与栅线的方向垂直,值很小,条纹近似与栅线的方向垂直,故称为横向莫尔条纹。当故称为横向莫尔条纹。当0、
3、B时,莫尔时,莫尔条纹随着主光栅明暗交替变化。这时的指示光栅条纹随着主光栅明暗交替变化。这时的指示光栅相当于一个闸门的作用,故将这种条纹称为相当于一个闸门的作用,故将这种条纹称为光闸光闸莫尔条纹莫尔条纹。第9页,本讲稿共37页横向莫尔条纹重要特性横向莫尔条纹重要特性:莫尔条纹运动与光栅运动具有对应关系莫尔条纹运动与光栅运动具有对应关系莫尔条纹具有位移放大作用莫尔条纹具有位移放大作用 莫尔条纹具有平均光栅误差作用莫尔条纹具有平均光栅误差作用第10页,本讲稿共37页辨向原理和细分电路辨向原理和细分电路 一、辨向原理一、辨向原理 在在实实际际应应用用中中,大大部部分分被被测测物物体体的的移移动动往往
4、往往不不是是单单向向的的,既既有有正正向向运运动动,也也可可能能有有反反向向运运动动。单单个个光光电电元元件件接接收收一一固固定定的的莫莫尔尔条条纹纹信信号号,只只能能判判别别明明暗暗的的变变化化而而不不能能辨辨别别莫莫尔尔条条纹纹的的移移动动方方向向,因因而而就就不不能能判判别别光光栅栅的的运运动动方方向向,以以致致不不能能正正确确测测量量位位移移。如如果果能能够够在在物物体体正正向向移移动动时时,并并将将得得到到的的脉脉冲冲数数累累加加,而而物物体体反反向向移移动动时时就就从从已已累累加加的的脉脉冲冲数数中中减减去去反反向向移移动动所所得得的的脉脉冲冲数数,这这样样就就能能得得到到正正确确
5、的的测测量量结结果果。完完成成这这样样一一个个辨辨向向任任务务的的电路就是辨向电路。电路就是辨向电路。第11页,本讲稿共37页第12页,本讲稿共37页 用正弦函数表示为:用正弦函数表示为:式中,式中,u为光电元件输出电压,为光电元件输出电压,U0为输出信号为输出信号中的平均直流分量,中的平均直流分量,Um为输出信号中正弦交流分为输出信号中正弦交流分量的幅值。量的幅值。第13页,本讲稿共37页第14页,本讲稿共37页辨向电路原理框图辨向电路原理框图第15页,本讲稿共37页光栅移动时辨向电路各点波形光栅移动时辨向电路各点波形第16页,本讲稿共37页依次相距依次相距B4的位置安放四个光电元件的位置安
6、放四个光电元件第17页,本讲稿共37页辨向原理和细分电路辨向原理和细分电路 二、细分电路二、细分电路 以移动过的莫尔条纹数量来确定位移量,能以移动过的莫尔条纹数量来确定位移量,能测量的最小位移量就是光栅栅距。为了提高分测量的最小位移量就是光栅栅距。为了提高分辨率,以测量小于栅距的位移量,应采用细分辨率,以测量小于栅距的位移量,应采用细分技术。光栅信号细分技术主要有光学细分、电技术。光栅信号细分技术主要有光学细分、电子细分和微机软件细分方式。子细分和微机软件细分方式。第18页,本讲稿共37页 光学细分由于结构复杂、调试困难、成光学细分由于结构复杂、调试困难、成本高等原因,已很少使用。而电子细分的
7、原本高等原因,已很少使用。而电子细分的原理是在莫尔条纹信号变化一个周期内,发出理是在莫尔条纹信号变化一个周期内,发出若干个脉冲,以减小脉冲当量。如一个周期若干个脉冲,以减小脉冲当量。如一个周期内发出内发出n个脉冲,就可使分辨率为原来的个脉冲,就可使分辨率为原来的n倍,每个脉冲当量相当于原来栅距的倍,每个脉冲当量相当于原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率为原来的由于细分后计数脉冲频率为原来的n倍,所倍,所以也称为以也称为n倍频。倍频。第19页,本讲稿共37页细分与未细分的比较细分与未细分的比较第20页,本讲稿共37页注意:在电子细分技术中,常采用四倍频细分法,这种细分法也是许多其他细分法的基
8、础。第21页,本讲稿共37页四倍频细分电路四倍频细分电路第22页,本讲稿共37页电阻桥细分电路电阻桥细分电路第23页,本讲稿共37页 电子细分不可能得到高的细分数,且细分数是固定的,所以现在大多数光栅数显表都采用了微机软件细分法。第24页,本讲稿共37页计算机软件细分 光栅信号的计算机软件细分技术是目前应用较为广泛、也比较成熟的细分技术。软件细分法一般是:将二个相差/2的信号通过A/D转换输入微机,再利用一定的算法计算出莫尔信号的相位,即可推算出此时莫尔条纹内的位置点,得到小于栅距的细分值,又称小数。通过辨向电路输出的为大数脉冲,脉冲频率对应于莫尔条纹变化频率,脉冲当量为光栅栅距值。第25页,
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