现代分析测试技术复习学习教案.pptx
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1、会计学1现代现代(xindi)分析测试技术复习分析测试技术复习第一页,共70页。1.电镜的诞生电镜的诞生(dnshng)与发展与发展n1923 Louis De Broglie指出:光、电子、质子均有波、粒二象性,电子束可以代替光波(gungb)成像n1926 H.Busch 提出“轴对称磁场对电子束起透镜作用”n1932 德国Knollhe和Ruska制成第一台12 透射式电镜n1940 英国剑桥大学制成第一台扫描式电镜n50年代末期起,我国也开始研制并生产电镜n80年代中期,我国开始引进生产国外高性能电镜第2页/共70页第二页,共70页。2.电镜的应用电镜的应用(yngyng)n n微观微
2、观(wigun)(wigun)形貌和结构形貌和结构n n成分分析成分分析第3页/共70页第三页,共70页。3.电子光学电子光学(din z un xu)3.1光的折射和光学(gungxu)透镜成像(1)光的折射(2)凸透镜的成像原理(3)光学(gungxu)显微镜的原理第4页/共70页第四页,共70页。3.2光的衍射和光学显微镜分辨本领理论(lln)极限(1)光的衍射第5页/共70页第五页,共70页。结论:结论:埃利斑半径与照明光源埃利斑半径与照明光源(gungyun)波长成正。波长成正。第6页/共70页第六页,共70页。(2)光学显微镜分辨本领理论极限分辨率的定义设某成像装置所能区分开两点(
3、或两条线)之间的最小距离为,则这一成像装置的最佳分辨率d 即为。分辨率d 是衡量(hng ling)成像仪器的重要指标,也是各种因素的综合参数指征。人眼睛的分辨率一般不高于0.2 mm(d 0.2mm)。理论极限:照明光源的半波长。第7页/共70页第七页,共70页。(3)放大倍率M 与分辨率d 的关系放大倍率M=像长/物长 但必须保证在一定成像质量(zhling)的前提下才有意义有效放大倍率M=d(人眼)/d(仪器)即,相对于人眼睛的分辨率,仪器所能提高分辨率的倍率 光镜M=d(人眼)/d(光镜)=0.2 mm/0.2 m=1000 电镜M=d(人眼)/d(电镜)=0.2 mm/0.2 nm=
4、100万第8页/共70页第八页,共70页。结论:突破光学显微镜分辨本领和有效放大倍数的极限,必须寻找一种(y zhn)即要波长短,又能使之聚焦成像的新型照明源。第9页/共70页第九页,共70页。3.3电子(dinz)的波动性及其波长电子的波长(bchng)与其加速电压平方根成反比,加速电压越高,电子波长(bchng)越短。第10页/共70页第十页,共70页。3.43.4电子电子(dinz(dinz)透镜透镜静电透镜静电透镜磁透镜磁透镜第11页/共70页第十一页,共70页。3.5电磁透镜的像差(1)几何像差:由于透镜磁场几何缺陷引起 的,包括(boku)球差、像散和像畸变。球差 产生机理;影响;
5、像散 第12页/共70页第十二页,共70页。(2)色差 由于(yuy)成像电子波长(或能量)变化引起电磁透镜焦距变化而产生的一种像差。可以可以(ky)(ky)用消像散用消像散器适当地进行补偿。器适当地进行补偿。像畸变像畸变第13页/共70页第十三页,共70页。3.6电磁透镜的分辨本领不同电磁波的波长对成像分辨率的限制可见光:红、橙、黄、绿、青、蓝、紫波长大约在0.78 0.39 m,因此,光镜的最佳分辨率d=0.39 m/2 0.2 m使用紫外光的荧光显微镜的分辨率可以更高一点(y din)电子束的波长极短(1 nm),考虑到其他制造技术和工艺的限制,电镜的分辨率也可以达到d=0.2 nm 以
6、上第14页/共70页第十四页,共70页。n n3.7电子束与固体(gt)样品的相互作用第15页/共70页第十五页,共70页。结论结论(jiln):n n二次电子:SEM;表面(biomin)形貌;图像分辨率好,能量低。n n背散射电子:SEM;成分形貌;图像分辨率低,能量分布广。n n透射电子:TEM。n n特征X射线:EDS,WDS;成分分析。n n俄歇电子:电子能谱;表面(biomin)成分分析。第16页/共70页第十六页,共70页。4.电子显微镜的基础知识电子显微镜的基础知识4.1电子显微镜的分类透射电子显微镜(TEM)以电子束照射样品,利用透过样品的电子束穿越电磁场透镜,形成放大影像。
7、扫描电子显微镜(SEM)以电子探针(极细的电子束)在样品上做不停的轰击扫描运动,将反射回来的“二次电子”收集成像。分析型电子显微镜 将具有波谱(WDS)、能谱(EDS)等分析功能分析仪器与透射或扫描电镜结合起来,进行形态(xngti)和成分分析的电子显微镜。第17页/共70页第十七页,共70页。n扫描隧道式电子显微镜(STM)用纳米级直径的金属探针、以极其接近的距离在样品表面上,做连续扫描运动,将隧道效应产生的微弱电流检测出来,并处理成影像信息以供显示。n原子力显微镜(AFM)针尖与样品表面轻轻接触,由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力,通过光学检测法或隧道电流检测法,可测得针尖
8、对应于扫描各点的位置(wi zhi)变化,从而可以获得样品表面形貌的信息。n环境扫描电镜(ESEM)第18页/共70页第十八页,共70页。4.24.2电子束的产生电子束的产生(chnshng)(chnshng)电子束由电子枪产生电子束由电子枪产生(chnshng)(chnshng)(灯丝)(灯丝)热电子发射:热电子发射:场发射:场发射:第19页/共70页第十九页,共70页。4.3电子束的特点具有一定的指向和速度、自身带有负电荷的电子流具有波、粒二象性受“洛仑兹”力作用,穿越(chun yu)磁场时会偏转前进方向即折射,透镜成像的基础电子束轰击生物样品,会在不同深度激发出不同信息的电子信号,只有
9、样品很薄时,才能穿透样品另一侧波长极短,不能被人眼直接观察;但可使某种胶片感光或荧光屏发光,从而转化为可供观察的信息形式波长与加速电压V 相关,电压恒定则波长也单纯(有利于成像质量和分辨率的提高),故电镜的影像无颜色可言,为单色图像第20页/共70页第二十页,共70页。4.4 图像的质量视场选择正确,图像清晰。衬度黑与白的对比程度,也称反差。层次黑与白之间的过渡级数。缩小光阑可以明显提高图像的反差。一般而言,反差与层次两者相互矛盾(modn),以适中为宜。第21页/共70页第二十一页,共70页。4.5电镜的工作条件稳压稳流减少色差、降低(jingd)各种像散、提高成像质量。供水散热给大功率元器
10、件、真空扩散泵降温。防磁、防震、防尘、恒温、恒湿等。第22页/共70页第二十二页,共70页。成像系统 1)物镜(O)紧贴在样品台下方,第一级成像元件(yunjin),精度要求极高强磁透镜,焦距很短改变物镜电流,可以调整焦点,用以聚焦以其重要性,常被谓之为电镜的“心脏”2)中间镜(I)和投影镜(P)在物镜之下,常设有中间镜、第一、第二投影镜共同配合完成放大作用,改变各级透镜的工作电流,可实现放大倍率的变换M=MOMI MP1MP2工作台面板上有对应的旋钮,供使用者调整电镜的工作放大倍率M=各级中间镜和投影镜放大倍率之积第23页/共70页第二十三页,共70页。真空系统 保持镜体真空的意义:维持灯丝
11、工作的必要条件(b yo tio jin)避免氧化、延缓老化、延长灯丝寿命保证电子束正常传输不与气体分子碰撞发生电离避免电子枪中高压放电样品处于高真空中减少污染第24页/共70页第二十四页,共70页。5.2透射电镜样品(yngpn)制备超薄切片:通常以锇酸和戊二醛固定样品,以环氧树脂包埋,以热膨胀或螺旋推进的方式推进样品切片,切片厚度2050nm,切片采用(ciyng)重金属盐染色,以增大反差第25页/共70页第二十五页,共70页。6.36.3扫描电镜的特点扫描电镜的特点扫描电镜的特点扫描电镜的特点(tdi(tdi n)n)适用适用(shyng)(shyng)于粗糙表面和断口的分析观察于粗糙表
12、面和断口的分析观察第26页/共70页第二十六页,共70页。6.4 扫描电镜的样品扫描电镜的样品(yngpn)处理处理1.要求试样可以是块状或粉末颗粒要求试样可以是块状或粉末颗粒的固体。的固体。2.镀膜的方法镀膜的方法(fngf)有两种有两种真空镀膜。真空镀膜。离子溅射镀膜。离子溅射镀膜。第27页/共70页第二十七页,共70页。7.环境环境(hunjng)扫描电镜扫描电镜(ESEM)7.1 与SEM的区别:7.2 原理 气体(qt)放大原理第28页/共70页第二十八页,共70页。7.3 7.3 应用应用(yngyng)(yngyng)含水的样品及非导体含水的样品及非导体动态观察动态观察 原位观察
13、原位观察 第29页/共70页第二十九页,共70页。9.原子力显微镜原子力显微镜(AFM)9.1原理及结构原理及结构 原子力显微镜(原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)是由)是由IBM 公司的公司的Binnig与史丹佛大学的与史丹佛大学的Quate 于于1986年所发明的,年所发明的,其目的是为了使非导电样品的表面结构也其目的是为了使非导电样品的表面结构也可以可以(ky)采用扫描探针显微镜(采用扫描探针显微镜(SPM)进)进行观测。行观测。第30页/共70页第三十页,共70页。10.电子探针电子探针X射线显微射线显微(xin wi)分析分析10.1 X10.1
14、X射线的基础知识射线的基础知识射线的基础知识射线的基础知识 X X射线的产生射线的产生射线的产生射线的产生1 1)自由电子)自由电子)自由电子)自由电子2 2)电子定向高速)电子定向高速)电子定向高速)电子定向高速(o s)(o s)运动运动运动运动3 3)电子运动途中遇到障碍物突然减速)电子运动途中遇到障碍物突然减速)电子运动途中遇到障碍物突然减速)电子运动途中遇到障碍物突然减速 X X射线谱射线谱射线谱射线谱1 1)连续)连续)连续)连续X X射线谱射线谱射线谱射线谱2 2)特征)特征)特征)特征X X射线谱射线谱射线谱射线谱第31页/共70页第三十一页,共70页。10.210.2波谱分析
15、(波谱分析(WDXWDX)应用应用(yngyng)(yngyng):成分分析:成分分析原理原理特征(tzhng)X射线的波长决定原子序数Z布拉格定律布拉格定律(dngl)(dngl):第32页/共70页第三十二页,共70页。限制(xinzh)条件:第33页/共70页第三十三页,共70页。10.3 能谱分析(能谱分析(EDX、EDS)特征(tzhng)X射线的波长决定原子序数Z波长(bchng)与光子能量的关系:第34页/共70页第三十四页,共70页。10.4波谱分析与能谱分析的比较:分辨率灵敏度检测(jin c)速度第35页/共70页第三十五页,共70页。X衍射衍射(ynsh)n n1.1x射
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