第三章-电阻应变式传感器.ppt
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1、 电阻应变式传感器是以电阻应变片电阻应变式传感器是以电阻应变片(简称简称应变片应变片)为转换元件的传感器。为转换元件的传感器。应变变化应变变化-电阻变化电阻变化电阻应变式传感器电阻应变式传感器?应用应用:测量应变及其他物理量,如测量力、压力、测量应变及其他物理量,如测量力、压力、位移、力矩、重量、温度和加速度等物理量。位移、力矩、重量、温度和加速度等物理量。电阻应变式传感器特点电阻应变式传感器特点:结构简单、体积小、测量范围广、频率响应特性结构简单、体积小、测量范围广、频率响应特性好、适合动态和静态测量、使用寿命长、性能稳定可好、适合动态和静态测量、使用寿命长、性能稳定可靠等特点,是目前应用最
2、广泛的传感器之一靠等特点,是目前应用最广泛的传感器之一。应变片类型应变片类型(根据材料不同)金属应变片金属应变片 应变效应应变效应 半导体应变片半导体应变片 压阻效应压阻效应3-1 金属应变片式传感器金属应变片式传感器 金金属属应应变变片片式式传传感感器器的的核核心心元元件件是是金金属属应应变变片片,它它可将试件上的应变变化转换成电阻变化。可将试件上的应变变化转换成电阻变化。应应用用时时将将应应变变片片用用粘粘结结剂剂牢牢固固地地粘粘贴贴在在被被测测试试件件表表面面上上,当当试试件件受受力力变变形形时时,应应变变片片的的敏敏感感栅栅也也随随同同变变形形,引引起起应应变变片片电电阻阻值值变变化化
3、,通通过过测测量量电电路路将将其其转转换换为为电电压压或电流信号输出。或电流信号输出。1.1.精度高,测量范围广;精度高,测量范围广;2.2.频频率响率响应应特性特性较较好好;3.3.结结构构简单简单、尺寸小、重量、尺寸小、重量轻轻;4.4.可在高(低)温、高速、高压、强烈振动、强磁场及可在高(低)温、高速、高压、强烈振动、强磁场及核辐射和化学腐蚀等恶劣环境条件下正常工作;核辐射和化学腐蚀等恶劣环境条件下正常工作;5.5.易于易于实现实现小型化、固小型化、固态态化化;价格低廉、品种多价格低廉、品种多样样,便,便于于选择选择。应应变变式式传传感感器器已已成成为为目目前前非非电电量量电电测测技技术
4、术中中非非常常重重要要的的检检测测手手段段,广广泛泛地地应应用用于于工工程程测测量量和和科科学学实实验验中中,主要是由于它具有以下几个特点:主要是由于它具有以下几个特点:dFFLL+Ld-dll+dl2r2(r-dr)F一、金属丝式应变片一、金属丝式应变片 变化上式,得变化上式,得等式两边微分,则得等式两边微分,则得(一)应变效应(一)应变效应设设有有一一根根长长度度为为 、截截面面积积为为S S、电电阻阻率率为为的的金金属属丝丝,其其电电阻阻R R为为为电阻率的相对变化为电阻率的相对变化称为金属丝长度方向的应变或轴向应变称为金属丝长度方向的应变或轴向应变为截面积的相对变化为截面积的相对变化
5、上式三项分别为上式三项分别为:为金属丝半径的相对变化,为金属丝半径的相对变化,金属材料电阻率相对变化与其体积相对变化之间有下关系:金属材料电阻率相对变化与其体积相对变化之间有下关系:由由有有即即面积的相对变化变面积的相对变化变为半径的相对变化为半径的相对变化为电阻丝材料的泊松比为电阻丝材料的泊松比由此得由此得 K为金属材料的应变灵敏度系数为金属材料的应变灵敏度系数电阻率变为几何参数再联系应变和固有参数电阻率变为几何参数再联系应变和固有参数 电阻率变化电阻率变化 形形 变变电阻的变化由两部分组成电阻的变化由两部分组成:一是应变片受力后材料一是应变片受力后材料由形变引起由形变引起的变化,即的变化,
6、即1+21+2二是应变片受力后材料的二是应变片受力后材料的电阻率电阻率发生的变化,即发生的变化,即(/)/。对对金属材料金属材料:1+21+2(/)/)/对对半导体材料半导体材料:(/)/)/1+21+2大量实验证明,在电阻丝拉伸极限内,大量实验证明,在电阻丝拉伸极限内,电阻的相对变电阻的相对变化与应变成正比,即化与应变成正比,即K K为常数。为常数。3.23.23.23.2应变片的基本应变片的基本应变片的基本应变片的基本结构结构结构结构一、金属电阻应变片一、金属电阻应变片一、金属电阻应变片一、金属电阻应变片引线引线-连接测量导线之用连接测量导线之用盖层盖层基底与面胶基底与面胶中间介质和绝缘作
7、用中间介质和绝缘作用电阻丝电阻丝(敏感栅敏感栅)转换元件转换元件 下下图图为为电电阻阻应应变变片片的的典典型型结结构构图图。它它由由敏敏感感栅栅、基基底底、盖盖片片、引引线线和和粘粘结结剂剂等等组组成成。这这些些部部分分所所选选用用的的材材料料将将直直接接影影响响应应变变片片的的性性能。因此,应根据使用条件和要求合理地加以选择。能。因此,应根据使用条件和要求合理地加以选择。基片基片覆盖层覆盖层金属丝金属丝引线引线(二)应变片的结构与材料(二)应变片的结构与材料1.1.敏感栅敏感栅 它是应变片最重要的组成部分,由某种金属细丝绕成栅形。一般它是应变片最重要的组成部分,由某种金属细丝绕成栅形。一般用
8、于制造应变片的金属细丝直径为用于制造应变片的金属细丝直径为0.0150.0150.05mm0.05mm。电阻应变片的电阻应变片的电阻值为电阻值为6060、120120、200200 等各种规格,以等各种规格,以120120 最为常用。敏感栅最为常用。敏感栅在纵轴方向的长度称为栅长。在与应变片轴线垂直的方向上,敏感在纵轴方向的长度称为栅长。在与应变片轴线垂直的方向上,敏感栅外侧之间的距离称为栅宽。应变片栅长大小关系到所测应变的准栅外侧之间的距离称为栅宽。应变片栅长大小关系到所测应变的准确度,应变片测得的应变大小实际上是应变片栅长和栅宽所在面积确度,应变片测得的应变大小实际上是应变片栅长和栅宽所在
9、面积内的平均轴向应变量。栅长有内的平均轴向应变量。栅长有1010、20mm20mm等规格,分别适应于不同的等规格,分别适应于不同的用途。用途。2.2.基底和盖片基底和盖片 基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置,盖片既保基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置,盖片既保持敏感栅和引线的形状和相对位置,还可保护敏感栅。最早的基底持敏感栅和引线的形状和相对位置,还可保护敏感栅。最早的基底和盖片多用专门的薄纸制成。基底厚度一般为和盖片多用专门的薄纸制成。基底厚度一般为0.020.020.04mm0.04mm,基底基底的全长称为基底长的全长称为基底长,其宽度称为基底宽。其宽度称为基底宽。3.
10、3.粘结剂粘结剂 用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一起。用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一起。使用金属应变片时使用金属应变片时,也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方向和位置上,以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的某个方向和位置上,以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。基底和敏感栅。常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温和中温。常用有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂,聚酰亚胺温和中温。常用有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂,聚酰
11、亚胺等。无机粘结剂用于高温,常用的有磷酸盐、硅酸盐、硼酸盐等。等。无机粘结剂用于高温,常用的有磷酸盐、硅酸盐、硼酸盐等。4.引线引线它是从应变片的敏感栅中引出的金属线。常用直径约它是从应变片的敏感栅中引出的金属线。常用直径约0.80.15mm的镀锡铜线,或扁带形的其它金属材料制成。对引线材料的性能要的镀锡铜线,或扁带形的其它金属材料制成。对引线材料的性能要求为电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多求为电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多数敏感栅材料都可制作引线。数敏感栅材料都可制作引线。金属箔式应变片金属箔式应变片 箔箔式式应应变变片片的的工工作作原原理理基基
12、本本和和电电阻阻丝丝式式应应变变片片相相同同。它它的的电电阻阻敏敏感感原原件件不不是是金金属属丝丝栅栅,而而是是通通过过光光刻刻技技术术、腐腐蚀蚀等等工工序序制制成成的的薄薄金金属箔栅,故称箔式电阻应变片。属箔栅,故称箔式电阻应变片。金金属属箔箔的的厚厚度度一一般般为为0.0030.0030.010mm0.010mm,它它的的基基片片和和盖盖片片多多为为胶胶质质膜膜,基片厚度一般为基片厚度一般为0.030.030.05mm0.05mm。箔箔材材表表面面积积大大,散散热热条条件件好好,故故允允许许通通过过较较大大电电流流,因因而而可可以以输输出较大信号,提高了测量灵敏度。出较大信号,提高了测量灵
13、敏度。金属箔式应变片和丝式应变片相比较,有如下特点金属箔式应变片和丝式应变片相比较,有如下特点箔箔栅栅的的尺尺寸寸准准确确,均均匀匀,且且能能制制成成任任意意形形状状,为为制制造造小小距距应应变变片片提供了条件,从而扩大了应变片的使用范围。便于成批生产。提供了条件,从而扩大了应变片的使用范围。便于成批生产。金金属属箔箔栅栅很很薄薄,因因而而它它所所感感受受的的应应力力状状态态与与试试件件表表面面的的应应力力状状态态更更为为接接近近。其其次次,当当箔箔材材和和丝丝材材具具有有同同样样的的截截面面积积时时,箔箔材材与与粘粘接接层层的的接接触触面面积积比比丝丝材材大大,使使它它能能更更好好地地和和试
14、试件件共共同同工工作作。箔箔栅栅的的端端部较宽,横向效应较小,因而提高了应变测量的精度。部较宽,横向效应较小,因而提高了应变测量的精度。半导体应变片半导体应变片分析:当半导体应变片受轴向力作用时分析:当半导体应变片受轴向力作用时半半导导体体应应变变片片的的电电阻阻率率相相对对变变化化量量与与所所受受的的应应变变力有关力有关:式中:式中:半导体材料的压阻系数半导体材料的压阻系数;半导体材料的所受应变力半导体材料的所受应变力;E半导体材料的弹性模量半导体材料的弹性模量;半导体材料的应变。半导体材料的应变。因此:因此:实实验验证证明明,E比比1+2大大上上百百倍倍,所所以以1+2可可以以忽忽略略,因
15、因而而半半导导体体应应变变片片的的灵灵敏敏系系数数为为:测测量量原原理理:在在外外力力作作用用下下,被被测测对对象象产产生生微微小小机机械械变变形形,应应变变片片随随着着发发生生相相同同的的变变化化,同同时时应应变变片片电电阻阻值值也也发发生生相相应应变变化化。当当测测得得应应变变片片电电阻阻值值变变化化量量为为R时时,便便可可得得到到被被测测对对象象的的应应变变值值,根据应力与应变的关系,得到应力根据应力与应变的关系,得到应力值值为为:=E 3.3 电阻应变片的特性电阻应变片的特性 应变片电阻值应变片电阻值.未受应变时初始电阻值未受应变时初始电阻值灵敏度系数灵敏度系数.物理意义:单位应变所引
16、起的电阻相对变化物理意义:单位应变所引起的电阻相对变化.横向效应横向效应.最大工作电流最大工作电流.动态响应特性动态响应特性.主要特性主要特性或或 测量结果说明,应变片的灵敏系数测量结果说明,应变片的灵敏系数K恒小于线材的灵敏系数恒小于线材的灵敏系数Km。究其原因,除胶层究其原因,除胶层传递变形失真外传递变形失真外,横向效应横向效应也是一个不可忽视也是一个不可忽视的因素。的因素。1,灵敏度系数灵敏度系数金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系,金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系,用灵敏系数用灵敏系数K表示。当金属丝做成应变片后,其电阻应变特性,与表示。当金
17、属丝做成应变片后,其电阻应变特性,与金属单丝情况不同。因此,须用实验方法对应变片的电阻金属单丝情况不同。因此,须用实验方法对应变片的电阻-应变应变 特特性重新测定。性重新测定。实验表明,金属应变片的电阻相对变化实验表明,金属应变片的电阻相对变化 与应变在很宽的范围内与应变在很宽的范围内均为线性关系。即均为线性关系。即 为了减小横向效应产生的测量误差,一般采用箔式应变片。为了减小横向效应产生的测量误差,一般采用箔式应变片。2.横向效应横向效应 定义:丝绕应变片沿轴向感受拉应变定义:丝绕应变片沿轴向感受拉应变 ,电阻,电阻值将增加,而在园弧段上,其电阻的变化与直线段不值将增加,而在园弧段上,其电阻
18、的变化与直线段不一样,在垂直方向上一样,在垂直方向上=90产生负的压应变产生负的压应变 ,其电,其电阻是减小的。灵敏系数比直的电阻丝降低,这种现象阻是减小的。灵敏系数比直的电阻丝降低,这种现象称为横向效应称为横向效应.r愈小,愈小,l愈大,即敏感栅愈窄,基长愈长的应变片,其横愈大,即敏感栅愈窄,基长愈长的应变片,其横向效应引起的误差越小。向效应引起的误差越小。由于横向效应系数的作用,在测量纵向应变时,圆弧部由于横向效应系数的作用,在测量纵向应变时,圆弧部分产生了一个负值的电阻变化。从而降低了灵敏度系数,分产生了一个负值的电阻变化。从而降低了灵敏度系数,该现象称为应变片的横向效应。该现象称为应变
19、片的横向效应。lbOrdld0rl1l3.机械滞后机械滞后应变片粘贴在被测试件上,当温度恒定时,其指示应变与试件表面应变片粘贴在被测试件上,当温度恒定时,其指示应变与试件表面机械应变的比值应当不变,即加载、卸载过程中的灵敏系数应一致,机械应变的比值应当不变,即加载、卸载过程中的灵敏系数应一致,否则就会带来灵敏系数的误差。然而实验表明,在增加或减少机械否则就会带来灵敏系数的误差。然而实验表明,在增加或减少机械应变的过程中,对同一机械应变应变的过程中,对同一机械应变,应变片的指示应变值不同,此,应变片的指示应变值不同,此差值即为机械滞后。差值即为机械滞后。1机械应变机械应变卸载卸载加载加载指指示示
20、应应变变i 机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关,加载时的机械机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关,加载时的机械应变愈大,卸载时的滞后也愈大。所以,通常在实验之前应将试应变愈大,卸载时的滞后也愈大。所以,通常在实验之前应将试件预先加、卸载若干次,以减少因机械滞后所产生的实验误差。件预先加、卸载若干次,以减少因机械滞后所产生的实验误差。产生原因:应变片在承受机械应变后的残余变形,使敏感栅产生原因:应变片在承受机械应变后的残余变形,使敏感栅电阻发生少量不可逆变化;在制造或粘贴应变片时,敏感栅受电阻发生少量不可逆变化;在制造或粘贴应变片时,敏感栅受到的不适当的变形或粘结剂固化不充分等。到的不适当
21、的变形或粘结剂固化不充分等。4.零点漂移和蠕变零点漂移和蠕变对于粘贴好的应变片,当对于粘贴好的应变片,当温度恒定温度恒定时时,即使被测定试件未承受应力,即使被测定试件未承受应力,应变片的指示应变也会随时间增加而逐渐变化。这一些变化就是应应变片的指示应变也会随时间增加而逐渐变化。这一些变化就是应变片指示应变的变片指示应变的零点漂移零点漂移。产生零点漂移的主要原因是敏感栅通以。产生零点漂移的主要原因是敏感栅通以工作电流后的温度效应;应变片的内应力逐渐变化;粘结剂固化不工作电流后的温度效应;应变片的内应力逐渐变化;粘结剂固化不充分等。充分等。当应变片承受恒定的机械应变时,应变片的指示应变却随时间而变
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