金华半导体光刻胶项目招商引资方案【参考范文】.docx
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1、泓域咨询/金华半导体光刻胶项目招商引资方案金华半导体光刻胶项目招商引资方案xxx有限责任公司报告说明以集成电路为例,光刻工艺步骤和光刻胶的使用场景如下:1)气体硅片表面预处理:在光刻前,硅片会经历一次湿法清洗和去离子水冲洗,目的是去除沾污物。在清洗完毕后,硅片表面需要经过疏水化处理,用来增强硅片表面同光刻胶(通常是疏水性的)的黏附性。2)旋涂光刻胶,抗反射层:在气体预处理后,光刻胶需要被涂敷在硅片表面。涂敷的方法是最广泛使用的旋转涂胶方法,光刻胶(大约几毫升)先被管路输送到硅片中央,然后硅片会被旋转起来,并且逐渐加速,直到稳定在一定的转速上(转速高低决定了胶的厚度,厚度反比于转速的平方根)。3
2、)曝光前烘焙:当光刻胶被旋涂在硅片表面后,必须经过烘焙。烘焙的目的在于将几乎所有的溶剂驱赶走。这种烘焙由于在曝光前进行叫做“曝光前烘焙”,简称前烘,又叫软烘(softbake)。前烘改善光刻胶的黏附性,提高光刻胶的均匀性,以及在刻蚀过程中的线宽均匀性控制。4)对准和曝光:在投影式曝光方式中,掩膜版被移动到硅片上预先定义的大致位臵,或者相对硅片已有图形的恰当位臵,然后由镜头将其图形通过光刻转移到硅片上。对接近式或者接触式曝光,掩膜版上的图形将由紫外光源直接曝光到硅片上。5)曝光后烘焙:曝光完成后,光刻胶需要经过又一次烘焙。后烘的目的在于通过加热的方式,使光化学反应得以充分完成。曝光过程中产生的光
3、敏感成分会在加热的作用下发生扩散,并且同光刻胶产生化学反应,将原先几乎不溶解于显影液体的光刻胶材料改变成溶解于显影液的材料,在光刻胶薄膜中形成溶解于和不溶解于显影液的图形。由于这些图形同掩膜版上的图形一致,但是没有被显示出来,又叫“潜像”(latentimage)。6)显影:由于光化学反应后的光刻胶呈酸性,显影液采用强碱溶液。一般使用体积比为2.38%的四甲基氢氧化铵水溶液。光刻胶薄膜经过显影过程后,曝过光的区域被显影液洗去,掩膜版的图形便在硅片上的光刻胶薄膜上以有无光刻胶的凹凸形状显示出来。7)坚膜烘焙:在显影后,由于硅片接触到水分,光刻胶会吸收一些水分,这对后续的工艺,如湿发刻蚀不利。于是
4、需要通过坚膜烘焙(hardbake)来将过多的水分驱逐出光刻胶。由于现在刻蚀大多采用等离子体刻蚀,又称为“干刻”,坚膜烘焙在很多工艺当中已被省去。制程升级是确定发展方向,光刻设备和光刻胶是核心因素。随着高集成度、超高速、超高频集成电路及元器件的开发,集成电路与元器件特征尺寸呈现出越来越精细的趋势,加工尺寸达到百纳米直至纳米级,光刻设备和光刻胶产品也为满足超微细电子线路图形的加工应用而推陈出新。光刻胶的分辨率直接决定了特征尺寸的大小,通常而言,曝光波长越短,分辨率越高,因此为适应集成电路线宽不断缩小的要求,光刻胶的曝光波长由紫外宽谱向线(436nm)线(365nm)KrF(248nm)ArF(1
5、93nm)F2(157nm)的方向转移,并通过分辨率增强技术不断提升光刻胶的分辨率水平。根据谨慎财务估算,项目总投资13220.67万元,其中:建设投资10019.95万元,占项目总投资的75.79%;建设期利息119.94万元,占项目总投资的0.91%;流动资金3080.78万元,占项目总投资的23.30%。项目正常运营每年营业收入28000.00万元,综合总成本费用23560.09万元,净利润3243.23万元,财务内部收益率17.14%,财务净现值2251.88万元,全部投资回收期6.15年。本期项目具有较强的财务盈利能力,其财务净现值良好,投资回收期合理。通过分析,该项目经济效益和社会
6、效益良好。从发展来看公司将面向市场调整产品结构,改变工艺条件以高附加值的产品代替目前产品的产业结构。本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息,并依托行业分析模型而进行的模板化设计,其数据参数符合行业基本情况。本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途。目录第一章 项目基本情况10一、 项目名称及投资人10二、 编制原则10三、 编制依据11四、 编制范围及内容11五、 项目建设背景12六、 结论分析13主要经济指标一览表15第二章 建设方案与产品规划17一、 建设规模及主要建设内容17二、 产品规划方案及生产纲领17产品规划方案一览表17第三章 选址方案19一、 项目选址原则19
7、二、 建设区基本情况19三、 融入“双循环”新发展格局,打造浙中消费中心城市25四、 项目选址综合评价27第四章 建筑工程方案28一、 项目工程设计总体要求28二、 建设方案29三、 建筑工程建设指标30建筑工程投资一览表30第五章 运营管理32一、 公司经营宗旨32二、 公司的目标、主要职责32三、 各部门职责及权限33四、 财务会计制度37第六章 法人治理44一、 股东权利及义务44二、 董事49三、 高级管理人员52四、 监事55第七章 环境保护分析58一、 环境保护综述58二、 建设期大气环境影响分析58三、 建设期水环境影响分析59四、 建设期固体废弃物环境影响分析59五、 建设期声
8、环境影响分析60六、 环境影响综合评价60第八章 项目节能说明62一、 项目节能概述62二、 能源消费种类和数量分析63能耗分析一览表63三、 项目节能措施64四、 节能综合评价65第九章 工艺技术方案分析67一、 企业技术研发分析67二、 项目技术工艺分析69三、 质量管理70四、 设备选型方案71主要设备购置一览表72第十章 原辅材料及成品分析74一、 项目建设期原辅材料供应情况74二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理74第十一章 劳动安全生产75一、 编制依据75二、 防范措施78三、 预期效果评价80第十二章 投资计划82一、 编制说明82二、 建设投资82建筑工程投资一览表83主要
9、设备购置一览表84建设投资估算表85三、 建设期利息86建设期利息估算表86固定资产投资估算表87四、 流动资金88流动资金估算表89五、 项目总投资90总投资及构成一览表90六、 资金筹措与投资计划91项目投资计划与资金筹措一览表91第十三章 经济效益分析93一、 经济评价财务测算93营业收入、税金及附加和增值税估算表93综合总成本费用估算表94固定资产折旧费估算表95无形资产和其他资产摊销估算表96利润及利润分配表98二、 项目盈利能力分析98项目投资现金流量表100三、 偿债能力分析101借款还本付息计划表102第十四章 项目招标及投标分析104一、 项目招标依据104二、 项目招标范围
10、104三、 招标要求105四、 招标组织方式107五、 招标信息发布109第十五章 总结评价说明110第十六章 附表附件112主要经济指标一览表112建设投资估算表113建设期利息估算表114固定资产投资估算表115流动资金估算表116总投资及构成一览表117项目投资计划与资金筹措一览表118营业收入、税金及附加和增值税估算表119综合总成本费用估算表119利润及利润分配表120项目投资现金流量表121借款还本付息计划表123第一章 项目基本情况一、 项目名称及投资人(一)项目名称金华半导体光刻胶项目(二)项目投资人xxx有限责任公司(三)建设地点本期项目选址位于xx(以最终选址方案为准)。二
11、、 编制原则1、坚持科学发展观,采用科学规划,合理布局,一次设计,分期实施的建设原则。2、根据行业未来发展趋势,合理制定生产纲领和技术方案。3、坚持市场导向原则,根据行业的现有格局和未来发展方向,优化设备选型和工艺方案,使企业的建设与未来的市场需求相吻合。4、贯彻技术进步原则,产品及工艺设备选型达到目前国内领先水平。同时合理使用项目资金,将先进性与实用性有机结合,做到投入少、产出多,效益最大化。5、严格遵守“三同时”设计原则,对项目可能产生的污染源进行综合治理,使其达到国家规定的排放标准。三、 编制依据1、国家经济和社会发展的长期规划,部门与地区规划,经济建设的指导方针、任务、产业政策、投资政
12、策和技术经济政策以及国家和地方法规等;2、经过批准的项目建议书和在项目建议书批准后签订的意向性协议等;3、当地的拟建厂址的自然、经济、社会等基础资料;4、有关国家、地区和行业的工程技术、经济方面的法令、法规、标准定额资料等;5、由国家颁布的建设项目可行性研究及经济评价的有关规定;6、相关市场调研报告等。四、 编制范围及内容根据项目的特点,报告的研究范围主要包括:1、项目单位及项目概况;2、产业规划及产业政策;3、资源综合利用条件;4、建设用地与厂址方案;5、环境和生态影响分析;6、投资方案分析;7、经济效益和社会效益分析。通过对以上内容的研究,力求提供较准确的资料和数据,对该项目是否可行做出客
13、观、科学的结论,作为投资决策的依据。五、 项目建设背景从含量来看,根据Trendbank数据,光刻胶主要原材料占比从大到小分别是溶剂(50%-90%)、树脂(10%-40%)、光引发剂(1%-6%)以及添加剂(1%)。溶剂是光刻胶中容量最大的成分,使光刻胶处于液态,并使光刻胶能通过旋转涂在晶圆表面形成薄层。感光剂在曝光过程中控制或调节光刻胶的化学反应,用于产生或控制聚合物特定反应。感光剂添加到光刻胶中用来限制反应光的波谱范围或把反应光限制到某一特定波长的光。聚合物用于当光刻机曝光时,聚合物结构由可溶变成聚会(或反之),是由一组大且重的分子组成,分子里包括碳、氢、氧,典型聚合物如塑料。此外,光刻
14、胶中还含有添加剂。不同类型的添加剂和光刻胶混合在一起来达到某种特定的结果。部分负胶包含染色剂,功能是在光刻胶薄膜中用来吸收和控制光线。正胶可能含有化学的抗溶解系统,这样的添加剂可以阻止光刻胶没有被曝光的部分在显影过程中被溶解。从成本来看,高端光刻胶中树脂占成本比重较大。根据南大光电公告,ArF光刻胶树脂以丙二醇甲醚醋酸酯为主,质量占比仅5%-10%,但成本占光刻胶原材料总成本的97%以上。六、 结论分析(一)项目选址本期项目选址位于xx(以最终选址方案为准),占地面积约32.00亩。(二)建设规模与产品方案项目正常运营后,可形成年产xx吨半导体光刻胶的生产能力。(三)项目实施进度本期项目建设期
15、限规划12个月。(四)投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算,项目总投资13220.67万元,其中:建设投资10019.95万元,占项目总投资的75.79%;建设期利息119.94万元,占项目总投资的0.91%;流动资金3080.78万元,占项目总投资的23.30%。(五)资金筹措项目总投资13220.67万元,根据资金筹措方案,xxx有限责任公司计划自筹资金(资本金)8325.06万元。根据谨慎财务测算,本期工程项目申请银行借款总额4895.61万元。(六)经济评价1、项目达产年预期营业收入(SP):28000.00万元。2、年综合总成本费用(TC):23
16、560.09万元。3、项目达产年净利润(NP):3243.23万元。4、财务内部收益率(FIRR):17.14%。5、全部投资回收期(Pt):6.15年(含建设期12个月)。6、达产年盈亏平衡点(BEP):11607.54万元(产值)。(七)社会效益经初步分析评价,项目不仅有显著的经济效益,而且其社会救益、生态效益非常显著,项目的建设对提高农民收入、维护社会稳定,构建和谐社会、促进区域经济快速发展具有十分重要的作用。项目在社会经济、自然条件及投资等方面建设条件较好,项目的实施不但是可行而且是十分必要的。本项目实施后,可满足国内市场需求,增加国家及地方财政收入,带动产业升级发展,为社会提供更多的
17、就业机会。另外,由于本项目环保治理手段完善,不会对周边环境产生不利影响。因此,本项目建设具有良好的社会效益。(八)主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积21333.00约32.00亩1.1总建筑面积34731.561.2基底面积12586.471.3投资强度万元/亩288.552总投资万元13220.672.1建设投资万元10019.952.1.1工程费用万元8275.782.1.2其他费用万元1488.972.1.3预备费万元255.202.2建设期利息万元119.942.3流动资金万元3080.783资金筹措万元13220.673.1自筹资金万元8325.063.
18、2银行贷款万元4895.614营业收入万元28000.00正常运营年份5总成本费用万元23560.096利润总额万元4324.317净利润万元3243.238所得税万元1081.089增值税万元963.3410税金及附加万元115.6011纳税总额万元2160.0212工业增加值万元7354.8313盈亏平衡点万元11607.54产值14回收期年6.1515内部收益率17.14%所得税后16财务净现值万元2251.88所得税后第二章 建设方案与产品规划一、 建设规模及主要建设内容(一)项目场地规模该项目总占地面积21333.00(折合约32.00亩),预计场区规划总建筑面积34731.56。(
19、二)产能规模根据国内外市场需求和xxx有限责任公司建设能力分析,建设规模确定达产年产xx吨半导体光刻胶,预计年营业收入28000.00万元。二、 产品规划方案及生产纲领本期项目产品主要从国家及地方产业发展政策、市场需求状况、资源供应情况、企业资金筹措能力、生产工艺技术水平的先进程度、项目经济效益及投资风险性等方面综合考虑确定。具体品种将根据市场需求状况进行必要的调整,各年生产纲领是根据人员及装备生产能力水平,并参考市场需求预测情况确定,同时,把产量和销量视为一致,本报告将按照初步产品方案进行测算。产品规划方案一览表序号产品(服务)名称单位单价(元)年设计产量产值1半导体光刻胶吨xx2半导体光刻
20、胶吨xx3半导体光刻胶吨xx4.吨5.吨6.吨合计xx28000.00容量要求提升,光刻次数增加,相应光刻胶的用量随着光刻次数的增加大幅增长。DRAM:DRAM的技术发展路径是以微缩制程来提高存储密度。制程工艺进入20nm之后,制造难度大幅提升,DRAM芯片厂商对工艺的定义从具体的线宽转变为在具体制程范围内提升二或三代技术来提高存储密度。目前市场上DRAM的应用较为广泛的是2xnm和1xnm,三星、美光、海力士等龙头厂商均已开发出1znm制程的DRAM。NAND:NAND芯片制程已经达到极限,2DNAND的存储容量难以继续突破,NAND工艺逐渐转向3D堆叠架构,以更多的堆叠层数来得到更大的存储
21、容量,光刻次数随着层数增加而增加,KrF光刻胶的使用量将显著提升。第三章 选址方案一、 项目选址原则1、符合城乡建设总体规划,应符合当地工业项目占地使用规划的要求,并与大气污染防治、水资源和自然生态保护相一致。2、项目选址应避开自然保护区、风景名胜区、生活饮用水源地和其它特别需要保护的敏感性目标。3、节约土地资源,充分利用空闲地、非耕地或荒地,尽可能不占良田或少占耕地。4、项目选址选择应提供足够的场地以满足工艺及辅助生产设施的建设需要。5、项目选址应具备良好的生产基础条件,水源、电力、运输等生产要素供应充裕,能源供应有可靠的保障。6、项目选址应靠近交通主干道,具备便利的交通条件,有利于原料和产
22、成品的运输。通讯便捷,有利于及时反馈市场信息。7、地势平缓,便于排除雨水和生产、生活废水。8、应与居民区及环境污染敏感点有足够的防护距离。二、 建设区基本情况金华市位于浙江省中部,为省辖地级市,以境内金华山得名。界于东经119141204630,北纬28322941。东邻台州,南毗丽水,西连衢州,北接绍兴、杭州。南北跨度129公里,东西跨度151公里,土地面积10942平方公里。市区位于东阳江、武义江和金华江交汇处,面积2049平方公里,建成区面积104.3平方公里。金华地处金衢盆地东段,为浙中丘陵盆地地区,地势南北高、中部低。三面环山夹一川,盆地错落涵三江是金华地貌的基本特征。境内千米以上的
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