传感器10-11-33-电容传感器.ppt

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1、传感器与检测技术传感器与检测技术防灾科技学院防灾仪器系防灾科技学院防灾仪器系主讲教师主讲教师:姚振静姚振静Sensor&Detecting Technology2主要内容主要内容3.1 自感式传感器自感式传感器3.2 差动变压器差动变压器3.3 电容传感器电容传感器3.4 电涡流式传感器电涡流式传感器第三章第三章 变阻抗式传感器原理与应用变阻抗式传感器原理与应用33.3 电容传感器电容式传感器电容式传感器是把被测是把被测非电量非电量的变化转换成的变化转换成电容量电容量变化的变化的一种传感器。一种传感器。电容式传感器电容式传感器结构简单结构简单、体积小体积小、分辨率高分辨率高、测量精度高测量精度

2、高、具有平均效应、可非接触测量、能在高温、辐射、强烈振具有平均效应、可非接触测量、能在高温、辐射、强烈振动等恶劣条件下工作。动等恶劣条件下工作。电容式传感器不但广泛电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度用于位移、振动、角度、加速度等等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于压力、差压、压力、差压、液位、物位或成份含量液位、物位或成份含量等方面的测量。等方面的测量。3.3 电容式传感器电容式传感器43.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能3.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感

3、器的特点和设计要点3.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路3.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路3.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用3.3 电容式传感器电容式传感器53.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理1.工作原理及类型工作原理及类型2.变极距型电容传感器变极距型电容传感器3.变面积型电容传感器变面积型电容传感器4.变介电常数型电容传感器变介电常数型电容传感器3.3 电容式传感器电容式传感器6什么是电容器？电容器电容器有两个用介质（固体、液体或气体）或真空隔开的电有两个用介质（固体、液体或气体）或真空隔开的电导体构成。导体构成。电容电容导体上的电荷导体

4、上的电荷导体之间的电压差导体之间的电压差3.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.3 电容式传感器电容式传感器71.工作原理及类型工作原理及类型 S 极板相对覆盖面积；极板相对覆盖面积；d 极板间距离；极板间距离；r相对介电常数；相对介电常数；0真空介电常数（真空介电常数（8.85pF/m）；）；电容极板间介质的介电常数。电容极板间介质的介电常数。dS3.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.3 电容式传感器电容式传感器83.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理d、S和和r中的某一项或几项有变化时，就改变了电容中的某一项或几项有变化时，就改变了电容d或或

5、S的变化可以反映线的变化可以反映线位移位移或角位移的变化，也可以间接反或角位移的变化，也可以间接反映映压力压力、加速度加速度等的变化；等的变化；r 的变化则可反映的变化则可反映液面高度、材料厚度液面高度、材料厚度等的变化。等的变化。3.3 电容式传感器电容式传感器dS93.3 电容式传感器电容式传感器103.3 电容式传感器电容式传感器113.3 电容式传感器电容式传感器123.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理变极距型变极距型:(a)、(e)变面积型变面积型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)（h）变介电常数型变介电常数型:（i）(l)3.3 电容式传感器电容式传感器133

6、.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理2.变极距型电容传感器变极距型电容传感器dA:可动极板可动极板B:固定极板固定极板非线性关系非线性关系 若若d/d1时，则上式可简化为时，则上式可简化为 若极距缩小若极距缩小d 最大位移应小于间距的最大位移应小于间距的1/10 初始电容初始电容3.3 电容式传感器电容式传感器143.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.变面积型电容传感器变面积型电容传感器3.3 电容式传感器电容式传感器153.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.变面积型电容传感器变面积型电容传感器当动极板相对于定极板沿着长度当动极板相对于定极板沿

7、着长度方向平移时，其电容变化量化为方向平移时，其电容变化量化为C与与x间呈线性关系间呈线性关系 3.3 电容式传感器电容式传感器163.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理电容式角位移传感器电容式角位移传感器 当当=0时时 当当0时时传感器电容量传感器电容量C与角位移与角位移间间呈线性关系呈线性关系3.变面积型电容传感器变面积型电容传感器3.3 电容式传感器电容式传感器173.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理4.变介电常数型电容传感器变介电常数型电容传感器在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。

8、变介电常数型电容式传感器大多用来测量变介电常数型电容式传感器大多用来测量电介质的厚度、液位电介质的厚度、液位，还可根据极间介质的介电常数随温度、湿度改变而改变来测量还可根据极间介质的介电常数随温度、湿度改变而改变来测量介质材料的温度、湿度等。介质材料的温度、湿度等。3.3 电容式传感器电容式传感器183.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.3 电容式传感器电容式传感器193.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理4.变介电常数型电容传感器变介电常数型电容传感器相对介电常数相对介电常数 的电介质以不同深度插入电容器的电介质以不同深度插入电容器3.3 电容式传感器电容式传

9、感器203.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理当当L=0时，传感器的初始电容时，传感器的初始电容 当被测电介质进入极板间当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为深度后，引起电容相对变化量为电容变化量与电介质移动量电容变化量与电介质移动量L呈线性关系呈线性关系 3.3 电容式传感器电容式传感器213.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理4.变介电常数型电容传感器变介电常数型电容传感器初始电容初始电容 电容式液位传感器电容式液位传感器 电容与液位的关系为：电容与液位的关系为：3.3 电容式传感器电容式传感器223.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原

10、理3.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能3.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点3.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路3.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路3.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用3.3 电容式传感器电容式传感器3.3 电容式传感器电容式传感器233.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能1.静态灵敏度静态灵敏度 被测量缓慢变化时，传感器电容变化量与引起其变化的被测量缓慢变化时，传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比。被测量变化之比。2.非线性非线性3.3 电容式传感器电容式传感器243.3.2 电容

11、传感器的主要性能电容传感器的主要性能1.静态灵敏度静态灵敏度 变极距型变极距型，其静态灵敏度为，其静态灵敏度为 将上式展开成泰勒级数得将上式展开成泰勒级数得 d过小易导致电容器击穿，在极间加一层云母片或塑料膜来过小易导致电容器击穿，在极间加一层云母片或塑料膜来改善电容器耐压性能改善电容器耐压性能 3.3 电容式传感器电容式传感器253.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能平板式变面积型平板式变面积型增加极板宽度、减小极板间距可提高静态灵敏度；增加极板宽度、减小极板间距可提高静态灵敏度；极板起始遮盖长度极板起始遮盖长度a的大小与灵敏度无关！的大小与灵敏度无关！其静态灵敏度为其静态灵敏

12、度为 3.3 电容式传感器电容式传感器263.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能2.非线性非线性变极距型变极距型 将上式展开成泰勒级数得将上式展开成泰勒级数得 非线性非线性3.3 电容式传感器电容式传感器273.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能2.非线性非线性非线性得到了改善非线性得到了改善灵敏度：灵敏度：3.3 电容式传感器电容式传感器283.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能3.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点3.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路3.3.5

13、 电容传感器测量电路电容传感器测量电路3.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用3.3 电容传感器3.3 电容式传感器电容式传感器3.3 电容式传感器电容式传感器293.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点1、特点、特点 优点优点:（1）温度稳定性好）温度稳定性好传感器的电容值一般与电极材料无关，仅取决于电极的几何传感器的电容值一般与电极材料无关，仅取决于电极的几何尺寸，且空气等介质损耗很小，因此只要从强度、温度系数尺寸，且空气等介质损耗很小，因此只要从强度、温度系数等机械特性考虑，合理选择材料和几何尺寸即可，其他因素等机械特性考虑，合理选择材料和几何尺寸即可，其他因

14、素(因本身发热极小因本身发热极小)影响甚微。影响甚微。而电阻式传感器有电阻，供电而电阻式传感器有电阻，供电后产生热量；电感式传感器存在铜损、涡流损耗等，引起本后产生热量；电感式传感器存在铜损、涡流损耗等，引起本身发热产生零漂。身发热产生零漂。1.电容传感器的特点电容传感器的特点3.3 电容式传感器电容式传感器303.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点（2）结构简单，适应性强）结构简单，适应性强电容式传感器结构简单，易于制造。电容式传感器结构简单，易于制造。能在高低温、强辐射及能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强，尤其可强磁场等各种恶劣的环境

15、条件下工作，适应能力强，尤其可以承受很大的温度变化，在高压力、高冲击、过载等情况下以承受很大的温度变化，在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作，能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行都能正常工作，能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。测量。3.3 电容式传感器电容式传感器313.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点1、特点、特点（3）动态响应好）动态响应好电容式传感器由于极板间的静电引力很小，需要的作用能量电容式传感器由于极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很

16、轻，因此其因此其固有频率很高，动态响应时间短固有频率很高，动态响应时间短，能在几，能在几MHz的频率的频率下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小可以用较下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。的参数，如测量振动、瞬时压力等。3.3 电容式传感器电容式传感器323.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点静电力的计算静电力的计算 电容电容C中储存的能量为：中储存的能量为：对于平板电容器，使极板移动所需的力对于平板电容器，使极

17、板移动所需的力F约为约为3.3 电容式传感器电容式传感器333.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点1、特点、特点（4）可以实现非接触测量、具有平均效应）可以实现非接触测量、具有平均效应当被测件不能允许采用接触测量的情况下，电容传感器可以当被测件不能允许采用接触测量的情况下，电容传感器可以完成测量任务。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平完成测量任务。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。3.3 电容式传感器电容式传感器343.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和

18、设计要点缺点缺点:(1)输出阻抗高、负载能力差输出阻抗高、负载能力差传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高，传感器负载能力差易受外界皮法，使传感器的输出阻抗很高，传感器负载能力差易受外界干扰影响干扰影响 。(2)输出特性非线性输出特性非线性变极距型电容传感器的输出特性是非线性的，虽可采用差动结变极距型电容传感器的输出特性是非线性的，虽可采用差动结构来改善，但不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有构来改善，但不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有忽忽略了电场的边缘效应略了电场的边缘效应时，输出特

19、性才呈线性。否则边缘效应所时，输出特性才呈线性。否则边缘效应所产生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加，使输出特性非产生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加，使输出特性非线性。线性。3.3 电容式传感器电容式传感器353.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点缺点缺点:(3)寄生电容影响大寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而其引线电缆电容传感器的初始电容量很小，而其引线电缆电容(l2m导线可达导线可达800pF)、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等成的电容等“寄生电容寄生电容”却较大，却较大，降低

20、了传感器的灵敏度；降低了传感器的灵敏度；这些电容这些电容(如电缆电容如电缆电容)常常是随机变化的，将使传感器工作常常是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精度，其变化量甚至超过被测量引起的电容不稳定，影响测量精度，其变化量甚至超过被测量引起的电容变化量，致使传感器无法工作。因此对电缆选择、安装、接法变化量，致使传感器无法工作。因此对电缆选择、安装、接法有要求有要求.3.3 电容式传感器电容式传感器363.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点2、设计要点、设计要点 低成本、高精度、高分辨率、稳定可靠和高的频率响应低成本、高精度、高分辨率、稳定可靠和高的频率响应减小环

21、境温度湿度等变化所产生的影响，保证绝缘材料的减小环境温度湿度等变化所产生的影响，保证绝缘材料的绝缘性能绝缘性能消除和减小边缘效应消除和减小边缘效应 消除和减小寄生电容的影响消除和减小寄生电容的影响防止和减少外界干扰防止和减少外界干扰 尽可能采用差动式电容传感器尽可能采用差动式电容传感器 3.3 电容式传感器电容式传感器373.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点2、设计要点、设计要点(1)减小温度误差、保证高的绝缘性能减小温度误差、保证高的绝缘性能 选材、结构、加工工艺选材、结构、加工工艺电极：电极：温度系数低的铁镍合金、陶瓷或石英上喷镀金或银（电温度系数低的铁镍合金、

22、陶瓷或石英上喷镀金或银（电极可做得薄，减小边缘效应）极可做得薄，减小边缘效应）电极支架：电极支架：选用温度系数小和几何尺寸长期稳定性好，并具有选用温度系数小和几何尺寸长期稳定性好，并具有高绝缘电阻、低吸潮性和高表面电阻的材料，例如石英、云母、高绝缘电阻、低吸潮性和高表面电阻的材料，例如石英、云母、人造宝石及各种陶瓷等做支架人造宝石及各种陶瓷等做支架 电介质电介质：空气或云母空气或云母 加工工艺：加工工艺：传感器密封，用以防尘、防潮传感器密封，用以防尘、防潮 结构：结构：采用差动结构采用差动结构3.3 电容式传感器电容式传感器383.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点2

23、、设计要点、设计要点(2)消除和减小边缘效应消除和减小边缘效应 边缘效应危害：边缘效应危害：灵敏度降低灵敏度降低 产生非线性产生非线性减小边缘效应：减小边缘效应：减小极间距，使电极直径与间距比很大减小极间距，使电极直径与间距比很大但易产生击穿并有可能限制测量范围但易产生击穿并有可能限制测量范围 dA:可动极板可动极板B:固定极板固定极板3.3 电容式传感器电容式传感器39(2)消除和减小边缘效应消除和减小边缘效应 可在结构上增设可在结构上增设等位环等位环来消除边缘效应。来消除边缘效应。等位环等位环3与电极与电极2在同一平面上并将电极在同一平面上并将电极2包围，且与包围，且与电极电极2绝绝缘但等

24、电位缘但等电位，这就能使电极，这就能使电极2的边缘电力线平直，电极的边缘电力线平直，电极1和和2之之间的电场基本均匀，而发散的边缘电场发生在等位环间的电场基本均匀，而发散的边缘电场发生在等位环3外周不外周不影响传感器两极板间电场。影响传感器两极板间电场。带有等位环的平板电容带有等位环的平板电容传感器结构原理图传感器结构原理图均匀电场均匀电场1233边边缘缘电电场场3.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点3.3 电容式传感器电容式传感器403.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点2、设计要点、设计要点(3)消除和减小寄生电容的影响消除和减小寄生电容

25、的影响寄生电容与传感器电容相并联，寄生电容与传感器电容相并联，影响传感器灵敏度影响传感器灵敏度，而它的，而它的变化则为虚假信号变化则为虚假信号影响仪器的精度影响仪器的精度，必须消除和减小它。可，必须消除和减小它。可采用方法：采用方法：（a）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值（b）集成化）集成化引线电缆电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围引线电缆电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等导体构成的电容等-“寄生电容寄生电容”3.3 电容式传感器电容式传感器413.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点2、设计要点、设计要点（a）增加传感

26、器原始电容值）增加传感器原始电容值采用减小极片或极筒间的间距采用减小极片或极筒间的间距(平板式间距为平板式间距为0.20.5mm，圆筒式间距为圆筒式间距为0.15mm)，增加工作面积或工作长度来，增加工作面积或工作长度来增加原增加原始电容值始电容值，但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿，但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿电压、结构等限制。一般电容值变化在电压、结构等限制。一般电容值变化在 10-3103 pF范围范围内，相对值变化在内，相对值变化在 10-61范围内。范围内。3.3 电容式传感器电容式传感器423.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点（b）集成

27、化）集成化将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内，省去将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内，省去传感器的传感器的电缆引线电缆引线。这样，寄生电容大为减小而且易固定不。这样，寄生电容大为减小而且易固定不变，使仪器工作稳定。变，使仪器工作稳定。但这种传感器因电子元件的特点而不能在高、低温或环境差但这种传感器因电子元件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。的场合使用。3.3 电容式传感器电容式传感器433.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点(4)防止和减小外界干扰防止和减小外界干扰当外界干扰当外界干扰(如电磁场如电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并

28、在传感器上和导线之间感应出电压并与信号一起输送至测量电路时就会产生误差。与信号一起输送至测量电路时就会产生误差。干扰信号足够大时，仪器无法正常工作。干扰信号足够大时，仪器无法正常工作。此外，接地点不同所产生的接地电压差也是一种干扰信号，此外，接地点不同所产生的接地电压差也是一种干扰信号，也会给仪器带来误差和故障。也会给仪器带来误差和故障。3.3 电容式传感器电容式传感器443.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点(4)防止和减小外界干扰防止和减小外界干扰防止和减小干扰的措施归纳为：防止和减小干扰的措施归纳为：屏蔽和接地。传感器壳体；导线；传感器与测量电路前置级屏蔽和接地

29、。传感器壳体；导线；传感器与测量电路前置级等。等。增加原始电容量，降低容抗。增加原始电容量，降低容抗。导线和导线之间要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列，导线和导线之间要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列，若必须平行排列时，可采用同轴屏蔽电缆线。若必须平行排列时，可采用同轴屏蔽电缆线。尽可能一点接地，避免多点接地。地线用粗的良导体或宽印尽可能一点接地，避免多点接地。地线用粗的良导体或宽印制线制线3.3 电容式传感器电容式传感器453.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点2、设计要点、设计要点(5)差动技术的运用差动技术的运用减小非线性误差减小非线性误差提高传感器灵敏

30、度提高传感器灵敏度3.3 电容式传感器电容式传感器463.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能3.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点3.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路3.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路3.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用3.3 电容式传感器电容式传感器3.3 电容式传感器电容式传感器473.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路rC0CPRgLL包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感；包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感；r由引线电阻、极板电

31、阻和金属支架电阻组成；由引线电阻、极板电阻和金属支架电阻组成；C0为传感器本身的电容为传感器本身的电容Cp为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容Rg是极间等效漏电阻是极间等效漏电阻3.3 电容式传感器电容式传感器483.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路rC0CPRgL低频等效电路低频等效电路 传感器电容的阻抗非常大传感器电容的阻抗非常大L和和r的影响可忽略的影响可忽略等效电容等效电容C=C0+Cp等效电阻等效电阻ReRg CRe3.3 电容式传感器电容式传感器493.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路r

32、C0CPRgL高频等效电路高频等效电路 电容的阻抗变小，电容的阻抗变小，L和和r的影响不可忽略，漏电的影响可忽略的影响不可忽略，漏电的影响可忽略，其中，其中C=C0+Cp，而，而rer reCL3.3 电容式传感器电容式传感器503.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路高频等效电路高频等效电路 reCL由于电容传感器电容量一般都很小，电源频率即使采用几兆赫，由于电容传感器电容量一般都很小，电源频率即使采用几兆赫，容抗仍很大，而容抗仍很大，而R很小可以忽略，因此很小可以忽略，因此 传感器等效电容传感器等效电容3.3 电容式传感器电容式传感器513.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效

33、电路高频等效电路高频等效电路 此时电容传感器的等效灵敏度为此时电容传感器的等效灵敏度为 当电容式传感器的供电电源频率较高时，传感器的灵敏度由当电容式传感器的供电电源频率较高时，传感器的灵敏度由kg变为变为ke，ke与传感器的固有电感（包括电缆电感）有关，与传感器的固有电感（包括电缆电感）有关，且随且随变化而变化。变化而变化。3.3 电容式传感器电容式传感器523.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能3.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点3.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路3.3.5 电容传感器

34、测量电路电容传感器测量电路3.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用3.3 电容式传感器电容式传感器3.3 电容式传感器电容式传感器533.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路（1）调频电路）调频电路（2）运算放大器电路）运算放大器电路（3）双）双T型电桥电路型电桥电路（4）脉宽调制电路）脉宽调制电路3.3 电容式传感器电容式传感器543.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路(1)调频电调频电路路高频振荡器的高频振荡器的LC震荡回路震荡回路鉴频器鉴频器3.3 电容式传感器电容式传感器553.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路当被测信号为零时，当被测信号为零时，C=0

35、，振荡器有一个固有振荡频率，振荡器有一个固有振荡频率f0，当被测信号不为零时，当被测信号不为零时，c0，此时频率为，此时频率为 具有较高的灵敏度，可测至具有较高的灵敏度，可测至0.01m级位移变化量级位移变化量易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强 3.3 电容式传感器电容式传感器563.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路(2)运运算放大器算放大器电电路路uC-ACxu0运算放大器式电路原理图运算放大器式电路原理图Cx是传感器电容，是传感器电容，作为电路的反馈元件作为电路的反馈元件C是固定电容是固定电容u0是输出电压信号是输出

36、电压信号 3.3 电容式传感器电容式传感器573.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路由运算放大器工作原理可知由运算放大器工作原理可知 从原理上保证了从原理上保证了变极距型变极距型电容式传感器的线性电容式传感器的线性前提：假设放大器开环放大倍数前提：假设放大器开环放大倍数A=，输入阻抗，输入阻抗Zi=因此仍然存在一定的非线性误差，但一般因此仍然存在一定的非线性误差，但一般A和和Zi足够大，误差很小。足够大，误差很小。uC-ACxu03.3 电容式传感器电容式传感器583.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路(3)双双T型型电桥电电桥电路路U0iC1iC2UED1D2RRC1C2

37、RL.D1、D2为特性完全相同的两为特性完全相同的两个二极管个二极管R1R2R；C1、C2为传感器的两个差动为传感器的两个差动电容电容当传感器没有位移输入时，当传感器没有位移输入时，C1C2，RL在一个周期内在一个周期内流过的平均电流为零，无电流过的平均电流为零，无电压输出。压输出。当当C1或或C2变化时，变化时，RL上产上产生的平均电流将不再为零，生的平均电流将不再为零，因而有信号输出。因而有信号输出。3.3 电容式传感器电容式传感器59正负半周分析：正负半周分析：正半周：正半周：C1充电，电流顺时针；充电，电流顺时针；C2放电，电放电，电流逆时针流逆时针负半周：负半周：C2充电，电流逆时针

38、；充电，电流逆时针；C1放电，电放电，电流顺时针流顺时针若若C1=C2，则平均电流，则平均电流0，若，若C1 C2，则，则RL有有信号输出信号输出几点几点说说明：明：n该电该电路路电电源源频频率率Mhz级级，电电源源电压电压几十伏，几十伏，电电源源的的稳稳定性定性对输对输出直接出直接产产生影生影响响。n当电当电容以容以PF级变级变化化时时，输输出以出以V级变级变化。化。3.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路3.3 电容式传感器电容式传感器603.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路(4)脉宽调制电路脉宽调制电路利用对传感器电容的充放电使电路利用对传感器电容的充放电使电路输出脉

39、冲的宽度随传输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化感器电容量变化而变化。通过低通滤波器就能得到对应被测量变化的直流信号。通过低通滤波器就能得到对应被测量变化的直流信号。3.3 电容式传感器电容式传感器613.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路差动脉冲调宽电路原理图差动脉冲调宽电路原理图3.3 电容式传感器电容式传感器623.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路差动脉冲调宽电路原理图差动脉冲调宽电路原理图3.3 电容式传感器电容式传感器633.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路uAB经低通滤波后，就可得到一直流电压经低通滤波后，就可得到一直流电压U0为为 UA、UBA

40、点和点和B点的矩形脉冲的直流分量；点的矩形脉冲的直流分量；T1、T2 分别为分别为C1和和C2的充电时间；的充电时间；U1触发器输出的高电位。触发器输出的高电位。3.3 电容式传感器电容式传感器643.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路C1、C2的充电时间的充电时间式中式中 Ur触发器的参考电压触发器的参考电压 设设R1=R2=R，则得，则得 结论：输出的直流电压与传感器两电容差值成正比结论：输出的直流电压与传感器两电容差值成正比 3.3 电容式传感器电容式传感器653.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路设电容设电容C1和和C2的极间距离和面积分别为的极间距离和面积分别为d

41、1、d2和和S1、S2 差动变极距型差动变极距型差动变面积型差动变面积型 特性：差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容式传感器特性：差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容式传感器 具有理论上的线性特性具有理论上的线性特性 3.3 电容式传感器电容式传感器663.3.1 电容传感器的工作原理电容传感器的工作原理3.3.2 电容传感器的主要性能电容传感器的主要性能3.3.3 电容传感器的特点和设计要点电容传感器的特点和设计要点3.3.4 电容传感器等效电路电容传感器等效电路3.3.5 电容传感器测量电路电容传感器测量电路3.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用3.3 电容式传感器电容式传感器3

42、.3 电容式传感器电容式传感器673.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用(1)电容式差压传感器电容式差压传感器3.3 电容式传感器电容式传感器683.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用(1)电容式差压传感器电容式差压传感器P2玻璃盘玻璃盘镀金层镀金层金属金属膜片膜片C2电极引线电极引线p1C1结构简单、灵敏度高、响应速度快结构简单、灵敏度高、响应速度快(约约100ms)，能测微小压差，能测微小压差(00.75Pa)、真空或微小绝对压力，需把膜片的一侧密封并抽成高真空、真空或微小绝对压力，需把膜片的一侧密封并抽成高真空(10-5Pa)即可即可 转换电路转换电路3.3 电容式传感器电容

43、式传感器693.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用(2)电容式加速度传感器电容式加速度传感器当传感器壳体随被测对象在垂直方向上作直线加速运动时，质当传感器壳体随被测对象在垂直方向上作直线加速运动时，质量块在惯性空间中相对静止，而两个固定电极将相对质量块在量块在惯性空间中相对静止，而两个固定电极将相对质量块在垂直方向上产生大小正比于被测加速度的位移。此位移使两电垂直方向上产生大小正比于被测加速度的位移。此位移使两电容的极距发生变化，一个增加，一个减小，从而使容的极距发生变化，一个增加，一个减小，从而使C1、C2产生产生大小相等，符号相反的增量，此增量正比于被测加速度。大小相等，符号相反的增

44、量，此增量正比于被测加速度。两个固定极板两个固定极板与壳体绝缘，中与壳体绝缘，中间有一用弹簧片支撑的质量块，间有一用弹簧片支撑的质量块，此此质量块质量块的两个端面经过磨平抛的两个端面经过磨平抛光后作为光后作为可动极板可动极板。3.3 电容式传感器电容式传感器703.3.6 电容传感器的应用电容传感器的应用(3)电容式振动位移传感器电容式振动位移传感器3.3 电容式传感器电容式传感器71723.3.1 电容传感器的工作原理（掌握）电容传感器的工作原理（掌握）3.3.2 电容传感器的主要性能（掌握）电容传感器的主要性能（掌握）3.3.3 电容传感器的特点和设计要点（了解）电容传感器的特点和设计要点（了解）3.3.4 电容传感器等效电路（理解）电容传感器等效电路（理解）3.3.5 电容传感器测量电路（掌握）电容传感器测量电路（掌握）3.3.6 电容传感器的应用（了解）电容传感器的应用（了解）3.3 电容传感器3.3 电容式传感器小结电容式传感器小结3.3 电容式传感器电容式传感器