半导体刻蚀设备项目生产制造质量管理方案(范文).docx
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1、半导体刻蚀设备项目半导体刻蚀设备项目生产制造质量管理方案生产制造质量管理方案xxxxxx 投资管理公司投资管理公司目录目录一、公司概况.3公司合并资产负债表主要数据.3公司合并利润表主要数据.3二、项目基本情况.4三、产业环境分析.6四、半导体刻蚀设备:多频共振驱动刻蚀市场,国产替代未来可期.7五、必要性分析.9六、生产制造质量管理内容.10七、生产制造的质量职能.15八、供应商的关系管理.17九、供应商的质量控制.21十、投资计划方案.23建设投资估算表.25建设期利息估算表.26流动资金估算表.27总投资及构成一览表.29项目投资计划与资金筹措一览表.30十一、进度计划方案.31项目实施进
2、度计划一览表.31一、公司概况公司概况(一)公司基本信息1、公司名称:xxx 投资管理公司2、法定代表人:宋 xx3、注册资本:950 万元4、统一社会信用代码:xxxxxxxxxxxxx5、登记机关:xxx 市场监督管理局6、成立日期:2015-9-217、营业期限:2015-9-21 至无固定期限8、注册地址:xx 市 xx 区 xx(二)公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据公司合并资产负债表主要数据项目项目20202020 年年 1212 月月20192019 年年 1212 月月20182018 年年 1212 月月资产总额6654.895323.914991.17负债总额227
3、7.901822.321708.43股东权益合计4376.993501.593282.74公司合并利润表主要数据公司合并利润表主要数据项目项目20202020 年度年度20192019 年度年度20182018 年度年度营业收入22489.9117991.9316867.43营业利润5217.764174.213913.32利润总额4514.743611.793386.05净利润3386.052641.122437.96归属于母公司所有者的净利润3386.052641.122437.96二、项目基本情况项目基本情况(一)项目投资人xxx 投资管理公司(二)建设地点本期项目选址位于 xx(以选址
4、意见书为准)。(三)项目选址本期项目选址位于 xx(以选址意见书为准),占地面积约 42.00亩。(四)项目实施进度本期项目建设期限规划 12 个月。(五)投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算,项目总投资 16351.22 万元,其中:建设投资 12884.05万元,占项目总投资的 78.80%;建设期利息 140.52 万元,占项目总投资的 0.86%;流动资金 3326.65 万元,占项目总投资的 20.34%。(六)资金筹措项目总投资 16351.22 万元,根据资金筹措方案,xxx 投资管理公司计划自筹资金(资本金)10615.65 万元。根据谨慎
5、财务测算,本期工程项目申请银行借款总额 5735.57 万元。(七)经济评价1、项目达产年预期营业收入(SP):30700.00 万元。2、年综合总成本费用(TC):25438.55 万元。3、项目达产年净利润(NP):3840.59 万元。4、财务内部收益率(FIRR):15.99%。5、全部投资回收期(Pt):6.27 年(含建设期 12 个月)。6、达产年盈亏平衡点(BEP):13799.02 万元(产值)。(八)主要经济技术指标主要经济指标一览表主要经济指标一览表序号序号项目项目单位单位指标指标备注备注1占地面积28000.00约 42.00 亩1.1总建筑面积40535.47容积率
6、1.451.2基底面积16520.00建筑系数 59.00%1.3投资强度万元/亩284.712总投资万元16351.222.1建设投资万元12884.052.1.1工程费用万元10784.712.1.2工程建设其他费用万元1707.222.1.3预备费万元392.122.2建设期利息万元140.522.3流动资金万元3326.653资金筹措万元16351.223.1自筹资金万元10615.653.2银行贷款万元5735.574营业收入万元30700.00正常运营年份5总成本费用万元25438.556利润总额万元5120.797净利润万元3840.598所得税万元1280.209增值税万元11
7、72.2010税金及附加万元140.6611纳税总额万元2593.0612工业增加值万元8839.2513盈亏平衡点万元13799.02产值14回收期年6.27含建设期 12 个月15财务内部收益率15.99%所得税后16财务净现值万元2806.36所得税后三、产业环境分析产业环境分析天津,简称“津”,别称津沽、津门,是中华人民共和国省级行政区、直辖市、国家中心城市、超大城市,国务院批复确定的环渤海地区的经济中心。截至 2018 年,全市下辖 16 个区,总面积 11966.45平方千米,2019 年末,常住人口 1561.83 万人,城镇人口 1303.82 万人,城镇化率 83.48%。天
8、津地处中国北部、海河下游、东临渤海,是中国北方最大的港口城市,国家物流枢纽,北方国际航运核心区,首批沿海开放城市,是中蒙俄经济走廊主要节点、海上丝绸之路的战略支点、“一带一路”交汇点、亚欧大陆桥最近的东部起点,位于海河五大支流南运河、子牙河、大清河、永定河、北运河的汇合处和入海口,素有“九河下梢”“河海要冲”之称。天津是自古因漕运而兴起,唐朝中叶以后成为南方粮、绸北运的水陆码头;金朝在直沽设“直沽寨”;元朝设“海津镇”,是军事重镇和漕粮转运中心;明永乐二年(1404 年)正式筑城,是中国古代唯一有确切建城时间记录的城市;清咸丰十年(1860 年)天津被辟为通商口岸后,西方列强纷纷在此设立租界,
9、天津成为中国北方开放的前沿和近代中国洋务运动的基地。历经六百多年,造就了天津中西合璧、古今兼容的独特城市风貌。四、半导体刻蚀设备:多频共振驱动刻蚀市场,国产替代未来可期半导体刻蚀设备:多频共振驱动刻蚀市场,国产替代未来可期刻蚀是用化学或物理方法对衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的过程。目前干法刻蚀在半导体刻蚀中占据绝对主流地位,市场占比超过 90%。同时,等离子刻蚀是晶圆制造中使用的主要刻蚀方法,电容性等离子刻蚀(CCP)和电感性等离子刻蚀(ICP)是两种常用的等离子刻蚀方法。随着当前集成电路技术的不断发展,构成芯片的核心器件尺寸持续缩小,芯片的加工制造变得越来越精细。原子层刻蚀(A
10、LE)能够精确控制刻蚀深度,成为未来技术升级趋势。刻蚀设备作为半导体设备的中坚力量,有望率先完成国产替代。半导体设备主要应用于半导体制造和封测流程,是半导体行业的基础和核心。随着半导体制程的微缩和结构的复杂化,半导体刻蚀设备的种类和技术难度递增。从国内市场来看,刻蚀机尤其是介质刻蚀机,是我国最具优势的半导体设备领域,也是国产替代占比最高的重要半导体设备之一。我国目前在刻蚀设备商代表公司为中微公司、北方华创等。终端需求催化刻蚀设备用量,市场规模 2022 年有望突破 1100 亿美元。随着 5G、大数据、物联网、人工智能等新兴产业的发展,半导体设备有望迎来新一轮发展机遇,从而推动全球刻蚀设备的需
11、求。SEMI 预计全球半导体设备市场将持续保持增长,在 2021 年增长 45%至1030 亿美元,2022 年预计将创下 1140 亿美元的新高。先进技术增加刻蚀步骤和刻蚀难度,刻蚀设备演绎量价齐升。对于逻辑电路来说,制程微缩和技术迭代增加了刻蚀的步骤,也提高了刻蚀的难度;对于 3DNAND 来说,更高的堆叠层数需要用到多步刻蚀,并且要保证刻蚀的各向异性和尽量小的偏差;对于 DRAM 而言,电路图形密度增大,多重图案化重复次数增加,极大地增加了刻蚀工艺的设备需求。先进制程和复杂结构增加了刻蚀步骤和难度,助推半导体刻蚀设备价量齐升。刻蚀设备领域长期由海外龙头垄断,国内刻蚀企业部分技术已达国际一
12、流水平。根据 Gartner 统计,全球刻蚀企业前三大分别是泛林半导体、东京电子、应用材料,全球市占率合计 91%。国内刻蚀设备生产厂商在全球刻蚀设备市场的市占率总计不足 2%。然而,近些年来国内刻蚀厂商依托资本和政策扶持一路奋起直追,成效显著。例如中微公司的介质刻蚀已经进入台积电 7nm/5nm 产线,是唯一一家进入台积电产线的国产刻蚀设备生产商。从晶圆厂招投标情况来看,国内晶圆厂新增产能建设不断加码,中微公司和北方华创等国内半导体刻蚀设备厂家份额进一步提升。随着国内刻蚀龙头紧跟先进制程发展,加大研发投入,积极并购与整合,整体国产刻蚀设备有望加速完成国产替代。五、必要性分析必要性分析1、现有
13、产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业,公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度,产品销售形势良好,产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展,公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段,不断挖掘产能潜力,但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设,公司将有效克服产能不足对公司发展的制约,为公司把握市场机遇奠定基础。2、公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级,公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动,不断研发新产品,提升产品精密化程度,将产品质量水
14、平提升到同类产品的领先水准,提高生产的灵活性和适应性,契合关键零部件国产化的需求,才能在与国外企业的竞争中获得优势,保持公司在领域的国内领先地位。六、生产制造质量管理内容生产制造质量管理内容生产制造过程的质量管理,一般分为两个阶段,生产技术准备阶段和生产制造阶段。1、生产技术准备阶段生产技术准备阶段是指企业为了保证日常生产的正常进行,为顺利实现生产作业计划所从事的各项准备工作。(1)工艺准备。工艺是生产者利用生产工具对各种原材料、半成品进行增值加工或处理。最终使之成为制成品的方法与过程。工艺准备是根据产品设计要求和企业生产规模,把材料、设备、工装、能源,测量技术、操作人员、专业技术与生产设施等
15、资源系统、合理地组织起来,进行过程策划,规定工艺方法和程序,分析影响质量的因素,采取有效措施,确保生产,正常进行,使产品质量稳定地符合设计要求和控制标准的全部活动。工艺准备是生产技术准备工作的核心,是直接影响产品质量的因素。工艺准备的技术文件包括:工艺规程、产品图、工艺流程图、工艺卡片、工装图;以及检验指导书、试验规程、校检规程、操作规程、各类作业指导书等。(2)设备、工装卡具、计量器具的配备和管理。设备通常是一批中大型机具器材的集合体,皆无法拿在手上操作而必须有固定的台座,使用电源之类动力运作而非人力。如自动化设备,自动化是指机器或装置在无人干预的情况下按规定的程序或指令自动进行操作或控制的
16、过程。自动化设备即实现这一过程的设备。包装设备如啤酒行业,从啤酒的罐装机,到自动压盖机,到贴标纸机,到装箱机,都属于包装设备。简单来说,就是用来包装产品的机器。设备的管理包括设备检修与校准。在生产与检验中使用的设备与工具,必须得到适当的维修与校准,失修的机器可能生产出不合格的产品,而未得到校正的检验设备提供的是不正确的系统信息。这些都导致了产品的质量问题。工装卡具包括各种外购的标准工具和自制的非标准工具等,例如各种刃具、量具、模具、夹具等。对于量具,企业应有专门的部门负责量具的验收、保管、发放、鉴定、校正和修理工作。对于模具和夹具,由仓库统一管理,要建立工具卡片。对于大量消耗的刃具,要采取集中
17、制造加工的办法,以保证刃具的质量。贵重的、使用时间长的复杂刃具,更要重视采取上述工具管理办法,以保证其质量。计量器具是指能用以直接或间接测出被测对象量值的装置、仪器仪表、量具和用于统一量值的标准物质。计量器具要进行调整、校准及搬运、维护、储存的防护和失准时的处理等方面的管理工作。(3)原材料、零部件的供给。原材料、零部件的供给是指原材料、零部件的采购与接收。质量合格的原材料、零部件的采购及保证及时交付,对企业来说是相当关键的。采购部门承担着相当重要的质量职责。选择可靠的供应商;确保采购合同符合设计开发部门确定的原材料质量要求;与供应商建立基于信任的长期关系,并保持密切沟通以应对各种设计与生产的
18、变化;向供应商提供持续质量改进培训,高质量的原材料采购还可以减少对接受检验的需求。而原材料的接收则要求确保接收材料是合格的。特别是对于现今快速多变的生产系统,许多企业减少了库存,对原材料的质量提出了更高的要求。(4)工序能力分析与验证、工序能力是体现过程质量保证能力的重要参数,是指工序能稳定地生产出合格产品的能力,也即工序处于受控状态下的实际生产能力。工序是产品质量形成的基本环节。因此,在工艺准备中应对工序具备生产符合产品质量要求的能力进行验证。2、生产制造过程生产制造过程这一环节的主要任务是生产出合格的产品。作为设计与工艺部门的下一流程,一旦进入生产环节,任何缺陷都是不可接受的。因为事后的检
19、验和纠正措施都是要花费成本的。如果出现问题,就要通过检验来发现并消除问题产生的原因。为了保证生产系统的稳定性,精密的检验仪器、设备与熟练掌握检验技术工具的员工都是不可缺少的。在每一个生产环节,无论是操作人员还是专门的检验人员都要尽力收集和分析生产系统的信息,以便及时作出必要的调整。(1)工序管理。生产系统必须能够持续生产出符合规格的产品来,而工序就是将材料、部件转变成为零件或成品的直接生产过程。工序管理的质量职能是根据产品设计和工艺文件的规定对各种影响制造质量的因素实施控制。(2)质量保证与检验。检验可以获得生产系统的信息,去发现和消除系统中可能存在的问题,还可以避免不合格品进入下一道工序和市
20、场。无论在什么情况下,检验都应被视作是一种收集有助于质量改进信息的手段,它的目的不仅仅只是检出不合格品,还具有把关、预防等质量职能。(3)质量改进。质量改进是消除系统性的问题,对现有的质量水平在控制的基础上加以提高,使质量达到一个新水平、新高度。质量改进是一个过程,要按照一定的规则进行,否则会影响改进的成效,甚至会徒劳无功。由于时代的发展是永无止境的,为立足于时代,质量改进也必然是“永无止境”的。有关质量改进的相关内容见本书第 6章的质量改进与质量改进工具。显而易见,产品经过设计开发后,能不能保证达到设计质量标准,这在很大程度上取决于产品生产工艺质量、产品生产设备质量和生产工装质量、外购品质量
21、及生产制造过程的质量控制水平。七、生产制造的质量职能生产制造的质量职能生产制造是以经济的方法,按质、按量、按期、按工艺要求,生产出符合设计规范的产品,并能稳定控制其符合性质量的过程。生产制造过程的质量管理是实现设计意图、形成产品质量的重要环节,也是实现企业质量目标的保证。1、生产制造过程的质量控制目标生产制造过程的质量管理,目的就在于设计确定以后,经济地、高效地生产出符合设计要求的产品。一是要实现稳定的制造质量,制造过程的目标是不偏离设计、是保证对设计的符合性质量;二是要降低不良品损失。将一个理想的产品设计由图纸变成实物,是在生产制造过程中实现的。尽管当前不少企业质量管理的重点已经向设计和服务
22、两个阶段转移,但产品的制造过程仍是产品质量形成的一个重要阶段,可以说制造过程的质量管理是全过程质量管理的一个基础。2、生产制造过程的质量管理质量职能生产制造过程质量管理的任务是建立一个控制状态下的生产系统。所谓控制状态,就是生产的正常状态,即生产过程能够稳定、持续地生产符合设计质量的产品。生产系统处于控制状态下才能够保证合格(符合规格标准)连续性和再现性。为此,在生产制造过程中的质量职能应有效控制影响质量的各种因素,包括生产技术准备过程的质量职能和生产制造过程的质量职能。(1)生产技术准备过程的质量职能。产品在制造之前必须做好准备工作,并编制质量控制计划,即生产技术准备工作,它包括选择合适的制
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