集成电路设计技术与工具详解.pptx
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1、内容提要12.1 引言12.2 集成电路测试信号连接方法12.3 模拟集成电路测试方法 12.4 数字集成电路测试方法概述12.5 数字集成电路的可测性设计 12.6 本章小结 第1页/共84页12.1 引言集成电路是当今发展最快的技术领域之一。随着VLSI技术进入纳米时代,电路日趋复杂,集成度日益增高,同时人们对集成电路的可靠性要求也越来越高,集成电路的测试技术也随之得到了长足的发展,并成为保证其可靠性的决定性因素之一。集成电路的测试方法主要分为模拟和数字两大类集成电路的测试方法。当然还有一部分集成电路既有模拟部分又有数字部分,称为混合信号集成电路,这种电路的测试方法综合了模拟和数字两类集成
2、电路测试方法。第2页/共84页12.2 集成电路测试信号连接方法根据测试的目的,通常集成电路测试可以分为四种:1)验证测试。2)生产测试。3)老化测试。4)成品检测。第3页/共84页12.2 集成电路测试信号连接方法通常的测试都会按照正在加工、晶圆和封装后的步骤来进行,虽然在晶圆加工阶段会针对器件参数做一些测试,但绝大部分的测试是在晶圆加工完成以后进行的。在对晶圆进行的测试称为在晶圆测试(中测),这种测试依靠探针台(probe station)分选,将潜在的失效电路标记并分离,再经划片和封装进入封装完毕的成品测试(成测)。第4页/共84页12.2.1 芯片在晶圆测试的连接方法 芯片在晶圆测试需
3、要在探针台(测试台)上进行,基本的探针台主要由四部分组成:1)载片部分。2)接触和调整部分。3)显微镜部分。4)控制部分。第5页/共84页12.2.1 芯片在晶圆测试的连接方法载片部分根据晶圆的尺寸大小来设计,目前主流的载片台有6英寸载片台、8英寸载片台和12英寸载片台,载片台的功能是用具有水平平面且可以旋转的圆柱体金属平面装载晶圆或芯片,并利用真空吸盘将它固定。接触和调整部分用来装配和调整探针、探针阵列或探头,通过装配部分来固定探针卡,再利用调整部分来手动粗调以保持探针分布与晶圆上的芯片焊盘分布一致。第6页/共84页12.2.1 芯片在晶圆测试的连接方法显微镜也包括一个位置调整装置,以便对待
4、测芯片进行聚焦,操作人员利用显微镜来细微的调整晶圆上芯片焊盘与探针的相对位置,以便能使焊盘与探针接触。控制部分用来控制载片台的移动、升降和旋转,并可通过一些按键实现其他一些功能,如激活标记不合格芯片的标记笔(打点器),记录晶圆上被测芯片数和合格与不合格芯片数及各自的坐标等信息等。第7页/共84页12.2.1 芯片在晶圆测试的连接方法在一般的制造工艺中,焊盘的面积总是比较小的,为了将焊盘上的引脚引出来,就必须用到探针、探针阵列或探头。探针和探针阵列由于其阻抗比较高,抗干扰能力差,一般只用来测试低速芯片或高速芯片的直流参数。通常的探针都是以阵列或成组的形式应用在晶圆测试中,但是在某些实验性的测试中
5、,则可利用单个可调节的探针,灵活的选择接触位置。第8页/共84页12.2.1 芯片在晶圆测试的连接方法随着集成电路设计水平的不断提高,芯片的时钟速度也在成倍增长,部分高速的芯片时钟频率已经达到GHz,若要在晶圆上测试这些高速芯片,就必须要用微波探针。共面波导结构的微波探针基本结构主要包括SMA同轴连接器、共面波导探头和接头体。第9页/共84页12.2.2 芯片成品测试的连接方法 对于封装后的成品测试,既可以直接设计电路板通过电缆与测试机连接来测试(手动成测),也可以将测试系统与机械手相连,用机械手来替代中测时探针台所做的分选工作(自动成测)。第10页/共84页12.3 模拟集成电路测试方法模拟
6、集成电路的测试方法远比数字集成电路测试复杂的多,难以从理论上做出分析和总结,出现的故障往往没有规律可循。但由于模拟集成电路的开发也已经经历了半个多世纪的历程,人们已经针对品种繁多的电路确定了测试方法,开发出了测试仪器,加上这些电路往往规模不大,对它们的测试还是大体明确的,主要包括了直流、交流和瞬态测试三个方面 第11页/共84页12.3.1 直流工作点测试一般而言,模拟集成电路首先要进行直流工作点测试,以判断电路的工作点是否正确:1)通过测量电压源总电流,得到电路的静态功耗。2)使用测量设备测量电路输入、输出节点的偏置电压或电路中各可观测点的电压值。比较电路中各关键节点的直流工作电压值是否与仿
7、真电压值一致,从而判断电路直流工作是否正常。3)输入电压扫描测试。以运算放大器的直流测试为例,为获得运算放大器的输入失调电压,需要测量运算放大器的直流传输特性。这时,在电源电压的作用下,可以在输入端加一个连续可调的直流电压源,逐点测试记录输出电压值,然后再进行绘图。第12页/共84页12.3.2 交流特性测试模拟集成电路的交流特性测试相当于电路仿真中的AC分析,其输入信号一般为频率可变的正弦波。因此,一般的数模混合测试机除了具有采集测试数据的功能外,还能够产生交流信号。此外,各种信号发生器或波形发生器也可以用于交流特性的测试。第13页/共84页12.3.3 瞬态特性测试瞬态测试同样需要各种信号
8、发生器或波形发生器。进行电路瞬态特性测试时,通常在电路输入端加一个电压随时间变化的信号,然后用示波器、逻辑分析仪等仪器直接观测电路的输出波形,并可以测量输出波形的信号幅度、周期、上升/下降时间等特性参数。第14页/共84页12.3.4 频谱与噪声测试频谱测通常采用频谱分析仪进行测试。主要用于大信号放大电路谐波分量分析,确定其非线性失真;用于混频器和调制解调器输出波形分析,得到各混频器输出频率分量的幅度;确定其混频增益和待滤除分量的大小;用于振荡器分析,确定输出信号频谱纯度。总之,频谱测试用于各类大信号非线性电路的性能评估。测试噪声系数通常采用噪声分析仪进行。主要用于低噪声放大器和振荡器的性能评
9、估。第15页/共84页12.3.5 模拟集成电路测试实例 在大规模生产中,一个典型的模拟集成电路测试系统如图所示。测试系统的各个板卡与仪器接口卡通过仪器总线连接;测试系统通过接口电缆与计算机连接;安装有VC等高级语言的计算机通过用户开发设计的程序控制仪器接口板来控制测试系统。系统的各类信号资源或通过矩阵或直接连接到被测电路。数模混合测试机主要对被测件进行直流测试、交流测试和其他一些功能的测试。第16页/共84页12.3.5 模拟集成电路测试实例数模混合自动测试系统的测试程序开发和管理是通过用户程序完成的,其程序开发流程一般可分为七个步骤:测试程序开发流程第17页/共84页12.3.5 模拟集成
10、电路测试实例下面首先以一种低频功率放大器的静态工作电流测试为例,较为详细地说明模拟集成电路自动测试的基本过程,然后简要介绍输出功率、总谐波失真和电源抑制比的测试方法。第18页/共84页12.3.5 模拟集成电路测试实例1)静态工作电流测试(1)分析测试要求 无论哪一种测试,首先要分析电路的具体测试要求。例如,该低频功率放大器要求在指定的多个电源电压和不同负载条件下测量其静态电流,并且在实际电路测试过程不仅要记录测试数据还要判断测试结果是否符合相应的测试规范,对不符合要求的电路要进行筛选。电源电压负载条件VDD5VVDD3VVDD2.6V无负载3mA IDD 7mA3mA IDD 7mA1.5m
11、A IDD 6mA两个输出端口间接8负载4mA IDD 10mA4mA IDD 10mA2mA IDD 8mA第19页/共84页12.3.5 模拟集成电路测试实例(2)设计测试电路板 要测量上述6组静态电流数据需要有可变的电源电压VDD和两种不同的负载条件。这样当继电开关K1断开时,实现了无负载测试条件;当继电开关K1合上,同时继电开关K2指向右侧时,则对应着两个输出端口P5和P6间接8负载的测试条件。第20页/共84页12.3.5 模拟集成电路测试实例(3)编写测试程序 测试程序一般都采用VC(或VC)高级语言实现。测试程序是根据测试要求和测试方法进行编写的。电路的静态工作电流测试方法是:电
12、路控制端口P1接电源电压使电路处于正常工作状态,输入端口P4接地(无输入信号),电源端口P3接直流电压,该端口的电流就是要求测量的低频功率放大器静态工作电流。第21页/共84页12.3.5 模拟集成电路测试实例 根据上述要求,无负载情况下的静态电流测试程序示例如下:MYDLLAPI double IDD1(double*grpTestValue,short*pingrp);/初始化设置等hvforce_v(1,5,100);/P1端口接5V电源电压hvforce_v(4,0,10);/输入端口P4接地set_rcbit(1);/继电器开关K1断开hvforce_v(3,5,100);/电源上电
13、 5V/clr_rcbit(1);/继电器开关K1闭合testvalue=hvmeasure_i(4);/测idd/第22页/共84页12.3.5 模拟集成电路测试实例(4)调试测试程序 按所有测试要求编写好测试程序后,就可以在测试机系统环境下进行程序调试。同时还要进行测试机系统的初始化设置,例如设置各种测试规范等。(5)测试静态工作电流 完成上述过程后,就可以对电路进行测试了。测试的方法是:当电路控制端口P1接电源电压、输入端口P4接地时,测端口P3,即电源电压(VDD)端口的电流。根据表中列出的测试规范,当测试值在测试规范的范围内时认为电路直流工作正常,否则为次品。第23页/共84页12.
14、3.5 模拟集成电路测试实例2)输出功率测试(Po)其测试方法是:电路控制端口P1接电源电压、输入端口接频率为1kHz的正弦波,并且当负载为8时,正弦波幅度为2.236V;负载为4时,正弦波幅度为2V,测总谐波失真不超过1%的情况下电路输出端口P5或P6的输出功率。3)总谐波失真测试(THD)总谐波失真测试是指在输出功率一定的条件下测试输出波形的失真度。其测试方法是:电路控制端口P1接电源电压、输入端口接频率为1kHz的正弦波,并且当负载为8时,正弦波幅度为1.414V;负载为4时,正弦波幅度为1V,测量输出波形的失真度。4)电源抑制比测试(PSRR)该项目是测量电路对电源波动的抑制能力,其测
15、试方法是:电路控制端口P1接电源电压、输入端口接地,电源电压上叠加一个幅度为200mV的正弦波,测量输出端信号的均方值,然后用叠加信号的有效值除以该均方值后取dB值。第24页/共84页12.4 数字集成电路测试方法概述大规模数字集成电路测试主要包括逻辑值测试和参数值测试两个方面。数字电路测试的研究主要集中在基于电压测量的逻辑值测试方法的研究。电压测试的优点是速度快,识别0、1要求的精度不高。基于电压测量的逻辑值测试方法已经成为目前测试数字集成电路的主流。目前数字集成电路的测试主要还是依靠自动测试。所谓自动测试就是自动推导被测电路的测试向量,自动对被测电路的输入加载测试激励并回收其测试输出的响应
16、,通过分析测试响应来自动的给出电路的故障征兆并孤立故障。第25页/共84页12.4.1 数字集成电路测试的基本概念数字集成电路测试的意义在于可以直观地检查设计的具体电路是否能像设计者要求的那样正确地工作。被测试的电路称为被测器件(DUT:Device Under Test),产生被测电路测试向量的过程称为测试生成(Test Generation),产生的测试向量又称为测试图形(Test Pattern)。整个测试过程是通过自动测试设备(Automatic Test Equipment)对DUT施加测试图形并捕获和分析DUT的响应来实现的。第26页/共84页12.4.1 数字集成电路测试的基本概
17、念集成电路芯片的测试分为功能测试和参数测试,其中功能测试又分为两种基本形式:1)完全测试就是对芯片进行全部状态和功能的测试,要考虑集成电路所有的可能状态和功能,即使在实际应用中某些状态并不会出现。2)功能测试就是只对在集成电路设计之初所要求的运算功能或逻辑功能是否正确进行测试。第27页/共84页12.4.1 数字集成电路测试的基本概念从测试的结果来看,所有的错误都表现为电路有故障。通常设计错误称为设计故障,制造错误、物理失效合称为物理故障。根据电路故障的稳定性,可将故障划分为永久性故障、间歇性故障和瞬时性故障。在测试的时候,所有的故障都是通过逻辑值来确定的,逻辑故障映射了物理故障对系统的影响,
18、在电路的模型中,逻辑功能和时序是分开的,因此逻辑故障主要包含了逻辑功能故障和逻辑时序故障。第28页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成12.4.2.1故障模型 将物理故障转化为逻辑故障有利于抽象地理解系统的故障,同时有些物理故障可以转化为同一个逻辑故障,简化了故障的复杂度。根据系统在某一时刻出现故障的个数,故障类型可分为单故障和多重故障。第29页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成一般来说,在门级故障模型中,通常认为元器件是无故障的,只有器件之间的互连可能发生问题。常见的互连问题有固定开路和固定短路,将其转化为逻辑故障,主要有以下几种:1)单固定故障 单固定型故障主要反
19、映电路中某根线上的信号不可控,即永远运行在某一个固定值上。第30页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成 由图可知,一个单固定故障包含了3个特征:(1)故障线永远固定于某一个逻辑值。(2)故障可以是一个门的输入也可以是一个门的输出。(3)在某一时刻只能有一个故障。第31页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成 在单固定故障中,一个故障往往存在多个测试图形。上述A、B、C、D分别输入0111、1111、1011 时可以检测到OR门的 s-a-0故障第32页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成2)多固定故障 如果电路中在某一时刻同时存在两根或两根以上的信号线固定于某
20、一逻辑值,则这样的故障称为多固定故障。通过一些学者的研究发现,对于单固定故障覆盖率达到100的测试,可以期望检测大部分的多固定故障。第33页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成 如图是一个多固定故障的例子。这个多固定故障是由两个单固定故障组合而成,并且当与门(AND1)不存在故障,或门(OR)的固定于0故障是可以被检测到的,反之当OR门不存在故障,AND1的固定于1故障也是可以被检测到的。第34页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成桥接故障 电路中信号短接在一起的故障称为桥接故障。常见的桥接故障有两种:一是输入端之间的桥接故障,二是元件输入端和输出端之间的反馈式桥接故障
21、。桥接故障与所采用的工艺有一定关系,根据桥接所引入的功能不同,可以区分为AND桥接故障和OR桥接故障。单固定故障的测试集也可用来检测桥接故障,对一些特殊的电路还会有100%的故障检测率。第35页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成实际的电路中,并非所有的故障都会对电路产生影响,有一些故障并不修改电路的功能,因此称这种故障为冗余故障。有冗余故障的电路 去除冗余故障的电路第36页/共84页12.4.2 故障模型和测试向量的生成在单固定故障中,一个故障能被多个测试图形所检测。其实一个测试图形通常也能检测到多个故障。设有一个n位输入的电路,其输出函数为f(x),x为n位的输入向量。假设电路
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