砷化镓基LED外延片外观检验标准[1].pdf
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1、合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件 第 1 页 共 7 页 文件名称文件名称 砷化镓基砷化镓基 LEDLED 外延片外观外延片外观 检验标准检验标准 文件编号文件编号 HL/DN-23-01-001-1.1 产品型号或材料代号产品型号或材料代号 工艺代号工艺代号 生效日期生效日期 替代版本替代版本 /1 1 目的目的 为了有效直观判定外延片外观等级，指导外延外观检验作业，规范检验标准。2 2 适用范围适用范围 适用于外延片入库前的外观检验。3 3 使用工具使用工具 卤素灯、PL 及显微镜 4 4 作业内容作业内容 4.1 检验方法 先使用强光灯具下目视有无白点之后；在由 50 倍显微镜下，透过显
2、示屏观察表面外观(请参考显微镜操作手册)。4.2 检验频度：外延全检；品质人员每炉抽四片，内外圈各两片进行检验。4.3 单片外观判定标准 4.3.1 有效面积定义：除边缘 5mm 外。4.3.2 外延片外观等级判定如下表所示，A 等级为合格品，B 等级为 Y 品，C 等级为 F 品（报废片,未符合A 及 B 等级则判定为 C 等级）。更改标记更改标记 更改单编号更改单编号 更改员更改员 日期日期 更改标记更改标记 更改单编号更改单编号 更改员更改员 日期日期 拟拟 编编 审审 核核 标准化标准化 批批 准准 合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件 第 2 页 共 7 页 文件名称文件名称 砷化镓基砷
3、化镓基 LEDLED 外延片外观外延片外观 检验标准检验标准 文件编号文件编号 HL/DN-23-01-001-1.1 产品型号或材料代号产品型号或材料代号 工艺代号工艺代号 生效日期生效日期 替代版本替代版本 /检验项目 外观等级 异常图例 A B 白点(0.3mm直径1mm)白点颗数4 5白点颗数20 Hillocks A.40 颗,B.2 个区段 其区域数量 2040 颗 A.2 個区域,数量 2040 颗 B.100 颗 Cross hatch(mismatch)无(不允许)*Rainbow 无(不允许)*糙边(边缘发白)无(不允许)雾 5mm 表面发雾 无(不允许)雾面但有反光1/4
4、wafer面积 表面发灰 无(不允许)(不允许)刮伤、划痕 无(不允许)此 Particle 刮伤区域4个区域 Particle 0.3mm 粉尘颗数(经吹扫后)80 粉尘颗数(经吹扫后)0颗数160 Mismatch 无(不允许)(不允许)更改标记更改标记 更改单编号更改单编号 更改员更改员 日期日期 更改标记更改标记 更改单编号更改单编号 更改员更改员 日期日期 拟拟 编编 审审 核核 标准化标准化 批批 准准 合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件 第 3 页 共 7 页 文件名称文件名称 砷化镓基砷化镓基 LEDLED 外延片外观外延片外观 检验标准检验标准 文件编号文件编号 HL/DN-2
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