电子能谱学模板.ppt
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1、电子能谱学电子能谱学1目录目录一、绪论一、绪论二、电子能谱分析理论基础二、电子能谱分析理论基础三、紫外光电子能谱三、紫外光电子能谱2绪论绪论3表面科学是一门近十几年迅速发展起来的边缘学科。它横跨传统的物理学、化学、材料科学和生物学等领域。定义一定义一:物体和真空或气体的界面称物体和真空或气体的界面称表面表面。我们着重研究固体表面。固体表面一般指表面的第一原子层或者几个原子层。固体表面的物理化学性质常常和体内不同,这是因为表面是固体的终端。在热力学平衡的条件下,表面的化学组成、原子排列、原子振动状态等都和体内不同。由于表面向外的一侧没有近邻原子,表面原子有一部分化学键伸向空间(形成“悬挂键”),
2、因此表面具有很活跃的化学性质(见图1)。固体内部三维周期势场在表面中断,因此表面原子的电子状态也和体内不同。这些不同使表面具有某种特殊的力学、光学、电磁、电子和化学性质。图1 表面原子层示意图表面与表面分析表面与表面分析4定义二定义二:广义地说,表面科学研究表面和与表面有关的过程,包括宏观的和微观的表面科学研究表面和与表面有关的过程,包括宏观的和微观的。然而,近二十几年来,表面科学从原子水平来认识和说明表面原子的化学、几何排列、运动状态、电子态等性质及其与表面宏观性质的联系,推动了基础研究和新技术的发展。要研究表面就必须依靠实际测量来获取表面信息(见图2),表面分析技术表面分析技术就是研究表面
3、的形貌、就是研究表面的形貌、化学组分、原子结构(即原子排列)、原子态(即原子运动和价态)、电子态(又称电子结构)化学组分、原子结构(即原子排列)、原子态(即原子运动和价态)、电子态(又称电子结构)等信息的一种实验技术。等信息的一种实验技术。它利用电子束、粒子束、光子束、中性粒子束作为探测束(或激发源)有时加上电场、磁场、热和机械的作用来探测处于真空或超高真空中的样品,故又称真空表真空表面分析技术面分析技术。图2 表面分析、薄膜分析和块体分析的研究区域5表面分析方法的共同特征表面分析方法的共同特征可以概括如下:用一束“粒子”或某种手段作为探针来探测样品表面,这探针可以是电子、离子、光子、中性粒子
4、、电场、磁场、热或声波(机械力),在探针的作用下,从样品表面发射或散射粒子或波,它们可以是电子、离子、中性粒子、光子、或声波,检测这些粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特征,或波的频率、方向、强度、偏振等情况,就可以得到有关表面的信息。一般,各种分析手段的目的和灵敏度不同,常把几种分析手段配合使用。表面分析方法可按探测表面分析方法可按探测“粒子粒子”或发射或发射“粒子粒子”来分类来分类。e e电子,电子,I I离子,离子,光子,光子,n中性粒子,中性粒子,AW声波声波SampleExcitationsourceEnergy SelectorSignal Detector图3 表面分析技术原理
5、图6e电子,I离子,光子,n中性粒子,AW声波7e电子,I离子,光子,n中性粒子,AW声波8e电子,I离子,光子,n中性粒子,AW声波9电子能谱电子能谱是多种表面分析技术多种表面分析技术集合的总称。电子能谱是通过分析各种轰击粒子(单能光子、电子、离子、原子等)与原子、分子或固体间碰撞后所发射出的电子的能量来测定原子或分子中电子结合能的分析技术。现在最常用的电子能谱有以下几种:A俄歇电子谱俄歇电子谱Auger Electron Spectra,简写成AES;B低能电子衍射低能电子衍射Low Energy Electron Diffraction,简写为LEED。若在常规的低能衍射中用自旋极化电子
6、束代替一般的低能电子束,则实现自旋极化低能电子衍射Spin Polarized Low Energy Electron Diffraction,简写为SPLEED;C光电子能谱光电子能谱Photo-Electron Spectron,简写为PES。光电子谱中又分为X射线光电子谱X-ray Photoelectron spctra,简写为XPS。由于历史原因,该光电子谱常用于化学分析,又称为化学分析电子谱Electron Spectra for Chemical Analyses,简写为ESCA;真空紫外光电子谱 Vacuum Ultraviolet Photoelectron Spectra,
7、简写为UPS;同步辐射光电子谱 Synchrotron Radiation Photoelectron Spectra,简写为SRPES;激光光电子谱Laser Photoelectron Spectra,简称为LPS。D离子散射谱离子散射谱Ion Scattering Spectra,简称为ISS;E电子能量损失谱电子能量损失谱E1ectron Energy Loss Spectra,简称为EELS。电子能谱学的概念电子能谱学的概念10一方面是一方面是Siegbahn等人所创立的等人所创立的X射线光电子能谱射线光电子能谱,主要用于,主要用于测量内壳层电子结合能测量内壳层电子结合能。另一方面是
8、另一方面是Tunner等人所发展的等人所发展的紫外光电子能谱紫外光电子能谱,主要用于,主要用于研究价电子的电离电能研究价电子的电离电能。这两种技术的原理和仪器基本相同,这两种技术的原理和仪器基本相同,XPS采用采用X射线激发样品,射线激发样品,UPS采用真空紫外线激采用真空紫外线激发样品由于紫外线的能量比较低,因此它只能研究原子和分子的价电子及固体的价带,发样品由于紫外线的能量比较低,因此它只能研究原子和分子的价电子及固体的价带,不能深入原子的内层区域。但是紫外线的单色性比不能深入原子的内层区域。但是紫外线的单色性比X射线好得多,因此紫外光电子能谱的分射线好得多,因此紫外光电子能谱的分辨率比辨
9、率比X射线光电子能谱要高得多。此外,射线光电子能谱要高得多。此外,紫外光电子谱测定的实验数据,经过谱图的理论紫外光电子谱测定的实验数据,经过谱图的理论分析,可以直接和分子轨道的能级、类型以及态密度等对照。因此,在量子力学、固体物分析,可以直接和分子轨道的能级、类型以及态密度等对照。因此,在量子力学、固体物理、表面科学与材料科学等领域有着广泛地应用。理、表面科学与材料科学等领域有着广泛地应用。这两方面获得的信息既是类似的,也有不同之处因此在分析化学、结构化学和表面这两方面获得的信息既是类似的,也有不同之处因此在分析化学、结构化学和表面研究以及材料研究等应用方面,它们是互相补充的。研究以及材料研究
10、等应用方面,它们是互相补充的。光电子能谱学科的发展光电子能谱学科的发展11电子能谱分析理论基础电子能谱分析理论基础121、原子壳层和电子能级轨道、原子壳层和电子能级轨道 物质是由原子、分子组成的,而原子又是由原子核和围绕原子核作轨道运动的电子组成的。电子在轨道中运动的能量是不连续的、量子化的。电子在原子中的状态常用量子数来进行描述。主量子数主量子数 n=1,2,3,4,可用字母符号K,L,M,N 等表示,以标记原子的主壳层主壳层,它是能量的主要因素。角量子数角量子数 l=0,1,2,3,(n-1),通常用 s,p,d,f 等符号表示,象征电子云或电子轨道的形状,例如 s 为球形,p为哑铃形等,
11、它决定能量的次要因素。总总角量子数角量子数 j,j=|ls|,s为电子自旋量子数自旋量子数,s=1/2。一个电子所处原子中的能级可以用 n,l,j 三个量子数来标记(nlj)。L-S耦合:较轻原子,电子间库仑作用大于L和S间相互作用。J-J耦合:重原子,L和S间耦合作用大于电子间库仑作用。一、原子能级及其表示一、原子能级及其表示13142、光谱学符号、光谱学符号 在XPS中中光电子是用其量子数来描述的,电子跃迁通常以nlj的方案来标记。在XPS谱图中可观察到它们对应双重分裂峰,如2p1/2和2p3/2、3d5/2和3d3/2、4f5/2和4f7/2等等。对于s电子,能级通常不会分裂,只能观察到
12、单一谱峰,如1s1/2、2s1/2等。3、X射线符号射线符号 在X射线符号体系中主量子数分别用字母K、L、M、N、O、P等来标记,其它量子数统一用下标顺序表示。例如K、L1、L2、M4、M5等等。由于在AES中中俄歇跃迁所涉及的电子能级比较多(三个)俄歇跃迁所涉及的电子能级比较多(三个),所以电子能级通常用X射线符号标记比较方便。俄歇跃迁的电子谱峰可以用所涉及的三个电子的X射线符号序列来标志,例如KL1L3、L2M4M5等。常用电子能谱符号表示方法常用电子能谱符号表示方法 电子能谱测量的是材料表面出射的电子能量,所以必需要有一些规范来描述所涉及到的每一个轨道跃迁电子。XPS中所用的符号表示与A
13、ES中的不同,XPS用所谓的光谱学符号标记,而AES中俄歇电子则用X射线符号标记。15 表面分析技术一般是通过微观粒子(光子、电子、离子、中性原子等)与表面的相互作用来获取表面信息的。当具有某一能量的粒子(探针如光子、电子、离子等)入射到物质表面上以后,就会与物质中的分子或原子发生相互作用,测量从物质中产生的不同粒子(它携带着表面物质的信息),就可推知物质的许多物理和化学性质。1.电离过程电离过程电离过程一次过程(Primary process)任何有足够能量的辐射或粒子,当与样品原子、分子或固体碰撞时,原则上都能引起电离或激发。但光子与分子及电子与分子之间的作用有很大的不同。二、原子的激发和
14、弛豫效应二、原子的激发和弛豫效应 16(1)光电离光电离直接电离是一步过程。A+h A+*+e(分立能量)Ek=h EB其中:A为原子或分子,h是光子能量。光子与物质原子(分子)碰撞后,将全部能量传给原子中的电子,而自身湮没,它是一个共振吸收过程,满足条件h=E。电离过程中产生的光电子强度与整个过程发生的几率有关,后者常称为电离截面。一个原子亚壳层的总截面nl与电子的主量子数n和角量子数l有关。式中:n,l为(n,l)壳层电子的结合能,为光子动能,R,l1是取决于束缚态和自由电子态波函数的矩阵元。由此当n一定时,随l值增大,n,l也增大;当l一定时,随n值增大,n,l值变小。对于电离截面:由于
15、光电子发射必须由原子的反冲来支持,所以同一原子中轨道半径愈小的壳层愈大;轨道电子结合能与入射光能量愈接近,电离截面愈大,这是因为入射光总是激发尽可能深的能级中的电子;对于同一壳层,原子序数Z愈大的元素,电离截面愈大。17(2)光电效应光电效应原子中的电子被束缚在不同的量子化能级上。原子吸收一个能量为h的光子后可引起有n个电子的系统的激发,从初态-能量Ei(n)跃迁到终态离子-能量Ef(n-1,k),再发射出一动能为EK的自由光电子,k 标志电子发射的能级。只要光子能量足够大(h EB),就可发生光电离过程:18(1)光吸收过程非常快(10-16s);(2)若光子能量小于材料的表面功函数,hh,
16、无从该能级的光电发射;(4)光电发射强度 与光子强度成正比;(5)需要单色的(X-ray)入射光束;(6)每种元素都有唯一的一套芯能级,其结合能可用作元素的指纹;(7)结合能随能级变化:EB(1s)EB(2s)EB(2p)EB(3s)(8)轨道结合能随Z增加:EB(Na 1s)EB(Mg 1s)EB(Al 1s)(9)轨道结合能并不受同位素影响:EB(7Li 1s)=EB(6Li 1s).(3)固体中的光电发射固体中的光电发射 19电子(几千电子伏以下)与物质的相互作用 电子和固体表面作用后,可从固体表面发射出:中性粒子、离子、光子和电子。(1)从固体表面发射出的中性粒子主要是吸附在固体表面的
17、原子和分子被电子脱附的结果,如果这些中性粒子在脱附的同时又产生电离,就得到离子。(2)光子的发射是固体原子内壳层的受激电子退激发的结果。(3)从固体表面发射出来的电子则由背散射电子和二次电子组成。(4)电子与固体表面作用后除了可从固体表面发射上述粒子外,还可能在固体表面产生等离子激元(plasmon)、声子(phonon)、激子(exciton)等元激发过程。入射电子与物质的相互作用分弹性散射弹性散射(Ep1 keV)两种。(1)电子与固体中的原子发生弹性散射时,原子内能不变,即原子不被激发,电子和原子的总动能和总动量在散射前后保持守恒。(2)在非弹性散射中,入射电子和表面原子相互作用后损失了
18、部分能量,它将转化为等离子激元激发、单电子激发、声子及表面振动的激发和连续X光激发等能量形式。(4)电子电离电子电离 202、弛豫过程弛豫过程 弛豫过程二次过程(secondary process)由电离过程产生的终态离子(A+*)是不稳定的,处于高激发态,它会自发发生弛豫(退激发)而变为稳定状态。这一弛豫过程分辐射弛豫和非辐射弛豫两种,前者发射荧光,后者发射出俄歇电子。(i)荧光过程(辐射弛豫):处于高能级上的电子向电离产生的内层电子空穴跃迁,将多余能量以光子形式放出。A+*A+h (特征射线)(ii)俄歇过程(非辐射弛豫):A+*A+*+e(Auger电子)俄歇电子能量并不依赖于激发源的能
19、量和类型。21 电子结合能(EB)代表了原子中电子(n,l,m,s)与核电荷(Z)之间的相互作用强度,可用XPS直接实验测定,也可用量子化学从头计算方法进行计算。理论计算结果可以和XPS测得的结果进行比较,更好地解释实验现象。电子结合能是体系的初态(原子有n个电子)和终态(原子有n-1个电子(离子)和一自由光电子)间能量的简单差。EB=Ef(n-1)Ei(n)若无伴随光电发射的弛豫存在,则EB=轨道能量,它可用非相对论的Hartree-Fock自洽场(HF-SCF)方法计算出来。三、结合能与化学位移三、结合能与化学位移221.Koopman定理定理 原子体系发射光电子后,原稳定的电子结构被破坏
20、,这时求解状态波函数和本征值遇到很大的理论困难。Koopman认为在发射电子过程中,发射过程是如此突然,以至于其它电子根本来不及进行重新调整。即电离后的体系同电离前相比,除了某一轨道被打出一个电子外,其余轨道电子的运动状态不发生变化,而处于一种“冻结状态冻结状态”(突然近似(Sudden Approximation)。这样,电子的结合能应是原子在发射电子前后的总能量之差。由于终态N-1个电子的能量和空间分布与电子发射前的初态相同,则 此即Koopmans定理。测量的EB值与计算的轨道能量有10-30 eV的偏差,这是因为这种近似完全忽略了电离后终态的影响,实际上初态和终态效应都会影响测量的EB
21、值。电子由内壳层出射,结果使原来体系的平衡场破坏,形成的离子处于激发态。其余轨道的电子将作重新调整,电子轨道半径会出现收缩或膨胀,这种电子结构的调整,称为电子弛豫电子弛豫。弛豫结果使离子回到基态,并释放出弛豫能Erelax。由于弛豫过程大体和光电发射同时进行,所以弛豫使出射的光电子加速,提高了光电子动能。此外,还应考虑到相对论效应和电子相关作用,综合考虑这些效应进行修正后得到:这样就和实验测的值符合一致了。232.初态效应初态效应 如方程EB=Ef(n-1)Ei(n)所表明,初态和终态效应都对观察的结合能EB 有贡献。初态即是光电发射之前原子的基态。如果原子的初态能量发生变化,例如与其它原子化
22、学成键,则此原子中的电子结合能EB就会改变。EB的变化EB称为化学位移化学位移。原子因所处化学环境不同而引起的内壳层电子结合能变化,在谱图上表现为谱峰的位移,这种现象即为化学位移化学位移。所谓某原子所处化学环境不同有两方面的含义:一是指与它相结合的元素种类和数量不同;二是指原子具有不同的化学价态。在初级近似下,元素的所有芯能级EB具有相同的化学位移。24 通常认为初态效应是造成化学位移的原因通常认为初态效应是造成化学位移的原因。所以随着元素形式氧化态的增加,从元素中出射的光电子的EB亦会增加。这假设像弛豫这样的终态效应对不同的氧化态有相似的大小。对大多数样品而言,EB仅以初态效应项表示是足够的
23、.但是,仅用初态效应解释化学位移必须谨慎,在一些例子中终态效应可极大地改变形式氧化态与EB的关系。由于弛豫和极化对空穴的屏蔽,初态和终态价电子分布在AES和XPS中是不同的。XPS和AES中的化学位移都可解释为初态效应和弛豫的混合效应。AES由于外原子弛豫,其化学位移的范围可比XPS大,遗憾的是AES的化学位移复杂,较难给出直观解释。化学位移的某些经验规律 a).同一周期内主族元素原子的内层结合能位移EB将随它们的化合价升高成线性增加。而过渡金属元素的化学位移随化合价的变化出现相反规律。b).分子中某原子的内层电子结合能位移量EB同和它相结合的原子电负性之和 X有一定的线性关系。(Group
24、shift method)253.终态效应终态效应 由结合能的定义式EB=Ef(n-1)Ei(n),在光电发射过程中,由于终态的不同,电子结合能的数值就有差别。电子的结合能与体系的终态密切相关。因此这种由电离过程中引起的各种激发产生的不同体系终态对电子结合能的影响称为终态效应。弛豫便是一种终态效应。事实上,电离过程中除了弛豫现象外,还会出现诸如多重分裂,电子的震激(Shake up)和震离(Shake off)等激发状态。这些复杂现象的出现同体系的电子结构密切相关,它们在光电子谱图上表现为除正常光电子主峰外,还会出现若干伴峰,使得谱图变得复杂。解释谱图并由此判断各种可能的相互作用,获得体系的结
25、构信息,是实用光电子谱经常遇到的问题。26(1).多重分裂多重分裂(静电分裂静电分裂)一个多电子体系内存在着复杂的相互作用,它们包括原子核和电子的库仑作用,各电子间的排斥作用、轨道角动量之间、自旋角动量之间的作用,以及轨道角动量和自旋角动量之间的耦合作用等等。因此一旦从基态体系激出一个电子,上述各种相互作用便将受到不同程度的扰动而使体系出现各种可能的激发状态。当原子或自由离子的价壳层拥有未配对的自旋电子,即当体系的总角动量J不为零时,那么光致电离所形成的内壳层空位会和价轨道未配对自旋电子发生耦合,使体系出现不只一个终态。相应于每个终态,在光电子谱图上将有一条谱线对应,这就是多重分裂。27(2)
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