扫描电镜在金属材料检测中的应用研究,职称论文.docx
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1、扫描电镜在金属材料检测中的应用研究,职称论文内容摘要:扫描电镜是材料研究与分析中的通用设备,在材料、化工、机械等领域的微观形貌分析中起着重要的作用。本文主要从微观组织观察、材料断口分析、结合能谱仪的微区成分分析、显微织构分析四个方面简述扫描电镜的发展历程和特点以及扫描电镜及其附件在金属材料检测中的应用,为金属材料行业用扫描电镜分析提供了一定的参考根据。 本文关键词语:扫描电镜,金属材料,微观分析 1965年在英国诞生了世界上第一台扫描电镜,截止至今,扫描电镜的技术指标和功能性也发生的质的飞跃1。首先,扫描电镜的分效率有了显着地提高,由最初的25nm发展到当前最新的亚纳米级;其次,扫描电镜与其他
2、设备联用,实现了分析功能的多样化,比方在与共聚焦显微拉曼光谱仪组合的多功能扫描电镜中,就可对样品中同一位置进行微观形貌、元素组成(纳米级)和原位分子组成(亚微米级)的协同分析及成像2。另外,随着计算机的发展,扫描电镜通过计算机成像显示,并与软件相结合,不仅能通过计算机对样品的宏观、微观形貌进行观察,还能通过软件对所得数据进行统计分析。 因而,在材料研究与分析中,扫描电镜已成为必不可少的分析仪器。 1 扫描电镜概述 一套完好的扫描电镜,一般需要五个部分构成,镜筒:用来产生高能电子束,一般有电子枪、电磁透镜等;扫描信号探测器:主要作用是将接收到的电子信号进行处理成像,通常有电子信息处理器、扫描信号
3、发生器等;图像分析器:用于将电子图像的信息进行记录的系统,也会用到摄像头和记录设备等;样品室:是扫描电镜中承载电子束与样品的真空系统,常有机械泵、真空阀门、真空检测器等等;电源系统:主要用于对扫描电镜的外部环境进行调控,有变压器、不间断电源等等。 作为一种浓缩了多种技术的大型分析仪器,扫描电镜的基本原理为聚焦电子枪发射出的电子束构成点光源,在加速电压下点光源会构成高能电子束,通过扫描线圈的磁场作用,根据一定的时间和空间顺序光栅式逐点扫描样品外表。此时样品会在入射电子与样品的互相作用下激发出二次电子。样品上方不同信号接收器会接收激发出来的电子信号,经视频放大器放大同步到电脑显示屏中,就会呈现一幅
4、实时记录的二次电子像图。 扫描电镜和其他电子显微镜相比,固然起步较晚,但却有很多其他显微镜不具有的独特优点。 其一,扫描电镜具有较高的仪器分辨率。其二,扫描电镜不仅支持连续调节,还具有范围较宽的放大倍数,低至能进行几十倍样品的观察,最高则是能到达二、三十万的放大倍数观察。其三,则是具有较大的景深观察特点,可直接观察粗糙不平的金属试样。 2 扫描电镜在金属材料检测中的应用 一般来讲,影响金属及其合金本身性能的无外乎是晶体构造、微观组织构成以及化学成分,根据扫描电镜连续调节放大倍数的特点,不仅能够观测到样品的宏观特征,还能进行微观组织构造的分析,同时能够对样品以 点 、 线 、 面 的方式通过借助
5、能谱仪的使用进行定性半定量分析。另一方面对材料晶体取向以及组织构造的研究能够通过在扫描电镜上安装附件电子背散射衍射仪(EBSD)来实现3。因而在金属材料的研究领域,扫描电镜的检测分析发挥着至关重要的作用4。 2.1 微观组织分析 大范围的微观组织固然能利用光学显微镜进行观察,但是在观察使也会由于有限的光学显微镜分辨率,造成一定的局限性,导致无法进一步观察材料的更微观组织,如针状构造以及共晶体、纳米第二相等、片层构造等就很难清楚地观测到5。 假如利用扫描电镜,就能够充分的利用本身的优势,不仅能观测样品整体形貌,也能同时观测样品中某区域的显微组织。 2.2 断口分析 与光学显微镜、透射电子显微镜相
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