吸气剂泵.ppt

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1、吸气剂泵吸气剂泵的应用获得超高和极高真空的系统可以用NEG和离子泵、低温泵联合抽气达到指标；利用NEG只能抽除活性气体，不能抽除惰性气体的特点，用于惰性气体的纯化；广泛使用于以下领域：粒子加速器和同步辐射光源、核聚变装置、空间技术、表面科学、材料科学分析、检测和计量设备、原子钟、便携式真空仪器等。吸气泵特性：无油、无震动、无电磁场；对活性气体抽速高、抽气容量大，但不能抽除惰性气体和甲烷等气体；抽速和压强无关，和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa；抽速体积比高，抽速价格比高；激活后室温抽气无需电源；重量轻，更换NEG泵芯方便；可以根据实际要求设计泵的结构形状和抽速大小。吸气剂（gette

2、r）在烧结过程中吸收或化合烧结气氛中对最终产品有害的物质的材料。吸气机理：蒸散吸气 表面吸附 内部扩散 n n非蒸散型吸气剂(Non Evaporable Getter,NEG)泵：高真空泵，以合金充当吸气剂与活性气体结合,获得和维持系统的真空度。n n具有对活性气体抽速大、清洁无油、无活动部件、无振动、室温抽气等一系列优点,近年来已在光源、高能粒子加速器、电子器件、空间科学等领域得到广泛应用。不同气体抽气速率分析n nNEG 抽纯氢时,抽速随吸气量的增加下降很慢;由于混合气体中CO 的存在,NEG对H2 的抽速随H2 吸气量的增加下降很快。不同气体抽气速率分析n n混合气中的H2 对NEG吸

3、收CO 的行为影响极小。不同气体抽气速率分析n nNEGNEG对对CO CO 抽速大于对抽速大于对H2H2抽速。抽速。n nNEGNEG的抽速主要取决于表的抽速主要取决于表面的粘着系数及抽气通道面的粘着系数及抽气通道的流导。表面粘着系数越的流导。表面粘着系数越大大,受抽气通道的流导影响受抽气通道的流导影响也就越大。也就越大。COCO比比H2 H2 活性大活性大,CO,CO 在在NEG NEG 上的粘着系数上的粘着系数大于大于H2 H2。因此。因此,NEG,NEG对对CO CO 的抽速要大于的抽速要大于H2 H2。n nNEGNEG对混合气体的总抽速对混合气体的总抽速介于两个分抽速之间介于两个分抽速之间,而不而不是两个分抽速之和是两个分抽速之和 n n结论(1)在一个相当大的吸气量范围内,NEG 对纯H2 的抽速随H2 吸气量的增加下降很慢,混合气体中的NEG对H2 的抽速由于受CO 影响,随H2 吸气量的增加而下降明显。(2)NEG对CO 的抽速不受H2 影响。因此,在纯气或混合气中NEG对CO 抽速随CO 吸气量变化曲线基本相同。(3)NEG对混合气的总抽速不等于对各类气体的分抽速之和。Thank You for your attention 谢谢观赏谢谢观赏