罗克韦尔自动化 变频器在可监控大面积真空镀膜工艺中的应用.docx
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2、采用工业PC及Wonderware的intouchWindowsviewer系统。具有数据收集和实时监控功能.2.PLC控制局部采用AB公司的SLC5/04。具有强大的组态功能。3.传动局部必须用变频器驱动,这样能根据工艺的要求很方便的调节整个传动的速度.4.通讯局部采用DH-485通讯形式。整个系统的设计应该讲很完善了.在实际环境中使用半年,效果完全不是料想的那样。监控系统的通讯时间十分长且经常无来由的通讯中断,不仅不能正常的收集数据,更谈不上实时监控。消费出来的废品很多,而且重做花费的时间更多。根本谈不上消费效率。三解决方案在长期的实际观察中,发现出现通讯中断时,并不是因通讯器件的损坏引起
3、的。渐渐发现一些规律:在启动溅射时引起的通讯中断的次数最多;其次是在有溅射其间的通讯中断;其它一般是有器件损坏或者通讯线连接不可靠。还有一开机通讯连不上的情况也有发生。分析结果:1.溅射镀膜设备的电磁干扰。在真空镀膜必须装备了溅射镀膜设备,溅射电源经过整流、斩波、逆变得到30K的高频高压电。溅射设备的电源对外形成十分强电磁干扰。2.整个工业环境电磁污染严重。在整个控制系统中,存在大量的继电器和高速脉冲。这样一来使的通讯不能正常的工作,或在通讯经过中串入另外的脉冲改写了通讯的数据。导致其系统的通讯性能差。3.通讯的传输速率慢。解决方案:重新采用加强型高速数据网络DH+形式。其通讯数据传输率到达2
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