平面磨床.docx

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1、平面磨床光学玻璃是用于制造光学仪器或机械系统中光学元件透镜、棱镜和反射镜等的玻璃材料的统称。由于光学玻璃具有稳定的物理化学性能和高度的光学均匀性，且耐磨性好、抗蚀性强，因而被广泛应用于激光技术、光电通讯、航空航天以及国防工业等领域，已成为当前尖端科学技术中应用最活跃的材料之一。随着科学技术的不断发展，当代光学工业对光学玻璃提出了精度高、需求量大等苛刻要求。从精度方面，要求光学玻璃具有面形精度高Ra0.1m、外表粗糙度低Ra12nm以及亚外表裂纹少等；从需求量方面，以激光核聚变装置所需的光学玻璃为例，美国国家点火装置NationalIgnitionFacility,NIF的光学系统使用7000多

2、件大口径光学元件口径大于400mm400mm。由于光学玻璃具有硬度高、脆性大的特点，在加工经过中极易产生外表疵病与亚外表损伤，属于典型的难加工材料。其超光滑外表成形技术及高效低成本加工工艺技术已经成为国防科技、航空航天、电子信息等领域急需研究的重要课题。对于光学玻璃等硬脆材料，超精细磨削技术是实现超光滑外表的最佳手段。因而，美国、德国、日本、英国等工业发达国家，对光学玻璃等硬脆材料的超精细磨削加工技术的研究特别活跃，已开发出先进的高精度高刚度磨床，用于硬脆材料的超精细加工技术的研究，并且相关科研成果被应用于国防及民用工业领域。近年来，光学玻璃等硬脆材料超精细磨削装备及工艺技术研究已被列为重点赞

3、助的科研内容。H402-AZ数控专用平面磨床就是“高档数控机床与基础制造装备科技重大专项课题“超精细大尺寸光学玻璃平面磨床的产品，专门针对大尺寸平面光学玻璃零件，如激光钕玻璃、熔石英等加工的需要而研制开发的超精细大尺寸平面磨削加工机床，是此类机床设计制造的关键技术，为光学玻璃材料的超精细磨削加工工艺、并在生产中实现应用提供根据。1平面磨床主要参数H402-AZ数控专用平面磨床采用龙门式卧轴矩台的构造布局方式，配备高精度运动功能部件、高分辨率测量与反应系统以及高性能数控系统与伺服驱动系统，具有构造刚度高、力热稳定性好和加工精度高的特点。另外，机床配备了在位测量系统，可完成大尺寸光学玻璃平面度快速

4、、精细、可靠检测。超精细大尺寸光学玻璃平面磨床构造。工作台面尺寸1300500mm工作台纵向行程01700mm砂轮垂直行程0240mm滑座横向行程0960mm砂轮直径270350mm砂轮宽度40mm砂轮转速8000rpm砂轮切削速度20120m/s工件最大质量含夹具300kg机床加工零件规格450mm1200mm加工工件外表粗糙度Ra10nm加工工件的面形精度外表平度PV3m平面磨床主要构造特点1高刚度高稳定性床身床身采用整体花岗岩构造，由于花岗岩具有高阻尼、小振动、热稳定性佳等特性，能够保证磨床高刚度和高稳定性。2工作台工作台面采用整体花岗岩构造，在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、高精

5、度的大平面闭式静压导轨，以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动，同时为了防止直线电机的运动影响台面，专门为直线电机设计了独立的静压导轨。台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制，进而保证了工作台具有高精度、快速响应的运动特性。3立柱、滑座与横梁可控制由于热引起的机床变形，立柱和横梁采用花岗岩制成。砂轮横向位移滑座置于固定的横梁上、安装砂轮架的垂直运动拖板置于横向位移滑座上。横向位移和垂直运动均采用SIEMENS伺服电机直接驱动高精度滚珠丝杠来完成，HEIDENHAIN光栅位置反应。横向位移滑座以及垂直运动拖板的导轨同样采用的是液体静

6、压导轨。另外在垂直运动拖板上配备了微量进给机构，能够实现砂轮架0.1m的微进给。为了减少砂轮架滑座自重及其横向位移引起的横梁变形，在横梁的正上方设置了卸荷装置卸荷横梁。用以承当砂轮架滑座的大部分自重，并且通过HEIDENHAIN光栅位置反应实现卸荷装置与砂轮横向位移滑座的运动同步，进而最大限度的减少横梁变形对磨削加工的影响。4砂轮架开发了转速范围广、高刚性、高精度砂轮静压主轴系统，以实现砂轮的高刚性、高精度回转运动。砂轮轴采用液体静压轴承支承，SIEMENS内置式主轴电机，采用冷却液强迫冷却主轴电机，砂轮主轴配备了砂轮平衡装置，配套的管理控制程序能在循环中连续监测砂轮的情况并立即对可能出现的不

7、平衡量进行补偿。5测量系统机床配备了激光干预仪作为加工精度的在位测量系统，通过机床台面运动和测量拖板横向运动，使激光干预仪的镜头能够扫描所有加工面积。当机床进行磨削加工时，测量横梁能够运动到加工范围以外。超精细大尺寸光学玻璃平面磨床是针对国家重要光学工程行业面临重大需求而研究开发的，是具有国际先进水平的超精细加工关键装备。该项目的开发成功，能够实现4501200mm光学玻璃的高精度、高效率磨削，工件平面度可达3m，大大缩短了后续研磨抛光的时间，可知足激光武器、航空航天等领域对超精细大尺寸平面玻璃的大批量需求，对我国天文科学、国家重点工程和军事装备的发展具有重要意义，并将进一步推动我国光学和激光领域制造装备的技术突破，提升我国相关领域的核心竞争力和创新能力。1平面磨床操作须知编辑播报