真空泵选型方法.pdf

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1、真空泵选型方法真空泵选型方法 选用真空泵时，需要注意下列事项：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求 110-5mmHg 的真空度，选用的真空泵的真空度至少要 510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-310-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为 510-4510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在 10-8mmHg 下长期工作。又如钛升华泵可以在 10-2mmHg 下工作，但

2、其工作压强应小于 110-5mmHg 为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子

3、筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维

4、修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，需要注意以下两个方面：尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空

5、度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在710mmHg 以上，可选用水环大气泵或水环罗茨真空机组作为抽真空装置。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页真空计算公式。面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型：真空泵一览表名称旋片真空泵型 号抽气速率L/s0.570极限真空Pa6 10-22 10-2620005 10-210.13.3 103配用功率kW0.555.50.37154114305.

6、5450.75551.1301.1557.5554157.5710往复真空泵罗茨真空泵滑阀真空泵2X(Z)型旋片式真空泵XD、X 单级旋片真2.8150空泵X型单级旋片真空30150泵W 型往复真空泵3230055600ZJ 型罗茨真空泵305000703000H 型滑阀真空泵8600706002H 型滑阀真空泵81502BE1、CBF 水环式2450真空泵m3/min液环真空泵真 空 泵机组2BE1 型双级水环式真空泵2BV 型水环式真空泵2SK型双级水环式真空泵S、SK 型水环式真空泵SK 型水环式真空泵SZ、SK 型水环式真空泵SK、2YK 型水环式真空泵FSK型水环式真空泵YL 型液环

7、式真空泵JZJ 型罗茨、旋片真空泵机组JZJ1 型罗茨、旋片真空泵机组JZJS 型罗茨、水环真空泵机组JZJ1S 型罗茨、水环真空泵机组JZJH 型罗茨、滑阀真空泵机组2BW4 型水环真空泵成套机组5320m3/min0.38.3m3/min0.430m3/min0.6725m3/min0.4120m3/min1.527m3/min5280m3/min39 m3/min113800.81153.5 103(3.54)103(815)103(514)1031042.2551.5551.11855.575223807.522301321.3264.322.5739.59.724.711.52645

8、185(514)103525 m3/min9 1043012007012007060015060030012001095m3/min(15)102(510)10225650101103真空表读数与真空度(Pa)该如何换算？我们经常接到电话，一些用户询问，真空表读数所反映的究竟是多少 Pa。能不能用直观的数字来显示？（1）真空表上“0”表示正一个大气压,“-0.1”表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相对值。真空度的换算；根据本表的刻度示值范围，真空度的绝对值与相对值可用下式换算：P=1105（1-/0.1）P-真空度的绝对值（Pa）-真空表的刻度示值绝对值例一：

9、表的示值为 O，则 P=1105（1-O/0.1）=1105 Pa=1 个大气压例二：表的示值为 0.1，则 P=1105（1-0.1/0.1）=0 Pa 为绝对真空。(绝对真空是不存在的)例三：表的示值为 0.08，则 P=1105（1-0.08/0.1）=2104 Pa本产品的真空度指标值为267Pa，表示本产品在267Pa（表面示值约为 0.0997，接近于-0.1）时的低真空度状态下仍能保证正常工作。产品的真空度主要取决于配套真空泵的性能。真空度计量单位换算如下：0.1Mpa=1105 Pa=760mmHg=1 个大气压1 乇=1mmHg=133.33Pa2 乇=0.00026666Mpa 267Pa（2）真空表读数可以用直观的数字来显示。但价格比较昂贵，一般适用于科研单位。