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1、第第1 1章章 绪论绪论1.1 1.1 制造业、生产系统和制造系统制造业、生产系统和制造系统1.2 1.2 机械制造技术的发展机械制造技术的发展1.3 1.3 现代制造技术的内涵及技术构成现代制造技术的内涵及技术构成1.4 1.4 现代制造技术的体系结构及分类现代制造技术的体系结构及分类1.5 1.5 现代制造技术的发展趋势现代制造技术的发展趋势v1.1 1.1 制造业、生产系统和制造系统制造业、生产系统和制造系统v1.1.1 1.1.1 制造业的基本概念制造业的基本概念v制造业是将制造资源（物料、能源、设制造业是将制造资源（物料、能源、设备、工具、资金、技术、信息和人力等）备、工具、资金、技

2、术、信息和人力等）通过制造过程，转化为可供人们使用与通过制造过程，转化为可供人们使用与利用的工业品与生活消费品的行业。利用的工业品与生活消费品的行业。1.1.2 1.1.2 生产系统的基本概念生产系统的基本概念 如果将整个机械制造业为分析研究对象，若要实现最有效地生产和经营，不仅要考虑物料、能源、设备、工具、设计、加工、装配、储运等各种因素，而且还必须把技术情报、经营管理、劳动力调配、资源和能源的利用、环境保护、市场动态、经济政策、社会问题乃至国际因素等作为更重要的要素来考虑。v1.1.3 1.1.3 制造系统的基本概念制造系统的基本概念v制造过程及其所涉及的硬件包括人员、生产设备、材料、能源

3、和各种辅助装置以及有关软件包括制造理论、制造技术等组成了一个具有特定功能的有机整体，称之为制造系统。制造技术则是按照人们所需的目的，运用知识和技能利用客观物质工具，使原材料转变为产品的技术总称。1.2 机械制造技术的发展v1.2.11.2.1 传统制造业及其技术的发展传统制造业及其技术的发展v1用机器代替手工，从作坊形成工厂用机器代替手工，从作坊形成工厂v2从单件生产方式发展成大量生产方式从单件生产方式发展成大量生产方式v3柔性化、集成化、智能化和网络化的现代制造技术柔性化、集成化、智能化和网络化的现代制造技术1.2.2 现代制造及其技术的发展v（1）在生产规模上，从少品种大批量单件小批量多品

4、种变批量的发展。v（2）生产方式上，呈现出从劳动密集型设备密集型信息密集型知识密集型变化。v（3）制造设备的发展过程是手工机械化单机自动化刚性自动线柔性自动线智能自动化。v（4）在制造技术和工艺方法上，重视必不可少的辅助工序，如加工前后处理；重视工艺装备，使制造技术成为集工艺方法、工艺装备和工艺材料为一体的成套技术；v（5）引入工业工程和并行工程概念，强调系统化及其技术和管理的集成，将技术和管理有机地结合在一起1.3 现代制造技术的内涵及技术构成v1.3.1 现代制造技术的定义v现代制造技术是传统制造技术不断吸收机械、电子、信息、材料、能源及现代管理等技术成果，将其综合应用于产品设计、制造、检

5、测、管理、售后服务等机械制造全过程.1.3.2 1.3.2 现代制造技术的内涵及技术构成现代制造技术的内涵及技术构成v1.基础技术：是优质、高效、低耗、少无污染基础制造技术 v2.新型单元技术：是在市场需求及新兴产业的带动下，制造技术与电子、信息、新材料、新能源、环境科学、系统工程、现代管理等高新技术结合而形成的崭新的制造技术。v3.集成技术：是应用信息、计算机和系统管理技术对上述两个层次的技术局部或系统集成而形成的现代制造技术的高级阶段。1.4 现代制造技术的体系结构及分类v1.4.1 1.4.1 现代制造技术的体系结构现代制造技术的体系结构v 主技术群、支撑技术群和制造技术环境。主技术群、

6、支撑技术群和制造技术环境。这三个技术群体相互联系、相互促进，组成这三个技术群体相互联系、相互促进，组成一个完整的体系一个完整的体系 v1.4.2 1.4.2 现代制造技术的分类现代制造技术的分类v1现代设计技术现代设计技术v2、现代制造工艺技术、现代制造工艺技术v3、制造自动化技术、制造自动化技术v4先进生产制造模式和制造系统先进生产制造模式和制造系统1.5 现代制造技术的发展趋势v1集合多学科成果形成一个完整的制造体系v2现代制造技术的动态发展过程v3信息技术对现代制造技术的发展起着越来越重要的作用v4现代制造技术与生物医学相结合v5现代制造技术向超精微细领域扩展v6制造过程的集成化v7制造

7、科学与制造技术、生产管理的融合v8绿色制造将成为21世纪制造业的重要特征v9虚拟现实技术在制造业中获得越来越多的应用v10制造及服务全球化第二章 特种加工目录2.1特种加工方法2.1.1电火花加工2.1.2电化学加工2.1.3超声波加工2.1.4激光加工2.1.5水射流加工2.2特种加工工艺特点2.3特种加工分类2.4电火花加工2.4.1电火花加工概念2.4.2工艺特点2.4.3主要用途2.4.4方式分类2.4.5电火花成型加工2.4.6电火花加工实例2.5电解加工和电解磨削2.5.1电解加工2.5.2电解加工特点2.5.3电解加工应用2.5.4电解磨削2.5.5电解磨削的特点2.5.6电解磨

8、削的应用2.6超声波加工2.6.1超声波加工的概念2.6.2超声波加工的特点2.7激光加工2.7.1激光加工的概念2.7.2激光加工的特点2.7.3激光加工的应用2.8其他特种加工2.8,1电子束加工2.8.2电子束加工的特点2.2.3电子束加工的应用2.2.4等离子加工2.2.5等离子加工的应用2.2.6磨料喷射加工2.2.7磨料喷射加工的特点2.2.8磨料喷射加工的应用2.2.9电铸成型2.2.10电铸的特点2.2.11液力加工2.2.12液力加工的应用2.1 特种加工方法2.1.1电火花加工电火花成型电火花线切割2.1.2电化学加工电解、电铸、电镀 2.1.3超声波加工 2.1.4激光加

9、工 2.1.5水射流加工电火花线切割机床2.2 特种加工工艺特点1改变了零件的典型工艺路线 它不受工件硬度的影响，而且为了免除加工后淬火引起热处理变形，一般都先淬火后加工。2试制新产品时的优点 利用电能、电化学能、声能、光能，可以省去设计和制造相应的刀、夹、量具及二次工具，大大缩短了试制周期。3特种加工对产品零件的结构设计带来很大的影响4.传统的结构工艺性的好与坏，需要重新衡量2.3 特种加工分类一般按能量形式和作用原理分类u电能与热能作用方式电火花EDM、线切割WEDM、电子束EBM、等离子PAMu电能与化学能作用方式电解ECM、电铸、电刷镀u电化学能与机械能作用方式电解磨削ECG、电解珩磨

10、ECHu声能与机械作用能作用方式：超声波加工USMu光能与热能作用方式：激光加工LBM超声波加工水射流加工u电能与机械作用能作用方式：离子束加工IMu液流能与机械作用能：挤压珩磨AFH、水射 流WJC离子束加工2.4 电火花加工2.4.1 电火花加工利用浸在工作液中的两极间脉冲放电时产生的电蚀作用蚀除导电材料的特种加工方法，又称放电加工或电蚀加工英文简称EDMElectrical DischargeMachining 2.4.2 工艺特点 能加工普通切削加工方法难以切削的材料和复杂形状工件；加工时无切削力；不产生毛刺和刀痕沟纹等缺陷；工具电极材料无须比工件材料硬；直接使用电能加工，便于实现自动

11、化；加工后表面产生变质层，在某些应用中须进一步去除；工作液的净化和加工中产生的烟雾污染处理比较麻烦。2.4.3 主要用途加工具有复杂形状的型孔和型腔的模具和零件；加工各种硬、脆材料如硬质合金和淬火钢等；加工深细孔、异形孔、深槽、窄缝和切割薄片等；加工各种成形刀具、样板和螺纹环规等工具和量具。2.4.4 方式分类利用成型工具电极，相对工件作简单进给运动的电火花成形加工；利用轴向移动的金属丝作工具电极，工件按所需形状和尺寸作轨迹运动，以切割导电材料的电火花线切割加工；利用金属丝或成形导电磨轮作工具电极，进行小孔磨削或成形磨削的电火花磨削；用于加工螺纹环规、螺纹塞规、齿轮等的电火花共轭回转加工；小孔

12、加工、刻印、表面合金化、表面强化等其他种类的加工。电火花穿孔电火花型腔加工进给方向进给方向工具电极工件工作液工具电极工件工件电火花成型加工机床2.4.5 电火花成型加工冲模加工1.工艺方法 衡量一副冲模质量的主要技术指标是：冲头和凹模的配合间隙、尺寸精度、表面粗糙度、刃口高度、刃口斜度和落料角。达到配合间隙要求的方法有三种：（1）直接配合法 （2）修配冲头法 （3）修配电极法2.加工方法（1）间接法 间接法是指在模具电火花加工中，凸模与加工凹模用的电极分开制造，首先根据凹模尺寸设计电极，然后制造电极，进行凹模加工，再根据间隙要求来配制凸模。间接法（2）直接法 直接法适合于加工冲模，是指将凸模长

13、度适当增加，先作为电极加工凹模，然后将端部损耗的部分去除直接成为凸模。直接法加工的凹模与凸模的配合间隙靠调节脉冲参数、控制火花放电间隙来保证。直接法（3）混合法 混合法也适用于加工冲模，是指将电火花加工性能良好的电极材料与冲头材料粘结在一起，共同用线切割或磨削成型，然后用电火花性能好的一端作为加工端，将工件反置固定，用“反打正用”的方法实行加工。这种方法不仅可以充分发挥加工端材料好的电火花加工工艺性能，还可以达到与直接法相同的加工效果。混合法型腔加工1.工艺方法 型腔膜的电火花加工就不能只是用一个与型腔形状相对应的整体成型电极沿着型腔的深度方向进给。当前常用的型腔模电火花加工方法有以下四种：（

14、1）单电极平动加工法 （2）多次更换电极法 （3）分解电极法 （4）用指状电极接数控程序加工2.4.6 电火花加工实例例2.1 两个电极的精、粗加工(本实例所用机床为SodickA3R，其控制电源为Excellence XI)。加工条件：1.电极/工件材料：Cu/St(45钢)2.加工表面粗糙度：Rmax7 m 3.粗加工电极减寸量(即减小量)：0.3 mm/单侧 精加工电极减寸量：0.1 mm/单侧4.加工深度：5.00.015.加工位置：工件中心 精、粗加工两个电极时的加工条件及加工图形如图2-20所示，加工条件表如表2-5所示。图2-20 精、粗加工两个电极时的加工条件及加工图形表2-5

15、 加 工 条 件 表C C代码代码ONONIPIPHPHPPPPPZ Z轴进给余量轴进给余量/m/m摇动步距摇动步距/m/mC170C1701919101011111010Z330Z3301010C140C1401616050551511010Z180Z180140140C220C2201313030351511010Z120Z120200200C120C1201414030351511010Z100Z1000 0C210C2101212020251511010Z070Z0703030C320C3200808020251511010Z046Z0465454C310C31008080101525

16、21010Z026Z0267474粗加工程序：H0000=+00005000;/加工深度G00 G90 G54XYZl.0;G24;G01 C170 LN002 STEP0l0 Z330-H000 M04;G01 C140 LN002 STEP140 Z180-H000 M04;G01 C220 LN002 STEP200 Z120-H000 M04;/以C220条件加工至距离底面0.040 mmM02;精加工程序读者可以参照上面的程序自己编写，精加工的加工条件为C120、C210、C320、C310。2.5 电解加工和电解磨削2.5.1 电解加工 电解加工（ECM）又称电化学加工，是继电火花

17、加工之后于20世纪60年代发展起来的一项新工艺，目前已广泛应用于枪炮、航空、汽车拖拉机等制造工业和模具制造行业。2.5.2 电解加工特点 1）加工范围广。电解加工能加工各种高强度、高硬度、高韧性的导电材料，如硬质含金、淬硬钢、不锈钢、耐热合金等难加工材料。2）生产效率高，电解加工是特种加工中材料去除速度最快的方法之一，约为电火花加工的510倍。3）加工过程中无机械切削力和切削热，没有因为力与热给工件带来的变形，可以加工刚性差的薄壁零件，加工表面无残余应力和毛刺，能获得较小的表面粗糙度值（一般为Ra1.250.2）和一定的加工精度（平均尺寸误差约）。4）加工过程中工具阴极理论上无损耗，可长期使用

18、并保持其精度。5）电解加工不需要复杂的成形运动就可加工复杂的空间曲面，而且不会像传统机械加工（如铣削）那样留下条纹痕迹。6）电解加工不能加工非导电材料，较难加工窄缝、小孔及尖角。7）对复杂加工表面的工具电极的设计和制造比较费事，不利于单件、小批生产。8）虽然用电解加工制造出来的工件无应力，但其疲劳强度约降低10%20%，因此对疲劳强度要求较高的工件可用电解加工后的喷丸硬化来恢复强度。9）电解加工附属设备较多，占地面积大，投资大，且设备易腐蚀和生锈，需采取一定的防护措施。10）电解加工的加工缺陷主要有空蚀、产生亮点、加工精度低等。2.5.3 电解加工应用 电解加工主要用于切削加工困难的领域，如难

19、加工材料、形状复杂的表面、刚性较差的薄板等。常用的有电解穿孔、电解成形、电解去毛刺、电解切割、电解抛光、电解刻印等。电解抛光电解磨削2.5.4 电解磨削 电解磨削（ECG）是电化学腐蚀与机械磨削作用相结合的一种复合加工方法，比电解加工具有较高的加工精度和较小的表面粗糙度值，比机械磨削有较高的生产率。2.5.5 电解磨削的特点（1）加工范围广、加工效率高。（2）磨削的加工精度和表面质量较高，电解磨削加工中机械磨削力小，磨削热少，不会产生残余应力、变形、烧伤、裂纹和毛刺等缺陷。（3）砂轮损耗少，寿命长，与普通金刚石磨削相比较，电解磨削用的金刚石砂轮消耗速度仅为它们的1/51/10，可显著降低成本。

20、（4）加工刀具等尖锐刃口不易磨削得非常锋利。（5）机床辅助设备较多，一次性投资较高，同时设备易腐蚀和生锈,污染环境，需采取防护措施。2.5.6 电解磨削的应用 电解磨削由于集中了电解加工和机械磨削的优点，因此应用范围广，可用于内、外圆磨削，平面磨削，工具磨削，成形磨削。用于高强度、高硬度、热敏性和磁敏性等材料，与普通机械磨削相比，电解磨削碳化钨时，可节省约75%以上的砂轮费用和50%以上的加工费用。适用于难加工的小孔、深孔、薄壁件，如蜂窝器、薄壁管或外壳、注射针头等。2.6 超声波加工2.6.1 超声波加工 超声波加工(USM)也称超声加工，是利用工具端面作超声频振动，并通过悬浮液中的磨料加工

21、脆硬材料的一种加工方法。2.6.2 超声波加工的特点 1）适于加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料（如陶瓷、玻璃、宝石、金刚石等），扩大了模具材料的选用范围。2）工具可用较软的材料做成较复杂的形状，不需要工具相对于工件作复杂的运动，机床结构也就简单，操作也方便。3）由于去除加工材料是靠极细小磨粒的瞬时局部的撞击作用，故工件表面的宏观作用力很小，不会引起变形和烧伤，表面粗糙度也较好（Ra10.1），加工精度可达0.010.02mm，而且可以加工薄壁、窄缝、低刚性工件。2.6.3 超声波加工应用 超声波加工的生产率虽然比电火花加工和电化学加工等低，但其加工精度和表面粗糙度都比较好，而且能加工

22、半导体、非导体的硬脆材料，如玻璃、石英、陶瓷、宝石及金刚石等。即使是电火花加工后的一些淬火钢、硬质合金冲模、拉丝模和塑料模，最后也常用超声波抛磨和光整。2.7 激光加工2.7.1 激光加工 激光加工不需要加工工具，加工的小孔孔径可以小到几个微米，而且还可以切割和焊接各种硬脆和难熔工件，具有加工速度快、效率高、表面变形小等特点，因而应用越来越广。另外，激光在机械制造业中还可用于精密测量等方面。2.7.2 激光加工的特点（1）加工范围广。由于其功率密度高，几乎能加工任何金属和非金属材料，如高熔点材料、耐热合金、硬质合金、有机玻璃、陶瓷、宝石、金刚石等硬脆材料。（2）操作简单方便。激光加工不需要加工

23、工具，所以不存在工具损耗的问题，也不需要特殊工作环境，可以在任意透明的环境中操作，包括空气、惰性气体、真空、甚至某些液体。（3）适用于精微加工。激光聚焦后的光斑直径极小，能形成极细的光束，可以用来加工深而小的细孔和窄缝。因不需工具，加工时无机械接触，工件不受明显的切削力，可以加工刚性较差的零件。（4）激光头不需要过分靠近难于接近的地方去进行切削和加工，甚至可以利用光纤传输进行远距离遥控加工。（5）因能量高度集中，加工速度快、效率高，可减少热传散带来的热变形。对具有高热传导和高反射率的金属，如铝、铜和它们的合金，用激光加工时效率较低。（6）可控性好，易于实现自动化。利用激光器与机器人相结合，可以

24、在高温，有毒或其他危险环境中工作。同时由于一台激光器可进行切割、打孔、焊接、表面处理等多种加工，因而新的工作母机加上这种激光器，一台机器就同时具备多种功能，开辟了新的自动化加工方式。2.7.3 激光加工的应用 在激光加工中利用激光能量高度集中的特点，可以进行打孔、切割、雕刻、表面处理。利用激光的单色性还可以进行精密测量。激光打孔激光切割激光焊接2.8 其他特种加工2.8.1 电子束加工 电子束加工（EBM）是近年来得到较大发展的新兴特种加工。电子束加工是在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高（106109W/cm2）的电子束，以极高的速度冲击到工件表面极小的面积上，在极短的时间（几分之一微秒）内

25、，其大部分能量转换为热能，使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温，从而引起材料的局部熔化或气化。它在精细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到了较多的应用。2.8.2 电子束加工特点1）电子束加工是一种精密细微的加工方法。电子束能够极其微细聚焦（聚焦直径一般可达0.1100）加工面积可以很小，能加工细微深孔、窄缝、半导体集成电路等。2）加工材料的范围较广。对脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可以加工。特别适合于加工易氧化的金属及合金材料，以及纯度要求极高的半导体材料，因为是在真空中加工，不易被氧化，而且污染少。3）加工速度快，效率高。4）加工工件不易产生宏观应力和变形。因为电子束加工

26、是非接触式加工，不受机械力作用。5）可以通过磁场和电场对电子束强度、位置、聚焦等进行直接控制，位置精度可达0.1左右，强度和束斑可达1%的控制精度，而且便于计算机自动控制。6）设备价格较贵，成本高，同时应考虑射线的防护问题。2.8.3 电子束加工的应用 电子束加工按其功率密度和能量注入时间的不同，可分别用于打孔、切割、蚀刻、焊接、热处理、光刻加工等。2.8.4 等离子加工 等离子体被称为物质存在的第四种状态，它是高度电离的气体，是由气体原子或分子电离之后，离解成带正电荷的离子和带负电荷的自由电子所组成，因正负电荷数量相等，故称之为等离子体。等离子体加工（PAM）又叫等离子体弧加工。2.8.5

27、等离子加工的应用 等离子体加工不仅可以用于切割各种金属，特别是不锈钢、铜、铝的成型切割以及稀有金属的切割，而且还可以用于金属的穿孔加工。近些年，又与机械切削（车、刨）相结合，用等离子孤作为热辅助加工，对工件待加工表面加热，使工件材料变软，强度降低，降低切削加工中的切削力，延长刀具使用寿命，从而形成各种复合加工方法。2.8.6 磨料喷射加工 磨料喷射加工（AJM）是利用高速射流（空气或某些其他气体作介质）来喷射磨粒，使微小的磨粒在射流的驱动下，达到很高的速度，利用高速磨粒的动能对工件表面进行加工的方法。2.8.7 磨料喷射加工的特点 磨料流束可以跟随零件的轮廓形状，因而可以清理不规则的表面如螺纹

28、孔等。磨料喷射加工不能用于在金属上钻孔，因为孔壁将有很大的锥度，且钻孔速度很慢。在磨料喷射加工时，由于工具没有接触工件，而且是在金属切除量极微小的情况下逐步切除的，因此很少产生热量，故不产生显著的表面损伤。该方法加工成本低，功耗少。2.8.8 磨料喷射加工的应用 磨料喷射加工可用于玻璃、陶瓷或硬脆金属的切割、去毛刺、清理和刻蚀。它还可用于小型精密零件如液压阀、航空发动机的燃料系统零件和医疗器械上的交叉孔、窄槽和螺纹的去毛刺。由尼龙、聚四氯乙烯和狄尔林制成的零件也可以采用磨料喷射加工来去除毛刺。2.8.9 电铸成形 电铸成形是利用电化学过程中的阴极沉积现象来进行成形加工的，也就是在原模上通过电化

29、学方法沉积金属，然后分离以制造或复制金属制品。2.8.10 电铸的特点1）复制精度高。2）重复精度高。3）原模的材料不一定是金属。4）电铸件具有一定的抗拉强度和硬度，因此铸成之后不需热处理。5）不需特殊设备，操作简单。2.8.11 液力加工 液力加工是利用高速液流对工件的冲击作用来去除材料的。采用的液体为水或带有添加剂的水，以高达3倍音速的速度冲击工件进行加工或切割。2.8.12 液力加工应用 液力加工的液体流束直径为0.050.38mm，可以加工很薄、很软的金属和非金属材料，例如铜。铝、铅、塑料、木材、橡胶、纸等七、八十种材料和纸品。液力加工可以代替硬质合金切槽刀具，而且切边的质量很好。所加

30、工的材料厚度少则几毫米，多则几百毫米，例如切割19mm厚的吸音天花板，采用的水压为310MPa，切割速度为76m/min。玻璃绝缘材料可加工到125mm厚。由于加工的切缝较窄，可节约材料和降低加工成本。第三章精密加工和超精密加工3.1精密、超精密加工基本概念3.1.1基本概念3.1.2分类3.1.3工艺特点3.2精密切削加工3.2.1精密切削加工概念3.2.1精密、超精密切削加工应用实例3.3精密磨削加工3.3.1精密磨削加工概念3.3.2精密磨削加工工艺3.3.3精密磨削加工实例3.4珩磨3.4.1珩磨的概念3.4.2珩磨的工艺特点3.4.3珩磨的用途3.5超精研目录3.5.1超精研概念3.

31、5.2超精研切削过程3.5.3超精研的应用3.6研磨3.6.1研磨的概念3.6.2超精密研磨3.7纳米加工3.7.1原子、分子加工单位的加工方法3.7.2原子、分子加工单位的超精密微细加工方法分类3.7.3原子、分子加工单位加工方法的应用3.8精密圆柱齿轮加工3.8.1齿轮精度要求3.8.2精密齿轮圆柱加工方法3.9基于微机器人的超精密加工技术3.9.1微机器人在超精密加工领域中的应用3.9.2宏-微结合的驱动方式3.9.3机床与微机器人技术结合3.9.4扫描隧道显微镜3.1 精密、超精密加工基本概念3.1.1 概念 随着现代工业的不断发展，精密加工和超精密加工在机械、电子、轻工及国防等领域已

32、占有愈来愈重要的地位。从一般意义上讲，精密加工是指在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到很高程度的加工工艺。超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺。3.1.2 分类1一般加工一般指加工精度在1左右，相当于在IT57级精度，表面粗糙度Ra值在0.20.8的加工方法，如车、铣、刨、磨、铰等。适用于汽车、拖拉机制造等工业。2.精密加工 一般指加工精度在0.10.01，相当于IT5级精度和5级精度以上，表面粗糙度Ra值在0.1以下的加工方法，如金刚车、金刚镗、研磨、珩磨、超精研、砂带磨、镜面磨削和冷压加工等。3超精密加工超精密加工是指被加工零件的尺寸公差为0.001数量级，表面粗

33、糙度Rz为0.001数量级的加工方法，加工中所使用的设备，其分辨率和重复精度应为0.01数量级。目前，超精密加工的精度正从微米工艺向纳米工艺提高。微米工艺是指精度为1102的微米、亚微米级工艺，而纳米工艺是指精度为10-210-3的纳米级工艺（1103nm,nm称纳米）。3.1.3 工艺特点1精密加工和超精密加工都是以精密元件为加工对象，与精密元件密切结合而发展起来的。2精密加工和超精密加工不仅要保证很高的精度和表面质量，同时要求有很高的稳定性或保持性，不受外界条件变化的干扰，因此，要注意以下几个方面：（1）工件材料本身的均匀性和性能的一致性，不允许存在内部或外部的微观缺陷，甚至对材料组织的纤

34、维化有一定要求，如精密磁盘的铝合金盘基就不允许有组织纤维化，精密金属球也是一样。（2）要有严格的加工环境，精密加工和超精密加工大多在恒温室净化间中工作，其净化要求为100级，温度要求达200.006。同时要有防振地基及其他防振措施。（3）精密加工设备本身不仅有很高的精度，并且在设备内部采用恒温措施，逐渐形成独立的加工单元。如某些精密机床整个在一个大罩内，罩内保持恒温。（4）要合理安排热处理工艺。精密加工和热处理工艺有密切关系。时效、冰冷处理等是使工件精度稳定的有效措施。3精密测量是精密加工的必要条件，没有相应的精密测量手段，就不能科学地衡量精密加工所达到的精度和表面质量。4现代精密加工常常与微

35、细加工结合在一起，要有与精度相适应的微量切削，因此出现了一系列的精密加工和微细加工的方法，如金刚石精密车削、精密抛光、弹性发射加工、机械化学加工以及电子束、离子束等加工方法。3.2 精密切削加工3.2.1 精密切削加工 精密、超精密切削加工主要是利用立方氮化硼（CBN）、人造（聚晶）金刚石和单晶金刚石刀具进行的切削加工。3.2.2 精密、超精密切削加工应用实例尖端产品和现代化武器依赖于超精密加工，如：(1)导弹的命中精度，由惯性仪决定，而惯性仪是超精密加工产品，1Kg重的陀螺转子，其质量中心偏离其对称轴0.5nm，会引起100m的射程误差和50m的轨道误差；(2)哈脖望远镜重量达900Kg的大

36、型反射镜的加工(3)精密雷达、精确制导、电子对抗、TMD、NMD、间谍卫星等(4)人造卫星仪表轴承(5)红外导弹中红外线反射镜(6)超小型计算机等(7)海湾战争、克索沃战争、伊拉克战争中美国及其盟国武器系统中大部分与超精密加工技术有关。如：精密雷达、精确制导、电子对抗、隐形飞机、夜战能力、间谍卫星、红外制导等。(8)美国及其盟国的胜利在某种意义上看，可以说是高技术战争、是高科技的胜利。没有超精密加工技术，就没有真正的国防工业。大规模集成电路依赖于微细加工：集成度与最小线条宽度,如表3-3。表3-3分类名称分类名称单元芯片上单元芯片上的单元逻辑的单元逻辑门路数门路数单元芯片上单元芯片上的电子元件

37、的电子元件数数最小线条宽最小线条宽度（度（m m）小规模集成小规模集成电路电路1010121210010088中规模集成中规模集成电路电路12121001001001001000100066大规模集成大规模集成电路电路10010010104 41000100010106 63 36 6超大规模集超大规模集成电路成电路10104 410105 50.10.12.52.5各种民用产品计算机磁盘基片、录像机磁鼓、激光反射镜隐形眼睛、光盘、各种天文望远镜显微镜、光学仪器、复印机等3.3.1 精密磨削加工磨削后使工件尺寸公差小于10，表面粗糙度Ra值小于0.1的磨削通常称为精密磨削。现代高精度磨削技术的

38、发展，使磨削尺寸精度达到0.10.3，表面粗糙度达 Rz0.20.05。磨削表面变质层 和残留应力均甚 小，明显提高了 加工零件的质量。精密磨削加工3.3 精密磨削加工3.3.2 精密磨削加工工艺1）工件在磨削前要修研中心孔，使其表面的接触要足够多。2）砂轮的修整要仔细，作好砂轮静、动平衡。3）磨削前要使机床进行空转，使机床各项性能都处于稳定状态，再进行磨削加工。4）磨削时严格控制径向进给，机床刻度不准时，在径向可装上千分表来进行控制。5）切削液要进行很好的过滤和定期更换，一定保持清洁，避免污物、杂物划伤表面。3.3.3 精密磨削加工实例1）圆柱形镜面磨削加工方法：磨削速度选V=2535m/s

39、，粗磨时fr=0.020.07mm，精磨时fr=310m；当用油石研、抛时，V=1050m/min，材料的去除速度为0.1m1m/min。超精磨削可达到0.01m的圆度和Ra 0.002m的表面粗糙度。2）平面形镜面的磨削加工：平面形镜面的加工主要采用磨削和研抛工艺方法来加工，目前此法所能达到的最高平面度0.2m/300mm，表面粗糙度Ra1nm。3.4 珩磨3.4.1 珩磨 珩磨是利用珩磨工具对工件表面施加一定的压力，珩磨工具同时作相对旋转和直线往复运动，切除工件上极小余量的一种光整加工方法。3.4.2 珩磨工艺特点 珩磨加工是一种使工件加工表面达到高精度、高表面质量、高寿命的一种高效加工方

40、法。可有效地提高尺寸精度、形状精度和减小Ra值，但不能提高孔与其他表面的位置精度。可加工铸铁件、淬硬和不淬硬钢件及青铜件等，但不宜加工韧性大的有色金属件。珩磨主要用于孔加工。在孔珩磨加工中，是以原加工孔中心来进行导向。加工孔径范围为5 500，深径比可达10。珩磨广泛用于大批大量生产中加工汽缸孔、油缸筒、阀孔以及多种炮筒等。亦可用于单件小批生产中。珩磨时同轴度无法确定。珩磨与研磨相比，珩磨具有可减轻工人体力劳动、生产率高、易实现自动化等特点。3.4.3珩磨的用途 珩磨主要用于加工孔径为5500毫米或更大的各种圆柱孔，如缸筒、阀孔、连杆孔和箱体孔等，孔深与孔径之比可达10，甚至更大。在一定条件下

41、，珩磨也能加工外圆、平面、球面和齿面等。圆柱珩磨的表面粗糙度一般可达Ra0.320.08微米，精珩时可达Ra0.04微米以下,并能少量提高几何精度,加工精度可达IT74。平面珩磨的表面质量略差。3.5 超精研3.5.1 超精研 超精研是在良好的润滑冷却和较低的压力条件下，用细粒度油石以快而短促的往复振动频率，对低速旋转的工件进行光整加工，它是一种用以降低工件表面粗糙度值的简单而高生产率的方法。超精研加工3.5.2 超精研切削过程 超精研的切削过程与磨削、研磨不同，当工件粗糙表面磨去之后，油石能自动停止切削，超精研大致分为四个阶段：1）初期切削阶段当油石开始同比较粗糙的工件表面接触时，虽然压力不

42、大，但实际接触面积小，压强较大，因而工件与油石之间不能形成完整的润滑油膜；加之油石磨粒的切削方向经常变化，磨粒破碎的机会较多，油石的自励性好，所以切削作用较强。2）正常切削阶段当少数凸峰磨平后，接触面积增加，压强降低，油石磨粒不再破碎、脱落而进入正常切削阶段。3）微弱切削阶段随着接触面积逐渐增大，压强进一步降低，油石磨粒已经变钝，切削作用微弱，细小的切屑形成氧化物而嵌入油石的气孔内使油石表面逐渐变光滑，油石从微弱的切削过渡到对工件表面起研磨抛光作用。4）停止切削阶段油石和工件表面已很光滑，接触面积大为增加，压强很小，磨粒已不能穿破工件表面的油膜，工件与油石之间有油膜，不再接触，切削作用停止。3

43、.5.3 超精研的应用超精研广泛用于加工内燃机的曲轴、凸轮轴、刀具、轧辊、轴承、精密量仪及电子仪器等精密零件；能对不同的材料如钢、铸铁、黄铜、磷青铜、铝、陶瓷、玻璃、花岗岩等进行加工，能加工外圆、内孔、平面及特殊轮廓表面等。3.6 研磨3.6.1 研磨 研磨是一种简便可靠的精密加工方法，研磨后的表面的尺寸误差和几何形状误差，在研具精度足够高的情况下可以小到0.10.3，表面粗糙度可达Ra0.040.01。在现代工业中往往采用研磨作为加工最精密和最光洁的零件的终加工方法。3.6.2 超精密研磨超精密研磨是一种加工精度达0.1以下，表面粗糙度Ra在0.02以下的研磨方法。3.7 纳米加工3.7.1

44、 原子、分子加工单位的加工方法 在进行纳米级加工时，要求精度为1nm，这时，必须用比它小一个数量级的尺寸作为加工单位，即用0.1nm的大小为加工单位，这就是原子、分子加工单位的精密加工。目前，这类加工主要是用电子束或离子束加工大规模集成电路芯片，以得到线宽从0.5到0.1的超密型线路。3.7.2 原子、分子加工单位的超精密微细加工方法分类：1.分离（去除）加工分离（去除）加工就是从工件上分离（去除）分子或原子，这需要很大能量，所需能量可用临界加工能量密度（单位为Jcm3）或单位体积切削能量（单位为J/cm3）来表示。临界加工能量密度就是当应力超过材料弹性极限时，在与各加工单位相对应的空间内，材

45、料由于微观结构的缺陷而产生破坏时的临界弹性能量密度；而单位体积切削能量则是指在产生该加工单位切屑时，消耗在单位体积上的加工能量。由于材料微观结构的缺陷，实际的临界加工能量密度和单位体积切削能量比理论值要低得多。材料微观结构缺陷通常有：晶体缺陷、点缺陷、位错（晶格位移）缺陷和微裂纹、晶界空隙、裂纹和缺口。分离（去除）加工的方法有电子束加工、激光加工、热射线加工和离子溅射加工等，也包括单晶金刚石精密切削、超精密抛光、电解加工等。2.沉积和结合加工 沉积和结合加工与分离（去除）加工相反，它是把分子或原子沉积覆在工件表面上，或者与工作表面结合，形成新的化合物。其加工方法有化学镀、电镀、阳极氧化、分子束

46、外延、烧结、掺杂、渗碳、离子镀、离子束外延、离子束沉积、离子注入等。3.变形加工 变形加工是利用热表面流动、摩擦流动、粘滞性流动等使工件表面产生变形。其加工方法有利用气体火焰、高频电流、热射线、电子束、激光等的热流加工；液体、气体流加工（抛光）和微粒子流加工（抛光）等。3.7.3 原子、分子加工单位加工方法的应用(1)电子束加工 电子束加工是利用电子束的高能量密度直接进行打孔、切槽等热加工。电子是一个非常小的粒子（半径为2.810-13cm），质量也很小（910-29g），但其能量很高（达几千keV），而且电子束可以聚焦到直径12，因此有很高的能量密度。高能量的电子会透入表面层达几微米至几十微

47、米，并以热的形式传输到相当大的区域，所以在精密加工和超精密加工时应给予充分的注意。(2)离子束加工离子束加工被认为是极有前途的超精密加工方法。这种方法是利用氩（Ar）离子或其他带有10keV数量级动能的惰性气体离子，在电场中加速，以其动能轰击工件表面而进行的加工。有时也称这种方法为“溅射”。3.8 精密圆柱齿轮加工3.8.1 齿轮精度要求从齿轮的整个技术要求来说有：几何精度、表面粗糙度、耐磨性、强度及抗蚀性等。从单个齿轮的传动精度要求来说有四个综合性指标。1.运动精度 要求能准确地传递运动，即传动比恒定，在齿轮一转中，转角误差不超过一定限度。精密齿轮加工2.工作平稳性工作平稳性影响局部传动比的

48、变动量i，使齿轮传递运动不平稳，产生冲击，振动和噪声。影响工作平稳性的因素有齿形误差和基节偏差等。其误差大都具有短周期特性。3.齿接触精度齿接触精度影响载荷分布的均匀性，否则造成应力集中和局部磨损，要求有一定的实际接触面积对理想接触面积的百分比和接触位置。对单个齿轮来说，齿接触精度的检验只有一项，即齿向误差F及公差F。4.齿侧间隙 齿轮传动时要求相啮合的两齿非工作面间有一定的间隙，以储存润滑油，补偿温度变形和弹性变形，以及制造和安装中的一些误差。在单个齿轮上通常是适当地减小齿厚。3.8.2 精密圆柱齿轮加工方法1.齿面形成的三种加工方法 为了便于研究齿轮加工过程中的精度问题，根据运动特征，将齿

49、面加工归结于三种加工方法：(1)包络法 齿面由刀具的生产面（切削刃）的包络线形成，如用成形铣刀切削斜齿轮或蜗杆，要配合着单个分度，才能切出所有齿。(2)展成法 展成法是包络法的特殊情况，这时刀具生产面和工件有相对运动，是一个圆在一个平面上作无滑动的滚动。展成法又可分为两种。1）强迫对滚：连续强迫对滚：如滚齿、插齿、车齿等，刀具和工件之间的相对运动是由机床传动系统强迫保证的。带单个分度的强迫对滚：如用齿条形砂轮磨齿。2）自由对滚：如剃齿、研齿、珩齿等，工件是由刀具带动而对滚，工件本身处于可自由回转状态。(3)成形法 齿面由刀具生产面直接形成，即齿面与刀具生产面的接触线和刀具生产面的截面重合。如用

50、成形铣刀（盘状或指状）铣削直齿轮，一般带有单个分度，但也可以不用分度。如拉削扇形齿轮，用插齿头插，这时可同时加工全部的轮齿。加工时，工件装于主轴上作轴向往复运动，插齿头各刀具同时作进给运动和移让运动。这种方法用于大量生产中加工精度不高的齿轮。2.精密齿轮加工工艺 按照齿轮传动精度的要求，齿轮可分为：超精密（4级以上）、精密（5、6级）、普通精度（7、8级）和低精度（9级到12级）四种。1、2、3级留作储备。精密齿轮加工工艺可分为齿坯加工和齿形加工两个阶段，齿坯加工比较简单，其关键是保证内孔和外圆的同轴度、端面和内孔中心的垂直度。齿形加工则比较复杂，可根据淬硬和非淬硬齿轮分别采用下列工艺路线。(