半导体物理 第三章优秀PPT.ppt
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1、半导体物理半导体物理 第三章第三章第三章011/60第1页,本讲稿共60页2 2/60/60第三章01n n当半导体中同时存在施主杂质和受当半导体中同时存在施主杂质和受主杂质时,它们的互相抵消作用称主杂质时,它们的互相抵消作用称为为杂质的补偿杂质的补偿。通过采用杂质补偿底。通过采用杂质补偿底方法来改变半导体某个区域的导电类方法来改变半导体某个区域的导电类型或电阻率型或电阻率第2页,本讲稿共60页3 3/60/60第三章01n氢原子的能量氢原子的能量En是:是:类氢模型计算电离能类氢模型计算电离能第3页,本讲稿共60页4 4/60/60第三章01 如果考虑晶体内存在的杂质原子,正、如果考虑晶体内
2、存在的杂质原子,正、负电荷是处于介电常数为负电荷是处于介电常数为=r 0的介质中。的介质中。再考虑到电子不是在自由空间运动,而是再考虑到电子不是在自由空间运动,而是在晶格周期性势场中运动,所以电子的惯在晶格周期性势场中运动,所以电子的惯性质量性质量 m0要用有效质量要用有效质量 mn*代替。则代替。则类似的有受主杂质的电离能类似的有受主杂质的电离能第4页,本讲稿共60页第三章015/60第三章半导体中载流子的统计分布 3.1 状态密度状态密度 3.2 费米能级和载流子的统计分布费米能级和载流子的统计分布 3.3 本征半导体的载流子浓度 3.4 杂质半导体的载流子浓度 3.5 一般情况下的载流子
3、统计分布第5页,本讲稿共60页6 6/60/60第三章01 在一定温度下,如果没有其他外界作在一定温度下,如果没有其他外界作用,半导体中的导电电子和空穴是依用,半导体中的导电电子和空穴是依靠电子的靠电子的热激发热激发作用而产生的作用而产生的 电子从不断热振动的晶格中获得一定电子从不断热振动的晶格中获得一定的能量,就可能从低能量的量子态跃的能量,就可能从低能量的量子态跃迁到高能量的量子态,例如,电子从迁到高能量的量子态,例如,电子从价带跃迁到导带价带跃迁到导带 本征激发,形成导本征激发,形成导带电子和价带空穴。带电子和价带空穴。第6页,本讲稿共60页7 7/60/60第三章01 电子和空穴也可以
4、通过杂质电离方式电子和空穴也可以通过杂质电离方式产生,当电子从施主能级跃迁到导带时产生,当电子从施主能级跃迁到导带时产生导带电子产生导带电子;当电子从价带激发到受当电子从价带激发到受主能级时产生价带空穴等。主能级时产生价带空穴等。第7页,本讲稿共60页8 8/60/60第三章01 与此同时,还存在着相反的过程,与此同时,还存在着相反的过程,即电子也可以从高能量的量子态跃迁即电子也可以从高能量的量子态跃迁到低能量的量子态,并向晶格放出一到低能量的量子态,并向晶格放出一定能量,从而使导带中的电子和价带定能量,从而使导带中的电子和价带中的空穴不断减少,这一过程称为载中的空穴不断减少,这一过程称为载流
5、子的复合。在一定温度下,这两个流子的复合。在一定温度下,这两个相反的过程之间将建立起动态平衡,相反的过程之间将建立起动态平衡,称为热平衡状态。称为热平衡状态。第8页,本讲稿共60页9 9/60/60第三章01热平衡时,半导体中的导电电子浓度和热平衡时,半导体中的导电电子浓度和空穴浓度都保持一个稳定的数值,这空穴浓度都保持一个稳定的数值,这种处于热平衡状态下的导电电子和空种处于热平衡状态下的导电电子和空穴称为热平衡载流子。穴称为热平衡载流子。当温度改变时,破坏了原来的平衡状当温度改变时,破坏了原来的平衡状态,又重新建立起新的平衡状态,态,又重新建立起新的平衡状态,热平衡载流子浓度也将随之发生变热
6、平衡载流子浓度也将随之发生变化,达到另一稳定数值。化,达到另一稳定数值。实践表实践表明,半导体的导电性强烈地随温度明,半导体的导电性强烈地随温度而变化。而变化。第9页,本讲稿共60页10106060第三章01 实际上,这种变化主要是由于半导体实际上,这种变化主要是由于半导体中载流子浓度随温度而变化所造成的。中载流子浓度随温度而变化所造成的。因此,要深入了解半导体的导电性及其因此,要深入了解半导体的导电性及其他许多性质,必须探求半导体中载流子他许多性质,必须探求半导体中载流子浓度随温度变化的规律,以及解决如何浓度随温度变化的规律,以及解决如何计算一定温度下半导体中热平衡载流子计算一定温度下半导体
7、中热平衡载流子浓度的问题。这也就是本章所要讨论的浓度的问题。这也就是本章所要讨论的中心问题。中心问题。第10页,本讲稿共60页11116060第三章01载流子的产生:载流子的产生:在一定温度下,如果没有其他外在一定温度下,如果没有其他外界作用界作用电子从价带跃迁到导带电子从价带跃迁到导带 本征激发本征激发电子从施主能级跃迁到导带电子从施主能级跃迁到导带 杂质电离杂质电离电子从价带跃迁到导带电子从价带跃迁到导带 本征激发本征激发电子从价带跃迁到受主能级电子从价带跃迁到受主能级 杂质电离杂质电离导带中的电子导带中的电子 价带中的空穴价带中的空穴第11页,本讲稿共60页12126060第三章01 载
8、流子的复合载流子的复合 电子从导带跃迁到价带电子从导带跃迁到价带 减少一对电子空穴减少一对电子空穴 电子从导带跃迁到施主能级电子从导带跃迁到施主能级 电子从受主能级跃迁到价带电子从受主能级跃迁到价带在一定的温度下,产生和复合达到热平衡,半导体在一定的温度下,产生和复合达到热平衡,半导体就有恒定的电子、空穴浓度就有恒定的电子、空穴浓度n,p 温度改变时,建立新的热平衡,就有新的电子、温度改变时,建立新的热平衡,就有新的电子、空穴浓度空穴浓度n,p 第12页,本讲稿共60页13136060第三章01 为了计算热平衡载流子浓度以及求得它随为了计算热平衡载流子浓度以及求得它随温度变化的规律,我们需要两
9、方面的知识温度变化的规律,我们需要两方面的知识:第一,允许的量子态按能量如何分布第一,允许的量子态按能量如何分布 第二,电子在允许的量子态中如何分布第二,电子在允许的量子态中如何分布 下面依次讨论这两方面的问题,并进而计下面依次讨论这两方面的问题,并进而计算在一些具体情况下的热平衡载流子浓度,算在一些具体情况下的热平衡载流子浓度,从而了解它随温度变化的规律。从而了解它随温度变化的规律。第13页,本讲稿共60页14146060第三章013.1状态密度状态密度 在半导体的导带和价带中,有很多能级存在。在半导体的导带和价带中,有很多能级存在。但相邻能级间隔很小,约为但相邻能级间隔很小,约为10-22
10、eV数量级,可数量级,可以近似认为能级是连续的。因而可将能带分为以近似认为能级是连续的。因而可将能带分为一个一个能量很小的间隔来处理。假定在能带一个一个能量很小的间隔来处理。假定在能带中能量中能量E-(E+dE)之间无限小的能量间隔内有之间无限小的能量间隔内有 dZ个量子态,则状态密度个量子态,则状态密度g(E)为为 第14页,本讲稿共60页15156060第三章01 也就是说,状态密度也就是说,状态密度g(E)就是在能就是在能带中能量带中能量E附近每单位能量间隔内的附近每单位能量间隔内的量子态数。只要能求出量子态数。只要能求出g(E),则允许,则允许的量子态按能量分布的情况就知道了的量子态按
11、能量分布的情况就知道了第15页,本讲稿共60页16166060第三章01可以通过下述步骤计算状态密度可以通过下述步骤计算状态密度:首先算出单位首先算出单位k空间中的量子态数,即空间中的量子态数,即k空间空间中的中的状态密度状态密度;然后算出然后算出k空间中空间中与能量与能量E-(E+dE)间间所对应的所对应的k空间体空间体积积,并和,并和 k空间中的状态密度相乘,空间中的状态密度相乘,从而求得在能量从而求得在能量 E-(E+dE)之间的量子之间的量子态数态数dZ;最后,根据式最后,根据式(3-1)求得状态密求得状态密度度g(E).第16页,本讲稿共60页17176060第三章01半导体中电子的
12、允许能量状态(即能级)用波矢半导体中电子的允许能量状态(即能级)用波矢k标标志。志。但电子的波矢但电子的波矢k不能连续取值,由周期性边界条件,边长不能连续取值,由周期性边界条件,边长为为L的立方体的立方体 k的取值为的取值为(类似坐标的最小刻度类似坐标的最小刻度)一、一、k空间中量子态的分布空间中量子态的分布L是半导体晶体的长度 L3=V为立方体的体积第17页,本讲稿共60页18186060第三章01 以波矢以波矢k的三个互相正交的分量的三个互相正交的分量kx,ky,kz为坐坐标轴的直角坐的直角坐标系所描写的空系所描写的空间为k空空间。显然,在然,在k空空间中,由一中,由一组整数整数(nx,n
13、y,nz,)所决定的一点,所决定的一点,对应于一定的波于一定的波矢矢 k。因而,。因而,该点是点是电子的一个允子的一个允许能能量状量状态的代表点。的代表点。第18页,本讲稿共60页19196060第三章01不同的整数组不同的整数组不同的整数组不同的整数组 (n nx x,n ny y,n nz z,),)决定了不同的点,对应着不同的决定了不同的点,对应着不同的决定了不同的点,对应着不同的决定了不同的点,对应着不同的波矢波矢波矢波矢 k k,代表了电子不同的允许能量状态,如图代表了电子不同的允许能量状态,如图代表了电子不同的允许能量状态,如图代表了电子不同的允许能量状态,如图3-13-1所示。所
14、示。所示。所示。因此,电子有多少个允许的能量状态,在因此,电子有多少个允许的能量状态,在因此,电子有多少个允许的能量状态,在因此,电子有多少个允许的能量状态,在 k k空间中就有空间中就有空间中就有空间中就有多少个代表点。多少个代表点。多少个代表点。多少个代表点。第19页,本讲稿共60页20206060第三章01n n因为任一代表点的坐标,沿三条坐标轴方因为任一代表点的坐标,沿三条坐标轴方向均为向均为 的整数倍,所以代表点在的整数倍,所以代表点在k空间空间中是均匀分布的。中是均匀分布的。n n每一个代表点都和体积为每一个代表点都和体积为 的一的一个立方体相联系,这些立方体之间紧密相个立方体相联
15、系,这些立方体之间紧密相接、没有间隙、没有重叠地填满接、没有间隙、没有重叠地填满 k空间。因空间。因此,在此,在 k空间中,体积为空间中,体积为 的一个立方体的一个立方体中有一个代表点。换言之,中有一个代表点。换言之,k空间中代表点空间中代表点的密度为的密度为 。第20页,本讲稿共60页21216060第三章01n n也就是说,在也就是说,在也就是说,在也就是说,在k k空间中,电子的允许能量状态密度空间中,电子的允许能量状态密度空间中,电子的允许能量状态密度空间中,电子的允许能量状态密度是是是是 。如果计入电子的自旋,那么,。如果计入电子的自旋,那么,。如果计入电子的自旋,那么,。如果计入电
16、子的自旋,那么,k k空间中空间中空间中空间中每一个代表点实际上代表自旋方向相反的两个量每一个代表点实际上代表自旋方向相反的两个量每一个代表点实际上代表自旋方向相反的两个量每一个代表点实际上代表自旋方向相反的两个量子态。所以,在子态。所以,在子态。所以,在子态。所以,在 k k空间中,电子的允许量子态密度空间中,电子的允许量子态密度空间中,电子的允许量子态密度空间中,电子的允许量子态密度是是是是 。这时,每一个量子态最多只能容纳一。这时,每一个量子态最多只能容纳一。这时,每一个量子态最多只能容纳一。这时,每一个量子态最多只能容纳一个电子。个电子。个电子。个电子。可见,可见,g(k)在在k空间是
17、均匀分布的空间是均匀分布的(与与k无关无关)第21页,本讲稿共60页22226060第三章01 为求出能量状求出能量状态密度密度g(E)或在或在EE+dE间隔隔内的状内的状态数数g(E)dE,我们只须求出在此能量我们只须求出在此能量间隔内包含的间隔内包含的k空间的体积即可,即空间的体积即可,即 此时,需要把对此时,需要把对k的关系转化成对的关系转化成对E的关系的关系第22页,本讲稿共60页23236060第三章01 为此必须知道为此必须知道E(k)关系,即能带结构关系,即能带结构 普遍的能普遍的能带结构构E(k)是是难以确定的,但在以确定的,但在带底底或或带顶附近的带顶附近的E(k)前面已经分
18、析得到前面已经分析得到第23页,本讲稿共60页24246060第三章01导带底附近导带底附近E(k)与与k的关系的关系能量能量E到到E+dE间的量子态数间的量子态数由由E(k)与与k的关系得:的关系得:第24页,本讲稿共60页25256060第三章01结论:结论:导带底附近,单位能量间隔内的量子态数目,随电子的导带底附近,单位能量间隔内的量子态数目,随电子的能量增加按抛物线关系增大,即能量越大,状态密度越大。能量增加按抛物线关系增大,即能量越大,状态密度越大。导带底附近态密度第25页,本讲稿共60页26266060第三章01导带和价带的态密度分布图导带和价带的态密度分布图第26页,本讲稿共60
19、页27276060第三章01课堂练习课堂练习试推导价带顶附近状态密度的表达式试推导价带顶附近状态密度的表达式第27页,本讲稿共60页28286060第三章01价带顶附近的态密度为价带顶附近的态密度为第28页,本讲稿共60页29296060第三章01一、电子的费米分布函数一、电子的费米分布函数 f(E)二、玻尔兹曼分布函数二、玻尔兹曼分布函数 三、导带中的电子浓度和价带中的空穴浓度三、导带中的电子浓度和价带中的空穴浓度 四、载流子浓度的乘积四、载流子浓度的乘积3.2费米能级和载流子的统计分布费米能级和载流子的统计分布第29页,本讲稿共60页30306060第三章01n n 半导体中电子的数目是非
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