先进光学制造实验室设备技术说明.pdf

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1、 先进光学制造实验室设备技术说明 1、技术说明 序号 货物名称 招标技术要求 1 磁控溅射薄膜制备设备 1.1 离子辅助磁控溅射镀膜系统，用于高精度光学薄膜元件制备；1.2 波长范围：240-2500nm；1.3 腔体尺寸：1200mm腔体长度1400mm;1600mm腔体高度1700 mm；（所投产品响应数值在招标文件要求的区间范围内即认定为满足该项技术要求，如腔体长度响应为1200mm、1300mm 或 1400mm，即为满足该项技术要求。）1.4 样品盘转速：10 rpm-50 rpm；1.5 本底真空 7.010-5Pa 以下;1.6 基片背向加热控制，最高加热温度：350;1.7 工

2、作气体类型包括:氮气 N2，氧气 O2，氩气 Ar 三种;1.8 样品位12 个；均匀性偏差0.45%；1.9 靶位 PVD1，2，3.重复性偏差0.5%;1.10 最大加热温度 200；1.11 高真空镀膜送样腔体(LOADLOCK)；1.12 沉积速度 0.1-0.8nm/sec；1.13 激光损伤阈值(1064 nm)100 J/cm2 8 ns；1.14 吸收损耗1064 nm5ppm；1.15 最大镀膜膜层厚度40 微米；1.16 最大镀膜层数400 层；1.17 表面粗糙度0.3nm；1.18 膜层复现性偏差0.1%。1.19 OMS 透射式后向补偿光控系统，控制波长范围240-1

3、100nm；1.20 射频离子源溅射，用于辅助沉积形成致密薄膜；1.21 配机械泵，分子泵等高真空抽气系统；1.22 独立电柜控制系统，独立液晶面板操作系统；1.23 配有拉姆达传感器残余气体检测系统，精准控制真空腔体工艺气体含量；1.24 遥控真空腔体开关系统；1.25 配有循环水系统用于腔壁温度控制；1.26 常用材料氧化物靶材（如 Si,Nb,Ti,Ta）均匀性修正板；1.27 配有非变型、高强度 Ti 合金镀膜挡板；1.28 配有靶材间距及均匀性微调节垫片，调节精度偏差 0.1mm，等效膜层厚度均匀性偏差0.12%;1.29 配有兼容薄膜设计软件读取系统，用于多层膜系的自动导入；1.3

4、0 配有兼容薄膜设计光控文件软件读取系统，用于多层膜系光控文件的自动导入与读取；1.31 典型四通带滤光片膜系制备验收指标：在 458-477nm；503-543nm;574-622nm;660-760nm四个波段透射带内同时满足透射率大于 90%；满足以上透射带要求的基础上，分别在442-452nm；489-493nm；556-560nm；638-644nm 四个波段截止带内同时满足透射率小于 0.01%的指标要求（所投产品参数区间与招标要求不一致的视为负偏离）。2 面型干涉仪 2.1 尺寸：L800*W350*H250(mm)；2.2 重量：32KG；2.3 工作波长：632.8nm；2.

5、4 工作口径：101.6mm；2.5 CCD 分辨率：1280*960 像素；2.6 干涉仪类型及工作方式：水平放置、菲索型；2.7 样品准直方式：使用两光点；2.8 测量精密度：PV/600;2.9 测量重复性：PV 重复性/500；RMS 重复性/10000；RMS 波前重复性/1800;2.10 可实现平面绝对测量，消除系统误差（与检定规程JJG28-2019平晶中的测量方法一致）；2.11 能正确区分被测镜的凹凸面形；2.12 自主研发软件：具有数字干涉条纹采集、显示和相移分析功能、中文界面、2D/3D 图形显示、单位换算、数据库；并且具备 36 项 Zernike系数的显示与导出功能

6、；2.13 电源需求：AC 220V 50Hz。2.14 满 足 机 械 行 业 标 准 平 面 相 移 干 涉 仪：JB/T13872-2020；2.15 符合满足检测规程平晶：JJG 28-2019；3 分光光度计 3.1 光源：氘灯、50 瓦钨灯、汞灯，其中汞灯用于波长校准，以确保仪器长期使用波长的准确性，三个光源同时在位，自动切换。3.2 单色器：异面复式 Littrow 单色器，双单色器设计；3.3 检测器：四检测器设计；3.4 全自动 wire grid 偏振器：波长范围 2502500nm，角度步进间隔 0.2；3.5 全自动可变角透射测试功能：角度范围-6+85，角度步进间隔

7、0.02；3.6 全自动可变角绝对镜面反射率测试：角度范围 585，角度步进间隔 0.02；3.7 散射和漫反射测试：样品角度可以调节，检测器角度12348，角度步进间隔 0.02；3.8 吸收测试：不移动样品的情况下，测试样品同一个位置点的透射和反射；3.9 全自动偏振器、可变角透射、可变角反射、散射、漫反射、吸收测试功能集中在一个系统里面，不需要在不同的附件之间切换。3.10 全自动工作模式：设置好入射角度范围后，仪器自动完成所有角度下的透射率和反射率测试，其间不需要人为干预和再次设置软件参数。3.11 波长范围：1753300nm（光学台 1902800nm）；3.12 波长准确度：紫外

8、可见0.08nm；近红外0.5nm；3.13 波长重复性：紫外可见0.005nm；近红外0.02nm；3.14 光度准确性：0.00025A(0.3Abs 或 0.5Abs 双光阑法)；3.15 光度重复性：0.00014A(0.51A)；3.16 带宽：紫外可见：0.015nm,0.01nm 间隔自动调节；近红外：0.0420nm，0.01nm 间隔自动调节；3.17 光谱分辨率：0.048nm（紫外可见区）；0.2nm（近红外）3.18 仪器噪声：0.00009A (0A 在 190nm)；0.00003A (0A 在 500nm)；0.0001A (2A 在 500nm)；0.0008A

9、 (4A 在 500nm)；3.19 杂散光：0.00007%T（220nm）；0.00007%T（370nm）；0.0002%T（1420nm）；0.00045%T（2350nm）；3.20 光度范围：8A；3.21 稳定性：0.0002A/h；3.22 基线平直度：0.0007A；2、服务要求 序号 目录 招标商务需求 1 免 费 保 修期 货物免费保修期 1 年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。2 维 修 响 应及 故 障 解决时间 在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知 24小时内赶到现场进行修理或更换。3 关于交货期 1.签订合同之日起 365 天（日历日）内。2.投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务，提供不少于 7 天的培训服务。4 关于验收 1.投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。2.当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。c、货物具备产品合格证。