双氧水硫酸体系的微蚀液失效21640.pdf

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1、一、双氧水+硫酸体系的微蚀液失效的原因：1、双氧水的稳定性分解原因：1）温度的影响：温度升高 双氧水分解 速度加快 30 度 2）铜离子浓度的升高也使双氧水分解加快：25g/L 时双氧水的分解速率加快20g/L 时开始促进双氧水分解 建议:1 控制反应的温度;2反应时间长了要控制铜离子的浓度;3添加双氧水的稳定剂含有极性氢原子功能团的有机化合物,如:羟基-OH、羧基-COOH、磺酸基-SO3H、胺基-NH-2、反应液中氯离子 Cl-浓度的影响：反应中氯离子对微蚀速率影响很大,随着氯离子的升高,无论采用何种方式均只能维持低微蚀速率,要有效提高微蚀量只好采用微蚀作用时间来达到明显效果;作用的效果为

2、氯离子,温度,双氧水含量 附注：氯离子在酸性强氧化环境中会生成氯气 Cl2 Cl2+H2O=可逆号 Cl-+2H+ClO-当酸性过强的时候,可逆反应转向生成氯气,但所添加的量,不足以挥发出来,还是溶解在水中,但当酸性不足的时候,可逆反应转向,以维持均衡的酸性,保证氧化效果的均匀.但当氯离子过高的时候,转向生成氯气一方,因此微蚀的速度就会降下来,同时还会挥发少量氯气;H2O2+Cl2=O2+2 HCl 因为氯气的氧化性强于双氧水 所以在双氧水体系中,控制氯离子的含量是很重要的 所以氯离子偏高会使双氧水分解;七：异常处理：1、板面发黑：降低硫酸浓度；2、微蚀深度达不到：化验分析硫酸、双氧水、铜离子

3、；是否硫酸、双氧水浓度过低或铜离子偏高；如果硫酸、双氧水浓度过低可补充硫酸、双氧水达到设定值即可；如果铜离子偏高,排去槽液三分之一补充新液即可；3、如微蚀速率过高,检查温度是否偏高；硫酸、双氧水浓度是否偏高；4、如微蚀速率过低,化验氯离子是否偏高,如偏高需从新更换槽液；二、过硫酸钠体系的问题 1、溶液中深度影响蚀刻速率：Na2S2O8+Cu=CuSO4+Na2SO4 在硫酸浓度不高的时候,SO2-4的增加有利于与反应中的 Cu2+结合,反应速率加快；但当 H2SO4增加到一定程度时,反应产物中的 SO2-4浓度增加过大,抑制了反应的进程;2.硫酸铜含量的影响：铜离子浓度大于 25g/L 时,随着铜离子的浓度增加微蚀速率大大降低,反应难控制,对铜板的蚀刻会很不均一;龙经理,希望对你有帮助