Centrotherm_烧结炉中文版操作手册.doc

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1、Customer:llliesProject Number: 1_35511.28 CentrothermType:DO 11.900-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol Centrotherm DO 11.900-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol 操作指导目录表1. 操作指导备注1.1 符号与标识描述1.2 定义1.2.1 设备用户1.2.2 受训员工1.2.3 操作人员1.3 版权1.4 对于材料缺陷的依赖性2. 介绍2.1 身份认证2.2 尺寸2.3 熔炉数据2.3.1 传送带2.3.2 加热盒干燥器HTO的加热2.3.3 加热盒干燥器HTO快速烧结FF

2、的加热2.3.4 冷却2.4 过程温度2.5 媒介供应连接2.5.1 水2.5.2 空气2.5.3 氮气2.5.4 废气移除2.5.5 电气2.6 PC 设备2.7 功能描述2 安全3.1 正确使用3.2 不正确使用3.3 常规安全指导3.4 安全装置3.4.1过温保护3.4.2紧急停止开关3.4.3“(传送)带停止”按钮 “Belt stop”Pushbutton3.5 隔热标识3.6 灭火4 功能描述4.1 入口/出口4.1.1 入口门4.1.2 出口门4.2 加热4.2.1 加热载片盒干燥器HTO4.2.2 对流加热4.2.3 媒介蒙罩14.2.4 加热载片盒烧结FF4.2.5 媒介蒙罩

3、 24.2 冷却4.3.1 冷却载片盒4.3.2 腔室冷却4.4 驱动设备4.5 媒介4.5.1 电力供应4.5.2 冷却水供应4.5.3 压缩空气供应4.5.4 氮气供应（可选）4.5.4 文氏管系统4.6 操作/控制4.5.1 CANtrol 系统控制器4.6.2 动力控制4.6.3 CAN总线1和24.6.4 温度控制4.6.5 CANtrol 加工控制系统4.6.6 远程服务4.6.7 “打印机可用”信号描述4.7 废气移除4.7.1 废气冷凝器及移除5 运输5.2 特殊安全措施5.3 包装类型5.4运输5.5入库审查5.5.1交货范围5.5.2运输损伤5.6储存措施6组装6.1准备安

4、装场所6.2设备检查6.3安装7服役及退役 /投入及退出生产7.1初始启动7.2投入生产7.2.1设备PC7.2.2手动操作面板7.2.3动力加载7.2.4操作模式7.2.4.1生产7.2.4.2周末操作7.3退出生产7.4处置8 操作8.1 状态屏幕8.2 导航条8.2.1 用户登入和登出8.2.2 保存配方8.2.3 读取配方8.2.4 打印8.3 标签8.3.1加热8.3.2 气体供应8.3.3 冷却系统8.3.4 设置8.3.5 警报8.3.6 测量8.3.7 选项8.3.7.1 炉管数据8.3.7.2数据根目录8.3.7.3 配置8.4 CT Visual 流程表8.4.1 CT V

5、isual 流程表8.4.2 用户登入8.4.3 用户登出8.4.4 改变数值8.4.5 显示数值的循环更新8.4.6 数据登入8.4.7 警报登入8.4.8 更新警报表格8.4.9 开始实时测量8.4.10 读取配方8.4.11 保存配方8.4.12 读取配置8.4.13 时间相关的配方读取8.4.14 退出CT Visual8.4.15 CT Visual系统的目录结构9 维护9.1 故障诊断9.1.1 信号灯9.1.2 单独干扰9.1.3 ID 10-74加热故障讯息9.1.3.1 过温控制器FF/HTO 9.1.3.2 过温监控器FF/HTO 9.1.3.3 故障温度测量 9.1.3.

6、4 故障温度测量 9.1.3.5 温度回路HTO区1-4，FF区1-69.1.3.6 温度容许值值FF/HTO9.1.4 ID 100-104加热故障讯息9.1.4.1 按下传送带停滞9.1.4.2 变频器带驱动9.1.4.3 带停滞9.1.4.4 带容许值9.1.4.5 按下外部带停滞9.1.5 ID 200-255气体供应故障讯息9.1.5.1 加工用空气压力失误9.1.5.2 加工用氮气压力失误9.1.5.3 气动带调整器空气压力失误9.1.5.4 气动带调整器空气压力失误9.1.5.5 Y321-Y338，Y421，Y422气流9.1.5.6 热空气/废气HTO容许值9.1.5.7 热

7、空气/废气HTO安全等级9.1.5.8 微分压力排气废气冷凝器容许值9.1.5.9 微分压力排气废气冷凝器安全等级9.1.6 ID 300-322冷却故障讯息9.1.6.1 冷却水容器冷却器HTO/FF9.1.6.2 冷却水容器冷却器HTO/FF9.1.6.3 冷却水媒介蒙罩分9.1.6.4 冷却水废气冷凝器顶部/底部9.1.6.5 超过温度/流量冷却水回路1分钟9.1.6.6 停滞控制冷却风扇冷却载片盒低部，上部1/29.1.7 ID 400-402UPS/主供应故障讯息9.1.7.1 主供应相位遗失9.1.7.2 动力故障超过10秒9.1.7.3 Surge（振荡, 滑脱）保护L1-L3/

8、N触发9.1.8 ID 500-505气动故障讯息9.1.8.1加热载片盒HTO13未关闭9.1.8.2 冷却载片盒上部1/2未关闭9.1.8.3 缩短传送带9.1.9 ID 600-662Miscellaneous故障/警报讯息9.1.9.1 浓缩滤毒罐全等级1/2 9.1.9.2 带驱动关闭9.1.9.3 加热干燥器HTO关闭9.1.9.4 加热FFHTO关闭9.1.9.5 热空气风扇关闭9.1.9.6 加热Heating载片盒FF/HTO9.1.9.7 冷却加热载片盒FF/HTO9.1.9.8 冷却加热载片盒FF/HTO9.1.9.9 带调整器处于位置“cleaning”超声清洁器（U-

9、Cleaner）9.1.9.10 运转超声清洁器9.1.9.11 运转超声清洁器（U-Cleaner）后面的带驱动9.1.10 ID 700-703带清洁9.1.10.1 低于超声清洁器最低水位9.1.11 ID 801-902故障讯息SSR单独警报9.1.11.1 加热回路控制V1.V599.1.11.2 加热回路控制V101.V1029 2 所选组件的更换9.2.1 加热9.2.1.1 加热器更换9.2.1.2 对流加热过滤器9.2.2 石英轨迹的石英棒9.2.2.1 更换加热载片盒干燥器HTO石英棒9.2.2.2 更换加热载片盒快速烧结FF石英棒9.2.2.3 更换冷却载片盒石英棒9.2

10、.3 冷却9.2.3.1 更换冷却载片盒的冷去风扇9.2.3.2 更换下部冷却载片盒的冷去风扇9.2.4 带驱动单元9.2.4.1 更换传送带9.2.4.2 更换齿轮马达9.2.4.3 更换离合器9.2.4.4 更换磁滞离合器9.2.5 媒介9.2.5.1 冷却水过滤器的更换9.2.5.2 对流加热的流速表监控器的更换9.2.5.3 废气冷凝器的流速表监控器的更换9.2.5.4 气体加热器9.2.5.5 文氏管喷嘴的更换9.2.6 媒介9.2.6.1 TMM5模块的更换9.2.6.2 单一温度控制器的更换9.2.6.3 CAN I/O模块的更换9.2.6.4 RDIO8/24模块的更换9.2.

11、6.5 固态继电器的更换9.2.6.6 热电偶的更换9.2.6.7 变频器的更换9.2.6.8 工业PC（温度控制器）的更换9.2.6.9 PLC CPU 模块（CEDIO）的更换9.2.6.10 PLC 扩展模块的更换9.2.6.11 BEBRO DC马达控制器的更换9.2.6.12 FANCON风扇控制器的更换9.2.7 废气冷凝器滤毒罐的更换9.3 火灾后措施10 预防性维护101 安全审查102 炉管日志103 设备装配板104 预防性维护间隔104 .1日常预防性维护程序10.4.1.1 检查设置显示10.4.1.2 检查”Alarm”标签上讯息104 .2日常预防性维护程序10.4

12、.2.1 检查信号灯功能10.4.2.2 检查传送带10.4.2.3 检查滤毒罐的填充等级104 .3月预防性维护程序10.4.3.1 清洁传送带10.4.3.2 检查传送带长度10.4.3.3 测量温度特性10.4.3.4 清洁冷却水过滤器10.4.3.5 清洁冷却载片盒的冷却风扇10.4.3.6 清洁冷干燥器的空气过滤器10.4.3.7 检查传送带导引（Guide）10.4.3.8 执行数据备份10.4.4.4 每季预防性维护程序10.4.4.1 检查单一温度控制器10.4.4.2 清洁文氏管喷嘴10.4.5 半年预防性维护程序10.4.5.1 清洁冷却载片盒10.4.5.2 清洁加热载片

13、盒干燥器10.4.5.3 重新调整加热载片盒干燥器HTO的加热器10.4.5.4 检查对流加热的流速检控表10.4.5.5 检查*10.4.6 每年预防性维护程序10.4.6.1 清洁加热载片盒快速烧结FF10.4.7 每4年的预防性维护程序11 零部件和服务12 附录1. 操作指导备注此操作指导包含您进行运输、安装、运行、操作、服务以及设备修理所需信息。此操作指导为设备技术手册的一部分。 请充分利用此操作指导来熟悉设备。此操作指导将帮助您避免出现失误。您的个人安全和设备的安全操作取决于您所依照操作指导进行的工作。请在设备附近常备此操作指导。 此操作指导为受过必要培训和具有必要资质的人员进行安

14、装、操作、服务和设备维修所撰写。 下列规则应用于此操作指导； 文本中使用简写。这些简写在每一章第一次使用时被加以说明。用来描述一个术语的简写包含在术语后的圆括号里。 示例：操作指导(OI) 每一章的页码按序排列。 表格和图表按序排列 文本中的交叉索引将指导您以更完备或详细的信息。第三章包含在设备操作中可能发生的潜在危险的常规标识。另外，可能危急人身或设备安全的安全方面特殊标识将优于操作指导而给出。此操作指导并非为服务协议的一部分。在由于技术进步而导致的设备修改之后，升级相应的文件资料将成为您的职责。1.1 符号与标识描述 此符号用来指示危险、警告或防范。危险性被划分为三个级别; 危险Dange

15、r： 瞬时危险有可能导致严重人身伤亡。 警告Warning：潜在危险环境有可能导致严重的潜在人身伤亡。 注意Attention：潜在危险环境有可能导致轻微人身伤害。同时指示相关于财产损伤的警告。 Warning： Dangerous voltage 警告：危险电压 此符号在有可能遭受电击危险时使用。设备上所有的电性操作只能由受训员工进行。确保满足所有的国家和本地安全要求。 由于有害或刺激性气体导致的危险 此符号用于设备中存在接触性有毒材料而导致的危险。 Attention! 注意! 此符号用来指示当关闭或移动固定器件时可能导致的挤压手危险。 Attention, hot surfaces! 注

16、意，灼热表面！ 此符号用来标注由于灼热表面而导致的烧伤危险。 Attention! 注意! 本设备只能由受训员工通过适当工具进行运输。由于基底区域和高度的比例设备可能倾覆。穿戴安全手套 穿戴具有多道过滤的呼吸道设备 穿戴防护服 此符号印制于包含关键功能的特殊信息或特殊应用标识之后，帮助您理解设备的所有功能。1.2 定义1.2.1设备用户设备用户拥有或者租借此设备。设备用户对设备的安全操作负责并使用设备作为一种收益来源。设备用户按其目的对设备操作负责。设备用户同时也对雇佣人员进行设备搭建、运行、操作和维护负责。1.2.2 受训员工受训员工在专业培训之后可以进行各自工作并辨识出可能涉及的危险。另外

17、，受训员工具有所有的可应用规则、事故防护条规和所有特殊设备条件的知识。设备用户对其所需培训负责。设备用户对受训员工的资格认证负责。 受训员工安装和维护设备。1.2.3操作人员 操作人员接受关于设备不正确操作而可能导致的潜在危险的在职指导。操作人员熟悉所有必需的安全装置和措施、应用条规、事故防护指导和特殊设备条件。设备用户对其所需培训负责。设备用户对操作人员的资格认证负责。1.3 版权 此操作指导为设备用户、受训员工和操作人员所撰写。Centrotherm保留对这些操作指导的版权。基于此点，您不可以在没有Centrotherm事先书面允诺的情况下全部或部分复制、拷贝、分配或者出于竞争目的而使用这

18、些OI。保留所有版权生产商地址;Centrotherm GmbH+Co.KGJohannes-Schmid-Str.89143 Blaubeuren,GermanyTel:+49(0)73 44/91 86-0Fax:+49(0)73 44/91 86-388eMail:docentrotherm.de1.4 对于材料缺陷的依赖性 此操作指导是基于所交付设备的技术和产品特殊参数基础上。然而，生产商保留对操作指导添加更完备信息的权利。 生产商只接受个体契约协议相关的担保声明。 生产商不会接受基于以下之一或若干原因而导致的人身伤害或财产损失的担保和责任。 设备没有被正确使用。 设备没有按照操作指导

19、操作。 设备在安全装置移除后使用。 设备在没有Centrotherm事先允诺之下结构和/或功能上被修改。 设备安装有未被Centrotherm提供和认可的备件。 设备被不正确修理。 设备被Centrotherm没有书面授权的受训员工修理。 设备由于“不可抗因素”导致的损伤。2 介绍进一步的技术数据可以在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。2.1 身份认证用户： 生产商：Centrotherm GmbH+Co.KGJohannes-Schmid-Str.89143 Blaubeuren,GermanyTel:+49(0)73 44/91 86-0Fax:+49(0)73

20、44/91 86-388eMail:docentrotherm.de指定：传送炉 类型：DO 11.900-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol 组建于：2.2 尺寸技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。2.3 炉管数据技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。2.3.1 传送带炉管技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1及在备件列表，见12.7备件和耗材，12-2。材料; NiCr V网孔,: 宽螺旋线 连接带2.3.2 加热载片盒干燥器HTO的加热加热长度： 3,230mm热区数量：

21、 3对流加热: 12.3.3 加热载片盒快速烧结FF的加热加热长度： 2,150mm热区数量： 62.3.4 冷却冷却线长度：3,500mm冷却盒数量： 12.4 加工温度校准设置HTO： 最高至530最大过程温度： 300校准设置FF： 最高至1050最大温度1区至4区： 700最大温度5区至6区： 10502.5媒介供应连接2.5.1水 进一步的技术数据可以在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1 冷却水入口： 大约2025 最小65升/分钟 无悬浮物质和粒子 最大8bar，绝对量 冷却水出口： 最小比入口小2bar名称要求新水温度冷却水温度15-2525PH值6-8水

22、硬度（含碱土量）10-130dH resp. 100-130 mg/l CaO机械污染100mg/l最大粒子尺寸50m2.5.2空气 进一步的技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。压缩空气 干燥，纯净 最小6bar 最大8bar 消耗量 最大 670slm2.5.3氮气 进一步的技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。 压缩氮气 干燥，纯净 最小6bar 最大8bar 消耗量 最大60slm2.5.4废气移除 进一步的技术数据可在设计布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。2.5.5电气 进一步的技术数据可在设计

23、布局图中找到，见12.2章图画、规格、电路图，12-1。2.6 PC 设备处理器 INTEL Pentium 4 处理器 2.6 GHz内存 512MB硬盘 40GB E-IDE网卡 INTEL pro/100s远程控制 Acer Modem 56 Surf PCI显示器 15”TFT 显示操作系统 微软Windows 2000可视化操作 CT-Visual-Software输入单位 trackball Keyboard US2.7 功能描述 此设备功用为干燥硅片上印刷浆料，燃尽浆料的有机组分，并烧结电极。 此程序在硅片的双面同时进行。 此过程划分为三个步骤： 干燥最后应用的浆料， 燃尽有机粘

24、合剂， 烧结并将电极渗透入硅片表面。干燥硅片电极浆料将释放大量溶剂。硅片和应用浆料必须保持在同样温度以得到最优化的质量。达到这一点需要以下的帮助： 加热辐射器， 优化后的温度控制系统， 高流速。媒介蒙罩1将加热载片盒快速烧结FF与加热载片盒干燥器HTO相分离。防止溶剂气体蒸发至加热载片盒快速烧结FF。这些溶剂气体将通过废气冷凝器移除并处置。硅片暴露于加热载片盒快速烧结FF中的高强度短波红外辐射resp.可见光，以烧入硅片电极。媒介蒙罩2将加热载片盒快速烧结FF的炉管气氛与冷却载片盒相分离。硅片和传送带在冷却载片盒中冷却。3 安全3.1 正确使用 此设备功用为干燥硅片上印刷浆料，燃尽浆料的有机组

25、分，并烧结电极。另外，留意观察如下的操作指导： 所有此操作指导中的标识， 可接受的技术规则， 所有相关律法、标准和条规。3.2 不正确使用任何以上没有述及的使用被视为不正确使用。生产商不接受因不正确使用而导致的人身伤害责任。3.3 常规安全指导设备在符合所有相关法律条规和所有安全条规的条件下组建。代表技术发展水平并符合欧共体一致要求。然而， 当设备在不恰当操作或不正确使用时可能危及人身和财产安全。用户需要确保任何设备工作人员已经阅读并理解此操作指导的第三章。留意观察以下安全指导以避免人身和/或财产的损害。 用户需要为操作者提供完整必要的防护设备。 设备用户必须进行相应的指导和审查以确保设备的操

26、作工作站经常保持洁净。另外，本地安全规则和事故防护条规必须在操作设备时加以留意。警告：危险电压！防护门和盒盖机架电压或者热部，以及用人力移动的部件只能由受训员工开启。确保留意所有本国和本地安全需求。注意：灼热表面！加热载片盒和热偏转板的表面温度可能超过60。移除金属盖片可能导致烧伤！当工作于灼热表面时穿戴安全手套。3.4 安全装置所有的安全装置例如紧急停止开关和传送带停止按钮必须在任何时刻都出于良好工作条件。如果任一装置具有缺陷，设备均不可以进行操作。如果在操作中某安全装置失灵，设备自动切换至一安全、非激活状态。设备只有在故障功能已经被受训并授权人员解除后才可以进行操作。设备用户对服从此条规负

27、责。设备安全装置不可以任何方式被无效操作或放弃。此适用于所有设备和组件以及软件应用逻辑电路。每一安全装置需要经受训人员的定期安全功能检查。3.4.1过温保护一单一温度控制器（STC）被安装以做为任一热区的过温保护。STC连接至NiCr/Ni-或者PtRh/Pt热偶。如果设置的过高温度被检测到，STC断开热开关并触发一警报。驱动单位继续操作。3.4.2紧急停止开关图1.主电源开关主电源开关同时也做为紧急停止开关。主电源开关的确切位置详细述及于设计布局图，见12.2章图画、规格、电路图，12-13.4.3“(传送)带停止”按钮 “Belt stop”Pushbutton图2.“(传送)带停止”按钮

28、入口图2中细目描述1 “(传送)带停止”按钮 设备安装有两个“(传送)带停止”按钮，在入口和出口的两面。当启动时，这些“(传送)带停止”按钮将立刻停止驱动系统。“(传送)带停止”按钮的确切位置详细述及于设计布局图，见12.2章图画、规格、电路图，12-1 如何重启驱动系统：1.旋转以解锁“(传送)带停止”按钮。2.按用户界面上的”Disturbance receipt”按钮。3.按用户界面上的”Reset”按钮。进一步信息参考8.3.1章加热,8-73.5 隔热标识 产品的技术生产过程需要隔热板在900至1250操作温度之间安全发挥功用。这使的隔热板保持机械强度和弹性十分重要。设备要求隔热板在

29、加热和冷却阶段对湿气和凝结液具有很大的抗性。隔热板由铝硅酸玻璃纤维制成。此种纤维由EC guideline97/69/EG dated 05.12.1997.划分为致癌物质（2类），参考见12.2章图画、规格、电路图，12-1的安全数据页“Kerform, Kerheat,Kerasetter”。由于隔热是完全密封，没有粉尘粒子能逃逸进附近工作空间，故在正常熔炉操作中安全防范不是必需的。然而，当在隔热板上进行维护和修理工作时，纤维和纤维粉尘粒子会不可避免的逃逸进入附近工作空间。当工作于隔热板时留意下列安全指导。有害及刺激性粉尘粒子的危险警告！工作于加热载片盒快速烧结FF的隔热板上可能导致有毒粉

30、尘粒子的释放！工作于加热载片盒时时刻留意“危险材料技术规则”TRGS 521（德国有效），其需要移除隔热板。维护工作只能由专门、授权的、受训的员工进行。在维护工作进行时将工作区域隔离，并确保未授权人员无权进入工作区域！在加热载片盒上的工作区域设置外部废气系统。当工作于隔热板上时穿戴安全手套！当工作于隔热板上保持穿戴FFP2过滤罩！我们建议穿戴FFP2过滤罩作为高粉尘聚集的防护。当工作于隔热板上时穿戴防护服。3.6 灭火 存在爆炸、燃烧、腐蚀和中毒的危险！ 在灭火时注意尽快通知消防局。所有下述建议只作为在火灾发生时的应对意见。 腐蚀性、毒性和jet-flame形成气体可能在火灾情况下释放。在灭火

31、前使用安全服和呼吸器。 在气体燃火事故中，由于可燃性气体在灭火后的放出存在爆炸隐患，灭火前应断开气体供应。 如果电流负载电缆的绝缘性遭到破坏，设备中存在电击危险！灭火前关闭设备的主电源开关。使用CO2灭火器在狭小和不易通风的房间有可能造成窒息！确保在狭小房间使用CO2灭火器时足够通风。从下开始扑灭火源，首先主火源，接着可能的进一步火源。当灭火时留意所有的法律和公司条规。在扑灭有电组件时使用合适的灭火器，保持至少1米的安全距离！灭火物质灭火器 参照DIN 14 406,Type C2-22的灭火器灭火物质 对有电系统采用二氧化碳（CO2）或者其他灭火物质4 功能描述 此设备功用为干燥硅片上印刷浆

32、料，燃尽浆料的有机组分，并烧结电极。图3.设备总览图3中细目描述1 入口/出口 5文氏管系统（废气）2 媒介监控（水） 6 加热3 媒介监控（气） 7 冷却4 操作/控制 8 驱动4.1 入口/出口4.1.1 入口门 入口门位于炉子入口处。空气从处理通道上方的精细喷嘴吹出。它将炉管气氛与周边气氛隔离开。入口门完全由不锈钢制成并直接焊接至加热载片盒干燥器HTO。图4. 入口门4.1.2 出口门 出口门位于炉子出口处。空气从处理通道上方的精细喷嘴吹出。它将炉管气氛与周边气氛隔离开。出口门完全由不锈钢制成并直接焊接至加冷却载片盒。4.2 加热4.2.1 加热载片盒干燥器HTO图.5 加热载片盒干燥器

33、HTO图5中细目描述1 入口门 3 对流加热2 加热载片盒干燥HTO 加热载片盒包括隔热载片盒外套，加热器，加工气体注入以及加工气体废气抽气机箱。棱纹管辐射器Ribbed tube radiators设置在传送带的上下两边作为加热器。对流加热内建于加热载片盒之上。描述可以在4.2.2章对流加热中找到，4-3。加热载片盒划分为3个单独调节的热区，对流加热代表第四热区。对于温度测量，两个K型热电偶（NiCr/Ni）安置于每个热区。它们直接固定在加热器/辐射器上。其一用来温控，另一个用来过温保护。还有一个此种类型的热电偶安置于每一区用来在设备PC上指示正确温度。此热电偶安置于硅片通路附近。预热加工气

34、体的入口安置于初始热区。加工气体从顶部注入沿炉管传输方向流经加工通道。加工气体吸收从浆料溢出的溶剂，并吹扫至最后热区的末端。为避免热量散发进生产室，整个加热载片盒是隔热的并且两边被外覆以铝制水槽。这些铝制水槽同时也用作空气阻障。攀升的空气，在炉管室内被加热，经过容器冷却器。容器冷却器安置于加热载片盒上部，更多信息详见4.3.2章腔室冷却，4-7。为做审查和清洁工作，三个元件上层部分开口至空气汽缸。人工操作的气动阀安置在冷却载片盒前部设备的尾面。4.2.2 对流加热图.6.对流加热图6.中细目描述1 入口门 5 空气加热器2 加热载片盒干燥器HTO 6 热电偶3 空气汽缸 7 中间管4 热空气风

35、扇 8 通风口过滤盒 对流加热是附加装配在加热载片盒HTP上。它流入过滤后的热加工空气至加热载片盒。过滤后的周边空气通过热空气扇流入一温控空气加热器至加热载片盒。加工空气的数量由热空气扇旋转速度设定。流量由流量计测量并指示于设备PC的“Gas supply”标签。 热空气风扇连续变动的旋转速度显示于“Heating”标签，见8.3.1章加热，8-7。被输入以10至100的百分数。4.2.3 媒介蒙罩1内建媒介蒙罩1连接加热载片盒HTO和加热载片盒快速烧结FF。用来分离炉管气氛。文氏管喷嘴推移前进废气流。图.7媒介蒙罩14.2.4 加热载片盒烧结FF图.8 加热载片盒快速烧结FF图8中细目描述

36、1 加工通道 6 热区5 2 热区 1 7 热区 6 3 热区2 8 加工气体废气抽气盒 4 热区3 9 加工气体注入 5 热区 4 加热载片盒包括加热器，加工气体注入以及加工气体废气抽气盒。它被外覆以高热抗的隔热板。 短波红外辐射器装配于传送带的上下方作为加热器。补充一灯冷却器至热区5和热区6的加热器以延长服务寿命。它们内建于石英管。空间由加工气体吹扫。 文氏管喷嘴推移前进废气流。加热载片盒被划分为六个单独调节的热区。对于温度测量，每个热区使用两个热电偶。其一用来温控，另一个用来过温保护。1至4热区使用K型热电偶（NiCr/Ni），热区5和6使用S型热电偶(Pt/PtRh)。在热区5和热区6

37、还附加有一个同类的热电偶（每区一个）。它们是后装配于传送带的约20mm上方。用来测量加工通道的实际温度。测量值显示于设备PC的“Heating”标签。在热区1和3，加工气体通过隔热板的顶部和底部钻孔注入进加工腔室。在热区5和6，加工气体通过内建灯冷却器注入。废气抽气盒装配于热区3和4的顶部和底部。浆料快速燃出的加工气体和材料通过这些盒体移出加工腔室。为避免热量散发进生产腔室，整个加热载片盒是隔热的并且两边被外覆以铝制水槽。这些铝制水槽是双面的。攀升的空气，在炉管室内被加热，经过容器冷却器。容器冷却器安置于加热载片盒上部，更多信息详见4.3.2章腔室冷却，4-7。加热载片盒盖和上层隔热板层能被方

38、便的移除以做审查和清洁。4.2.5 媒介蒙罩 2 媒介蒙罩2功用为： 通过自由辐射迅速冷却硅片和传送带。 分离炉管气氛加工气体从顶部开放喷嘴脱出,被两个顶部开放喷嘴的左右遮罩shrouds收集并排放至顶部。文氏管喷嘴推移前进废气流。媒介蒙罩2使用高热抗钢材制成并被水冷管包裹。图.9 媒介蒙罩2 4.3 冷却4.3.1 冷却载片盒 冷却载片盒是一种空气循环载片盒。载水棱纹辐射器安装在传送带的上部和下部，用来冷却硅片和传送带。可变速冷却风扇安置于上棱纹冷却器之上和下冷却器之下。轴向风扇用作冷却风扇。上冷却风扇将周边空气吹入棱纹冷却器至硅片和传送带。下冷却风扇吸入从硅片底部至传送带的周边空气。图.10 冷却载片盒图10中的细目描述1 载水棱纹冷却器 4 冷却载片盒上部22 冷却载片盒上部1 5 冷却风扇3 冷却载片盒下部冷却风扇由激发驱动而接通。当驱动被断开，风扇也同时被断开并再转5分钟。上下冷却风扇的连续可变转速是通过电位计（刻度010）设定。电位计设定“0”对应于固定最小转速。电位计安置于设备PC下的装备板。关于其确切