洁净室设计培训教程PPT.ppt

《洁净室设计培训教程PPT.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《洁净室设计培训教程PPT.ppt（208页珍藏版）》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、洁净室设计培训教程目录二、洁净室设计二、洁净室设计112233洁净室基础知识洁净室基础知识3.13.1洁净室的定义洁净室的定义3.23.2洁净室的四大技术要素洁净室的四大技术要素3.33.3洁净室的分类洁净室的分类3.3.13.3.1按洁净室气流流型洁净室的分类按洁净室气流流型洁净室的分类3.3.23.3.2按洁净室主要的控制对象洁净室的分类按洁净室主要的控制对象洁净室的分类3.43.4洁净室洁净度的等级标准（洁净室洁净度的等级标准（ISO14644-ISO14644-1 1）4洁净室的消防、节能和环保4.1洁净室的消防4.1.1洁净室的建筑消防4.1.2洁净室的水消防4.1.3洁净室的电气消

2、防4.1.4洁净室的防排烟4.2洁净室的节能4.2.1洁净室的空调负荷4.2.2洁净室的空调负荷特点4.2.3洁净室净化空调系统的节能措施4.3洁净室的环保工程4.3.1洁净室的废水处理4.3.2洁净室的废气处理5洁净室设计（案例）5.15.1洁净室净化空调设计的程序步骤洁净室净化空调设计的程序步骤5.1.15.1.1设计前的准备工作及应收集的数据和资料设计前的准备工作及应收集的数据和资料5.1.25.1.2工艺平面和建筑平面的规划工艺平面和建筑平面的规划5.1.35.1.3净化空调系统和排风系统的划分原则净化空调系统和排风系统的划分原则5.1.45.1.4空调负荷计算（热湿、风量、水力三大平

3、空调负荷计算（热湿、风量、水力三大平衡计算）衡计算）5.1.55.1.5七个典型的空气处理系统即空气处理过程七个典型的空气处理系统即空气处理过程的优化的优化5.1.65.1.6洁净室净化空调系统的冷、热源洁净室净化空调系统的冷、热源5.1.75.1.7空调和净化设备选择空调和净化设备选择5.1.85.1.8施工图的绘制施工图的绘制5.1.95.1.9施工现场的工地工作施工现场的工地工作5.1.105.1.10洁净室竣工验收调试和测试洁净室竣工验收调试和测试5.2三个净化工程的典型案例5.2.1大面积ISO6级顶送顶回非单向流洁净室的工程案例5.2.2深圳清溢精密光电有限公司的ISO2级洁净室工

4、程案例5.2.3北京航天光学遥感特殊高大实验室矢流洁净室的设计3洁净室的基础知识3.1洁净室的定义洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控（ISO14644-6）。3.2洁净室的四大技术要素洁净室的四大技术要素是一、送风至少经过三级过滤（粗效、中效和高效），并且高效过滤器应设置在系统的末端。二、洁净室应有足够的净化和空调的送风量。三、洁净室应维持必要的压力梯度（正压梯度或负压梯度）。四、洁净室应有合理的气流组织。3.3洁净室的分类3.3.1按气流流型洁净室的分类按气流流型洁净室可划分为：

5、单向流洁净室非单向流洁净室混合流洁净室矢流洁净室一、单向流洁净室1、单向流（层流）洁净室，其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。图1单向流气流流型2、单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理，把灰尘从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。垂直单向流是气流以一定的速度（0.25m/s0.5m/s）从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行费很高，工程中尽量将其面积压缩到最小，用到必须用的部位。水平单向流是气流以一定的速度（0.3m/s0.5m/s）从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的

6、净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。二、非单向流洁净室1、非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回；顶送下侧回；顶送顶回等。图2 非单向流气流流型2、非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。三、混合流洁净室图3 混合流气流流型混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资和运行费。四、矢流（对角流）洁净室选上侧圆弧型高效过滤器风口送风

7、，对侧下回风口回风的气流流型。图4矢流气流流型矢流洁净室的气流是以放射型的流线流出，流线之间没有竖向交叉，可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。多用在医药、医疗和电子等行业的小洁净室中。在某些特殊的实验室中也得到广泛的应用。五、各种气流流型洁净室的风量、冷量、初投资和运行费的比较（仅供参考）不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的指标气流流气流流型型洁净级别洁净级别（级级）送送风风量量（m/sm/s）（次（次/h/h）耗冷指耗冷指标标（W/mW/m2 2）投投资资指指标标（元（元/m/m2 2）耗耗电电指指标标（W/mW/m2 2）单单向流向流垂垂直直10101001000.25m/s0

8、.25m/s1300150013001500100001300010000130001.251.351.251.35水水平平1001000.3m/s0.3m/s8001000800100050006000500060000.91.00.91.0非非单单向向流流1000100050605060次次/h/h 60070060070028003000280030000.250.330.250.33100001000025302530次次/h/h50060050060020002200200022000.220.260.220.2610000010000015201520次次/h/h350400350

9、40014001600140016000.130.160.130.16注：表中的送风量、单向流以断面风速表示，非单向流以换气次数表示。表中冷量指标一般指电子工业洁净厂房。表中的初投资包括洁净厂房的围护、冷冻供应系统、空调净化系统，不含土建结构和自动控制的投资。表中的耗电量系指制冷系统和空调送风系统耗电，不含电加热和电加湿的耗电量。3.3.2按洁净室主要的控制对象洁净室的分类按洁净室主要控制对象划分洁净室又可划分为：工业洁净室生物洁净室一、工业洁净室1、工业洁净室主要的控制对象是灰尘粒子（不分有生命的、无生命的）。2、工业洁净室主要应用在电子、航天、航空、机械、化工、化学制药、能源、纳米等工业中

10、。尤其是电子工业和光电子工业更是离不开洁净室和洁净技术。二、生物洁净室1、生物洁净室主要控制对象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等对人类、动物、环境有害的粒子。2、生物洁净室广泛地应用在医疗（洁净手术室、洁净病房）、生物制药、实验动物饲养、生物安全实验室、卫生防疫检疫的事业中。生物洁净室的发展速度非常快，而且得到了各方的认同和重视。三、工业洁净室与生物洁净室的差别工业洁净室与生物洁净室的差别表比比较项较项目目工工业洁净业洁净室室生物生物洁净洁净室室研究研究对对象象（主要）（主要）灰灰尘尘、粒子只有一次、粒子只有一次污污染。染。微生物、病菌等活的粒子不断生微生物、病菌等活的粒子不断生长长

11、繁殖，繁殖，会会诱发诱发二次二次污污染（代染（代谢谢物、物、粪粪便）。便）。控制方法控制方法净净化措施化措施主主要要是是采采取取过过滤滤方方法法。粗粗、中中、高高三三级级过过滤滤，粗粗、中中、高高、超超高高四四级过滤级过滤和化学和化学过滤过滤器等。器等。主要是采取：主要是采取：铲铲除微生物生除微生物生长长的条件，控的条件，控制微生物的孳生、繁殖和切断微生物的制微生物的孳生、繁殖和切断微生物的传传播途径。播途径。过滤过滤和和灭灭菌等。菌等。控制目控制目标标控制有害粒径粒子控制有害粒径粒子浓浓度。度。控制微生物的控制微生物的产产生、繁殖和生、繁殖和传传播，同播，同时时控控制其代制其代谢谢物。物。对

12、对生生产产工工艺艺的危害的危害关关键键部位只要一部位只要一颗颗灰灰尘尘就能造成就能造成产产品的极大危害。品的极大危害。有害的微生物达到一定的有害的微生物达到一定的浓浓度以后才能度以后才能够够成危害。成危害。对洁净对洁净室建筑室建筑材料的要求材料的要求所所有有材材料料（墙墙、顶顶、地地等等）不不产产尘尘、不、不积尘积尘、耐磨擦、耐磨擦所有材料所有材料应应耐水、耐腐且不能提供微生物耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖条件。孳生繁殖条件。对对人和物人和物进进入入的控制的控制人人进进入要入要换换鞋、更衣、吹淋。物鞋、更衣、吹淋。物进进入要清洗、擦拭。人和物要分入要清洗、擦拭。人和物要分流，流，洁污洁污要

13、分流。要分流。人人进进入要入要换换鞋、更衣、淋浴、鞋、更衣、淋浴、灭灭菌；物菌；物进进入要擦拭、清洗、入要擦拭、清洗、灭灭菌；空气送入要菌；空气送入要过滤过滤、灭灭菌，人物分流，菌，人物分流，洁污洁污分流。分流。检测检测灰灰尘尘粒子可用粒子粒子可用粒子计计数器数器检测检测瞬瞬时时粒子粒子浓浓度并度并显显示和打印。示和打印。微生物微生物检测检测不能不能测测瞬瞬时值时值，须经须经4848小小时时培培养才能养才能读读出菌落数量。出菌落数量。3.4洁净室洁净度等级标准ISO14644-1一、ISO-14644是国际标准，现在美国、欧洲、日本、俄罗斯和我国都采用此标准，美国原来应用的是美国联邦标准209

14、A、B、C、D、E，现在美国也不用了。原来我们熟悉的100级、1000级、10000级和100000级都是源自美国联邦标准FS209B，现在它们分别被国际标准ISO-14644标准中的5级、6级、7级和8级所替代。空气空气洁净洁净度等度等级级（N N）表中粒径的最大表中粒径的最大浓浓度限度限值值（个（个/m/m3 3）0.10.1 mm0.20.2 mm0.30.3 mm0.50.5 mm1 1 mm5 5 mm1 110102 2/2 2100100242410104 4/3 31000100023723710210235358 8/4 410000100002370237010201020

15、3523528383/5 5100000100000237002370010200102003520352083283229296 6100000010000002370002370001020001020003520035200832083202932937 7/3520003520008320083200293029308 8/3520000352000083200083200029300293009 9/352000003520000083200008320000293000293000ISO-14644的洁净度等级标准列如下洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级ISO-14644注：每

16、点应至少采样3次。本标准不适用于表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性。根据工艺要求可确定12粒径。根据要求粒径D的粒子最大允许浓度由下式确定（粒径0.1m5m）（个/m3）式中N为洁净度等级在19级中间可以0.1为最小单位递增量插入。二、国标洁净等级标准ISO-14644与各国洁净度等级标准的比较如下国际标准国际标准ISO-14644ISO-14644与各国标准的比较表与各国标准的比较表国国际标际标准准ISO-14644ISO-14644中国中国标标准准GB 50073GB 50073美国美国标标准准FS 209EFS 209E俄国俄国标标准准TOCT TOCT 5076650766日本日本

17、标标准准TIS 9920TIS 9920德国德国标标准准/P0P0/1 11 1/P1P11 11 12 22 2/P2P22 22 23 33 3M1.5M1.5P3P33 33 34 44 4M2.5M2.5P4P44 44 45 55 5M3.5M3.5P5P55 55 56 66 6M4.5M4.5P6P66 66 67 77 7M5.5M5.5P7P77 77 78 88 8M6.5M6.5P8P88 88 89 99 9/P9P9/9 9注：美国联邦标准FS209E已经停止使用4洁净室的消防、节能和环保4.14.1洁净室的消防洁净室的消防4.1.14.1.1洁净室的建筑消防洁净室的

18、建筑消防一、洁净室建筑不利于防火的因素一、洁净室建筑不利于防火的因素1 1、空间密闭、围护结构气密性好，一旦火灾温度、空间密闭、围护结构气密性好，一旦火灾温度会迅速上升，大量烟气不易排出，令人窒息又不会迅速上升，大量烟气不易排出，令人窒息又不利于疏散和扑救。利于疏散和扑救。2 2、洁净室建筑内各种关卡多，对外出口少，疏散、洁净室建筑内各种关卡多，对外出口少，疏散通道不畅，延长了疏散距离和时间。通道不畅，延长了疏散距离和时间。3 3、洁净室建筑装修有一些高分子的合成材料会产、洁净室建筑装修有一些高分子的合成材料会产生浓烟和毒气。工艺生产中往往会使用大量的易生浓烟和毒气。工艺生产中往往会使用大量的

19、易燃易爆的化学物质也是洁净室潜在的火灾威胁。燃易爆的化学物质也是洁净室潜在的火灾威胁。因此洁净室的防火和人员疏散非常重要。因此洁净室的防火和人员疏散非常重要。二、洁净室建筑耐火等级1、甲乙类洁净室建筑的耐火等级应为一级或二级，宜为单层建筑，其最大占地面积不易超过3000m2。2、丙、丁、戊类洁净室建筑的耐火等级可为一级或二级，可为单层或多层，除丙类建筑占地面积不应超过8000m2（单层、二级）；6000m2（多层、二级）；4000m2（多层、三级）外，丁类和戊类占地面积不限三、洁净室人员的安全疏散在进行洁净室平面规划时考虑人员疏散的原则在进行洁净室平面规划时考虑人员疏散的原则1 1、疏散路线要

20、简捷明了，便于寻找和识别。、疏散路线要简捷明了，便于寻找和识别。2 2、疏散路线要做到步步安全（着火房间、疏散路线要做到步步安全（着火房间房间门房间门疏散走道疏散走道楼梯间楼梯间室外）。室外）。3 3、扑救线路不要与疏散路线交叉。、扑救线路不要与疏散路线交叉。4 4、疏散通道要通畅，少曲线，少高低不平，少宽、疏散通道要通畅，少曲线，少高低不平，少宽窄变化。窄变化。5 5、疏散方向至少有、疏散方向至少有2 2个可供人员疏散。个可供人员疏散。6 6、疏散门的开启方向应有利于人员的疏散逃生。、疏散门的开启方向应有利于人员的疏散逃生。四、洁净室建筑材料的防火1、洁净室内部的装修材料应尽量避免采用在燃烧

21、时产生大量浓烟和有毒气体的高分子合成材料。根据“洁净厂房设计规范”规定：洁净室的顶棚和壁板（包括夹心材料）应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料。顶棚的耐火极限不应低于0.4h，疏散走道的耐火极限不应低于1.0h。2、特别要重视参观走廊的隔墙（包括大面积玻璃窗）的耐火极限问题。3、技术竖井的井壁的耐火极限也不应低于1.0h。4.1.2洁净室的水消防一、室内外消火栓系统一、室内外消火栓系统室内、外消火栓供水系统的用水量应根据洁净室室内、外消火栓供水系统的用水量应根据洁净室生产工作间火灾危险性类别，建筑物的耐火等级生产工作间火灾危险性类别，建筑物的耐火等级以及建筑物的体积等因素目前应根据以及建筑物的

22、体积等因素目前应根据“建筑设计建筑设计防火规范防火规范”确定，当确定，当“消防给水及消火栓系统技消防给水及消火栓系统技术规范术规范”颁布后应按新规范执行。颁布后应按新规范执行。二、自动喷水灭火系统二、自动喷水灭火系统自动喷水灭火系统的用水量应根据洁净室的火灾自动喷水灭火系统的用水量应根据洁净室的火灾危险性等级和危险性等级和“自动喷水灭火系统设计规范自动喷水灭火系统设计规范”确确定。自动喷水灭火系统宜采用预作用式自动喷水定。自动喷水灭火系统宜采用预作用式自动喷水灭火系统。灭火系统。三、洁净室各个场所必须配置灭火器，其设计应三、洁净室各个场所必须配置灭火器，其设计应满足满足“建筑灭火器配置规范建筑

23、灭火器配置规范”的要求。除消防给的要求。除消防给水外，还应设置必要气体灭火系统等。水外，还应设置必要气体灭火系统等。4.1.3洁净室电气消防一、洁净室的电源和供配电一、洁净室的电源和供配电根据根据“建筑设计防火规范建筑设计防火规范”和和“洁净厂房设计规洁净厂房设计规范范”的要求。的要求。1 1、消防电源的负荷分级应符合国家标准、消防电源的负荷分级应符合国家标准“供配电供配电系统设计规范系统设计规范”的要求。的要求。2 2、消防用电的设备应采用专用的供电回路，当生、消防用电的设备应采用专用的供电回路，当生产、生活用电切断时，应仍能保证消防用电，其产、生活用电切断时，应仍能保证消防用电，其配电设备

24、应有明显的标志。配电设备应有明显的标志。3 3、消防用电设备的管线应满足火灾时连续供电，、消防用电设备的管线应满足火灾时连续供电，并且管线应有防火要求。并且管线应有防火要求。4 4、消防应急照明灯具和疏散指示标志灯的备用电、消防应急照明灯具和疏散指示标志灯的备用电源的连续供电时间应满足实际消防要求。源的连续供电时间应满足实际消防要求。二、洁净室的消防照明1、洁净室内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散通道的转角处应按“规范”设置疏散标志（疏散指示灯）。2、在专用的消防口处应设置红色应急照明灯。3、消防控制室、消防水泵房、自备发电机房、配电室、防排烟机房以及发生火灾时仍需正常坚持工作的

25、其他房间应设置应急照明。三、洁净室的消防报警和控制1、洁净室的生产区（包括技术夹层）、机房、站房等均应设置火灾探测器（感温探测器、感烟探测器或空气采样器等），及早预知、早报警。2、洁净室生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。3、洁净室应设置消防值班室（或控制室），消防控制室应设置消防专用电话总机。4、消防控制设备及线路连接应可靠，应有合格的显示功能。5、消防报警应进行核实，并应进行如下消防联动控制 启动消防水泵（除自控外还应设手动控制装置）启动消防水泵（除自控外还应设手动控制装置）。关闭电动防火阀，停止空调风机、排风机、新关闭电动防火阀，停止空调风机、排风机、新风机，并收其反馈信号。风机，并收其

26、反馈信号。关闭有关部位的电动防火门或防火卷帘门。关闭有关部位的电动防火门或防火卷帘门。点亮应急照明灯和疏散标志灯。点亮应急照明灯和疏散标志灯。手动切断有关部位的非消防电源。手动切断有关部位的非消防电源。启动火灾应急扩音器，进行人工和自动广播。启动火灾应急扩音器，进行人工和自动广播。控制电梯降至首层，并接收反馈信号。控制电梯降至首层，并接收反馈信号。4.1.4洁净室的防排烟一、根据“建筑设计防火规范”和“洁净厂房设计规范”的要求：洁净室的疏散走廊和面积大于300m2的洁净室均应设置机械防排烟措施。二、最新报批的“电子工厂洁净厂房设计规范”中对洁净室的防排烟系统的要求作了一些修订，内容是：洁净厂房

27、的疏散走廊应设置防排烟系统，但对于大面积的电子工厂的洁净厂房当每50m2内不超过一个工作人员时可不设置防排烟系统。4.2洁净室净化空调系统的节能4.2.1洁净室的空调负荷洁净室的净化空调负荷由下面几部分组成：一、室内负荷主要包括：1、室内作业人员的散热、散湿负荷。2、室内照明灯具的散热负荷。3、洁净室围护结构（墙、顶、地、门、窗）的传热、传湿负荷。4、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷。二、洁净室新风处理的热、湿负荷。夏季是降温去湿；冬季是加热、加湿。三、空气循环时风机（或FFU）的温升和水泵的温升负荷。4.2.24.2.2洁净室的空调负荷特点洁净室的空调负荷特点一、高级别洁净室（一、高级别洁

28、净室（100100级，级，1010级，级，1 1级）是垂直级）是垂直单向流洁净室，其送风机的风量非常大，高达单向流洁净室，其送风机的风量非常大，高达400500400500次次/h/h换气，而且风机的压头也很高，一换气，而且风机的压头也很高，一般多在般多在10001500Pa10001500Pa，因此风机温升的负荷大。，因此风机温升的负荷大。按理论计算：在集中送风方式的系统中，风机的按理论计算：在集中送风方式的系统中，风机的温升为温升为1.51.5，仅此一项的负荷就是，仅此一项的负荷就是500700W/m2500700W/m2；如果采用；如果采用FFUFFU送风方式，风机温送风方式，风机温升的

29、负荷也要升的负荷也要250350W/m2250350W/m2。因此，风机温升。因此，风机温升的负荷大是其一个负荷特点。的负荷大是其一个负荷特点。二、服务于微电子和光电子的高级别洁净室因工二、服务于微电子和光电子的高级别洁净室因工艺排风量大，所以新风量也很大，新风量一般在艺排风量大，所以新风量也很大，新风量一般在10201020次次/h/h换气；因此，处理如此多新风的负荷大换气；因此，处理如此多新风的负荷大约为约为400800W/m2400800W/m2；个别工艺的排风量更大，；个别工艺的排风量更大，固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点

30、。二个负荷特点。三、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，三、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，是高级别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的是高级别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。保温、通风以及水冷却的情况有关。四、围护结构的传热、照明灯具的散热以及作业四、围护结构的传热、照明灯具的散热以及作业人员的发热这三项负荷相对比较小，三项负荷之人员的发热这三项负荷相对比较小，三项负荷之和还不足总空调负荷的和还不足总空调负荷的10%10%（其中：照明负荷大（其中：照明负荷大约约25

31、30W/m22530W/m2；围护结构负荷大约；围护结构负荷大约2030W/m22030W/m2；作业人员负荷大约；作业人员负荷大约1015W/m21015W/m2），这是高级），这是高级别洁净室第四个负荷特点。别洁净室第四个负荷特点。4.2.3洁净室空调净化系统的节能措施研究高级别洁净室的空调净化系统节能，应首先研究高级别洁净室的空调净化系统节能，应首先从分析其空调负荷特点入手，抓住空调负荷中的从分析其空调负荷特点入手，抓住空调负荷中的主要矛盾，才能事半功倍。从前面可知，高级别主要矛盾，才能事半功倍。从前面可知，高级别洁净室空调负荷中占洁净室空调负荷中占90%90%以上的负荷是：新风负以上的

32、负荷是：新风负荷、风机温升负荷和工艺设备和工艺过程负荷三荷、风机温升负荷和工艺设备和工艺过程负荷三项。这是它的主要矛盾。项。这是它的主要矛盾。一、降低新风空调负荷的节能措施一、降低新风空调负荷的节能措施1 1、减少排风量。改进工艺和工艺设备，尽可能不、减少排风量。改进工艺和工艺设备，尽可能不排风，少排风。采取密闭式排风罩在同等的排风排风，少排风。采取密闭式排风罩在同等的排风效果下尽量减少排风量。效果下尽量减少排风量。2 2、减少正压漏风量。加强洁净室围护结构的密封、减少正压漏风量。加强洁净室围护结构的密封性，既能保持洁净室必要的正压值，又可减少所性，既能保持洁净室必要的正压值，又可减少所需的正

33、压漏风量。需的正压漏风量。3 3、提高新风空气处理设备的效率。、提高新风空气处理设备的效率。二、降低风机温升负荷的节能措施1 1、在确保洁净室洁净度的前提下，尽量减少送风、在确保洁净室洁净度的前提下，尽量减少送风量，尽量用局部高净化来替代全面高净化。量，尽量用局部高净化来替代全面高净化。2 2、加强空调设备和空调系统的密闭性，减少漏风、加强空调设备和空调系统的密闭性，减少漏风量。量。3 3、采取净化送风与空调送风分离的送风方案，使、采取净化送风与空调送风分离的送风方案，使90%90%的净化送风量就近循环以减少风机温升负荷。的净化送风量就近循环以减少风机温升负荷。4 4、采用、采用FFUFFU加

34、新风机组加干盘管的送风方式以减加新风机组加干盘管的送风方式以减少风机温升负荷。少风机温升负荷。5 5、提高风机效率，采取变频措施。、提高风机效率，采取变频措施。三、工艺设备和工艺过程的发热是工艺生产本身三、工艺设备和工艺过程的发热是工艺生产本身的问题，只能依靠工艺自己来解决。的问题，只能依靠工艺自己来解决。四、除上述措施之外，还可采取如下措施1 1、合理选择和确定洁净室内的工艺参数（温度、合理选择和确定洁净室内的工艺参数（温度、湿度、洁净度）湿度、洁净度）洁净室的净化空调是重点能耗大户，因此在选择洁净室的净化空调是重点能耗大户，因此在选择和确定洁净室的洁净度和温、湿度时要慎之又慎。和确定洁净室

35、的洁净度和温、湿度时要慎之又慎。即在满足生产工艺要求的前提下，不应过高过严即在满足生产工艺要求的前提下，不应过高过严要求。否则，其能耗会大幅度上升。有专家分析要求。否则，其能耗会大幅度上升。有专家分析计算洁净室内温度放宽计算洁净室内温度放宽1 1时其能耗可节省时其能耗可节省3%3%左左右；其相对湿度放宽右；其相对湿度放宽5%5%时其能耗又可节省时其能耗又可节省3%3%左左右。另外负荷计算时安全裕量不应留有过大，否右。另外负荷计算时安全裕量不应留有过大，否则设备的耗电会大大增加，为了今后的发展最好则设备的耗电会大大增加，为了今后的发展最好留有动力设备的空位。留有动力设备的空位。2、优化净化空调系

36、统空气处理过程净化空调系统空气处理过程的优化对节能的效果十分明显，优化的目的就是减少或消除冷热抵消现象和降低风机温升。在“洁净手术部和医用气体设计与安装”的国家标准图的例题中的计算结果是这样的：对于一级洁净手术室（北京）夏季耗冷量，当采用一次回风系统时是60kW，而采用二次回风系统时只有25kW，当采用新风机组深冷抽湿处理时其耗冷量只有20kW。3、合理选择净化空调设备 设计建造洁净室时要选用高效率的净化空调设设计建造洁净室时要选用高效率的净化空调设备（冷机、风机、水泵）。备（冷机、风机、水泵）。选择低阻高效的过滤设备，风机和水泵的压头选择低阻高效的过滤设备，风机和水泵的压头选择不宜过高。选择

37、不宜过高。电动设备最好采取变频措施。电动设备最好采取变频措施。4 4、低位热能的利用和废热的回收、低位热能的利用和废热的回收低位热能和废热回收的潜力非常大。现在很多专低位热能和废热回收的潜力非常大。现在很多专家在这方面进行了大量研究，如：工艺冷却水的家在这方面进行了大量研究，如：工艺冷却水的回收和利用；喷水气化潜热的利用；冷冻机、空回收和利用；喷水气化潜热的利用；冷冻机、空压机废热的回收以及利用冷冻水和中温水回水混压机废热的回收以及利用冷冻水和中温水回水混合制造中温水等等。合制造中温水等等。5、加强水管和风管的保温。6、减少冷热源的跑、冒、滴、漏。7、采取热回收，充分利用废热。8、尽量利用天然

38、能源作空调系统的预冷和预热，如：太阳能、地下水、土壤能等。9、利用蓄冰和蓄热等优惠政策。4.3洁净室的环保工程4.3.1洁净室的废水处理一、工业洁净室特别是电子工业洁净室排放的废水主要成份有：含酸废水、含碱废水、含氟废水、含磷废水、有机废水等不同行业、不同产品、不同工艺其废水的成份不同，但都必须进行处理，处理后的废水达到国家排放标准方能排放。集水池泵排放含酸废水中和池集水池泵集水池泵反应池沉淀池过滤器污泥浓缩污泥脱水泥饼外运半导体集成电路工厂的废水处理大都采用化学中和沉淀法处理。其典型流程如下：二、生物洁净室特别是生物安全实验室排出的废水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物质，而且产品品种、生

39、产工艺不同废水的成份也不同。因此含有害微生物的废水应按成份分别收集，分别灭活、消毒灭菌后达标才能排放。4.3.2洁净室的废气处理一、工业洁净室，特别是电子工业洁净室排放的一、工业洁净室，特别是电子工业洁净室排放的废主要成份有：一般废气、热废气、有机废气、废主要成份有：一般废气、热废气、有机废气、酸碱废气、含磷等特殊废气、含粉尘的废气等，酸碱废气、含磷等特殊废气、含粉尘的废气等，不同行业、不同产品、不同工艺其排放的废气的不同行业、不同产品、不同工艺其排放的废气的成份不同，但都必须处理达到国家排放标准后方成份不同，但都必须处理达到国家排放标准后方能排到室外。能排到室外。1 1、一般由生活用房、值班

40、室、卫生间排出的一般、一般由生活用房、值班室、卫生间排出的一般废气可直接排到室外。废气可直接排到室外。2 2、排放的有机废气超标时必须经过有机废气处理、排放的有机废气超标时必须经过有机废气处理设备处理达标后再排放有机废气，处理方法有活设备处理达标后再排放有机废气，处理方法有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等。性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等。3 3、含酸碱废气在生产工艺中排放的较多，一般都、含酸碱废气在生产工艺中排放的较多，一般都是经过淋液湿式洗气吸收塔进行中和处理达标排是经过淋液湿式洗气吸收塔进行中和处理达标排放。放。4 4、排放的热废气一般情况下可直接排放，如果温、排放的热废气一般

41、情况下可直接排放，如果温度较高必须采取隔热措施以免伤人。度较高必须采取隔热措施以免伤人。5 5、含尘废气必须经过适当的除尘装置除尘后再排、含尘废气必须经过适当的除尘装置除尘后再排至大气。至大气。6 6、含磷、含砷等特殊废气首先防止在排气系统中、含磷、含砷等特殊废气首先防止在排气系统中产生化学反应并通过专用的废气处理设备处理后产生化学反应并通过专用的废气处理设备处理后达标排放。通常处理方法有稀释法、吸收法、吸达标排放。通常处理方法有稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等等。附法、催化燃烧法等等。二、生物洁净室尤其是生物安全实验室的排风一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此这类排风须经过过滤灭菌

42、后再排放。如手术室的排风须经过中效过滤方能排到室外；P3实验室的排风须经过高效过滤器过滤后方能排到室外；P4实验室的排风须经过两级高效过滤器过滤后才能排到室外。为了安全最好采用袋进袋出的高效过滤器装置。55洁净室设计洁净室设计5.15.1洁净室净化空调设计程序步骤洁净室净化空调设计程序步骤5.1.15.1.1设计前的准备工作及应收集的有关数据和设计前的准备工作及应收集的有关数据和资料资料一、收集国家和地方有关洁净室建设的政策，标一、收集国家和地方有关洁净室建设的政策，标准，规范准，规范1 1、洁净度等级的国家标准和国际标准、洁净度等级的国家标准和国际标准ISO14644ISO146442 2、

43、“洁净厂房设计规范洁净厂房设计规范”GB50073-2001GB50073-20013 3、“电子工业洁净厂房设计规范电子工业洁净厂房设计规范”（修订中）（修订中）4 4、“制药工业洁净厂房设计规范制药工业洁净厂房设计规范”（修订中）（修订中）5 5、“医院洁净手术部建筑技术规范医院洁净手术部建筑技术规范”GB50333-GB50333-200220026 6、“实验动物环境及设施实验动物环境及设施”GB14925-2001GB14925-20017 7、“生物安全实验室建筑技术规范生物安全实验室建筑技术规范”GB50346-GB50346-200420048 8、“洁净室施工验收规范洁净室施

44、工验收规范”JGJ71-90JGJ71-909 9、“电子工业洁净厂房施工及验收规范电子工业洁净厂房施工及验收规范”（制订（制订中）中）1010、“采暖通风与空气调节设计规范采暖通风与空气调节设计规范”GB50019-GB50019-200320031111、“通风与空调工程施工质量验收规范通风与空调工程施工质量验收规范”GBGB50243-200250243-20021212、“建筑设计防火规范建筑设计防火规范”GB50016-2008GB50016-20081313、“高层民用建筑设计防火规范高层民用建筑设计防火规范”GB50045-GB50045-20012001等。等。二、该项目的“可

45、行性研究报告”以及上级主管部门对报告的批复意见；该项目的“设计任务书”和建设方对该项目建造的有关要求、意见和建议。三、该项目建厂地区的气象资料、水文地质资料和周围大气污染的环境状况。四、洁净室内生产工艺对净化空调的要求和必须收集的生产工艺的技术条件和有关数据、资料：1 1、洁净厂房内的生产工艺设备平面布置图和设备、洁净厂房内的生产工艺设备平面布置图和设备清单，以及工艺对吊顶高度的要求。清单，以及工艺对吊顶高度的要求。2 2、工艺对洁净室内的洁净度、温度及精度、相对、工艺对洁净室内的洁净度、温度及精度、相对湿度及精度、正压、振动、噪声、照度、静电、湿度及精度、正压、振动、噪声、照度、静电、屏蔽等

46、要求，越具体越好。屏蔽等要求，越具体越好。3 3、洁净室内生产工艺设备的产热量、产湿量、产、洁净室内生产工艺设备的产热量、产湿量、产尘量。各设备的安装功率、效率、热转化系数和尘量。各设备的安装功率、效率、热转化系数和同时使用系数等。同时使用系数等。4 4、洁净室内生产工艺设备的局部排风量、排放气、洁净室内生产工艺设备的局部排风量、排放气体的性质、成份、浓度和废气排放量以及废气治体的性质、成份、浓度和废气排放量以及废气治理方法。理方法。5 5、洁净室内生产运行的班次、运行规律、生产的、洁净室内生产运行的班次、运行规律、生产的最大班人数。最大班人数。五、洁净厂房的建筑和结构的情况和有关的数据1、洁

47、净室建筑的平面布置图、立面图、剖面图。各房间的分割、面积、名称、层高。2、洁净室围护结构（墙、地、顶、门、窗等）的建筑材料以及其热工性能。3、建筑结构状况、结构的承载能力，尤其是旧建筑的改造项目结构的安全十分重要。六、全厂冷源、热源、电源的情况及供应1、冷热源的性质、参数和供应量。有无加湿用的蒸汽等。2、电源的性质、参数和供应量。七、地方消防、环保部门对该项目建设的要求和意见。八、其他相关专业（给水排水、气体动力、建筑结构、强电弱电等）的要求和意见。九、设计时所用的设备、材料、配件的性能、参数和价格的资料。5.1.2工艺平面和建筑平面的规划工艺平面一般由甲方工艺技术人员根据工艺流程和工艺设备以

48、及工艺生产的需要进行合理规划。工艺平面规划后在满足工艺平面规划的前提下，布置换鞋、更衣、吹淋、厕所等人流辅助生活用房、物流吹淋辅助用房和走廊参观以及消防疏散等通道，最大限度地保证生产工艺的流程短捷和火灾时人员的安全疏散。5.1.3净化空调系统和排风系统的划分原则根据建筑专业提供的建筑平面图，工艺专业提供的工艺设备平面图和工艺对各洁净室的洁净度，温、湿度等环境的要求，即可进行净化空调系统的划分工作。一、净化空调系统的划分原则1、洁净度，温、湿度及其精度相同或相近的洁净房间宜划为一个净化空调系统。便于洁净度和温、湿度的控制。2、距离较近的洁净房间宜划为一个系统，可减少系统管道的长度和管道交叉。3、

49、有条件时可将4级、5级单向流和6级、7级、8级非单向流组成混合流净化空调系统。4、洁净室不宜与一般空调房间合为一个系统。5 5、使用规律和使用时间不相同的洁净室不宜合为、使用规律和使用时间不相同的洁净室不宜合为一个净化空调系统。一个净化空调系统。6 6、产尘量大、发热量大、有害物多、噪声大的房、产尘量大、发热量大、有害物多、噪声大的房间宜单独设计为一个系统。间宜单独设计为一个系统。7 7、混合后会产生剧毒、引起火灾和爆炸的房间不、混合后会产生剧毒、引起火灾和爆炸的房间不应合为一个净化空调系统。应合为一个净化空调系统。8 8、有剧毒和易燃易爆的甲、乙类房间应单独设系、有剧毒和易燃易爆的甲、乙类房

50、间应单独设系统，而且应为不回风的直流系统。统，而且应为不回风的直流系统。9、一个净化空调系统不易过大。一般情况下，净化送风量不宜超过100,000m3/h，否则空气处理设备过大、噪声大、送回风管道大、占空间和面积大，使用也不灵活。10、净化空调系统划分时还应考虑到送风管、回风管、排风管以及水,电,气等管线的布置，尽量作到合理、短捷、使用管理方便，尽量减少交叉和重叠。11、净化空调系统新风的热湿和净化处理可集中也可分散设置。二、工艺设备局部排风系统的划分原则1、工艺设备的局部排风系统不宜过大，每个排风系统的排风点数不宜过多，这样排风管理调节方便，排风效果好。2、一个排风系统不宜跨在两个或两个以上