光栅传感器的构成三、莫尔条纹的形成原理及特点四教案.ppt

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1、光栅传感器的构成三、莫尔条纹的形成原理及特点四 Still waters run deep.流静水深流静水深,人静心深人静心深 Where there is life,there is hope。有生命必有希望。有生命必有希望 光栅传感器是根据光栅传感器是根据莫尔条纹原理莫尔条纹原理制成的一制成的一种脉冲输出数字式传感器，它广泛应用于数控种脉冲输出数字式传感器，它广泛应用于数控机床等闭环系统的线位移和角位移的自动检测机床等闭环系统的线位移和角位移的自动检测以及精密测量方面，测量精度可达几微米。只以及精密测量方面，测量精度可达几微米。只要能够转换成位移的物理量，如速度、加速度、要能够转换成位移的

2、物理量，如速度、加速度、振动、变形等，均可测量。振动、变形等，均可测量。一、光栅的类型和结构一、光栅的类型和结构Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.光栅光栅透射式光栅透射式光栅反射式光栅反射式光栅通常是由在表面上按一定间通常是由在表面上按一定间隔制成透光和不透光的条纹隔制成透光和不透光的条纹的玻璃构成的玻璃构成在金属光洁的表面上按一定在金属光洁的表面上按一定间隔制成全反射和漫反射的间隔制成全反射和漫反射的条

3、纹。条纹。光栅光栅长光栅长光栅圆光栅圆光栅测量线位移的光栅为矩形并随被测量线位移的光栅为矩形并随被测长度增加而加长测长度增加而加长测量角位移的光栅为圆形测量角位移的光栅为圆形1 1、光栅的类型、光栅的类型Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.尺身尺身尺身安装孔尺身安装孔 反射式扫描头反射式扫描头 （与移动部件固定）（与移动部件固定）扫描头安装孔扫描头安装孔可移动电缆可移动电缆2 2、光栅的外形及结构、光栅的外

4、形及结构防尘保护罩的内部为长磁栅防尘保护罩的内部为长磁栅Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.扫描头（与移动部件固定）扫描头（与移动部件固定）光栅尺光栅尺可移动电缆可移动电缆Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.长光栅长光栅

5、长光栅长光栅圆光栅圆光栅圆光栅圆光栅Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.通常通常a=ba=b；光栅的精度越高，栅距；光栅的精度越高，栅距W W就越小；一般栅距可就越小；一般栅距可由刻线密度算出，刻线密度为由刻线密度算出，刻线密度为2525，5050，100100，250250条条/mm/mm。3 3、栅距、栅距 黑白透射直线光栅是在镀有铝箔的光学玻璃上，均匀黑白透射直线光栅是在镀有铝箔的光学玻璃上，均匀地刻

6、上许多明暗相间，宽度相同的透光线，称为栅线。设地刻上许多明暗相间，宽度相同的透光线，称为栅线。设栅线宽为栅线宽为a a，线间缝宽为，线间缝宽为b b，a+b=Wa+b=W称为光栅节距称为光栅节距(栅距栅距)。Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.4 4、光栅副：指示光栅主光栅、光栅副：指示光栅主光栅 Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5

7、Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.二、光栅传感器的构成二、光栅传感器的构成 对于线位移测量，两块光栅长短不等，长的随运动部件移对于线位移测量，两块光栅长短不等，长的随运动部件移动，称为动，称为标尺光栅标尺光栅，短的固定安放，称，短的固定安放，称指示光栅指示光栅；而测量角；而测量角位移时，一块圆光栅固定，另一块随转动部件转动。位移时，一块圆光栅固定，另一块随转动部件转动。光栅传感器结构为：光栅传感器结构为：光栅传感器由光源、透镜、光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件

8、组成。栅）和光电接收元件组成。如图如图5-5-1所示。所示。图图5-5-15-5-1光栅传感器的组成光栅传感器的组成Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.三、莫尔条纹的形成原理及特点三、莫尔条纹的形成原理及特点 当两块光栅互相靠近且当两块光栅互相靠近且沿刻线方向保持有一个夹角沿刻线方向保持有一个夹角时，两块光栅的暗条与亮时，两块光栅的暗条与亮条重合的地方，使光线透不条重合的地方，使光线透不过去，形成一条暗带过

9、去，形成一条暗带 ；而亮；而亮条与亮条重合的地方，部分条与亮条重合的地方，部分光线得以通过，形成一条亮光线得以通过，形成一条亮带带 。这种亮带与暗带形成的这种亮带与暗带形成的条纹称为莫尔条纹。条纹称为莫尔条纹。1 1、莫尔条纹的形成原理、莫尔条纹的形成原理图图5-5-2 5-5-2 莫尔条纹莫尔条纹Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.B BEvaluation only.Created with Aspos

10、e.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.2 2、莫尔条纹的宽度、莫尔条纹的宽度（为主光栅和指示光栅刻线的夹角，弧度）为主光栅和指示光栅刻线的夹角，弧度）设设a=b=W/2a=b=W/2，则，则所以，所以，当当很小时，很小时，Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.3 3、莫尔条纹的特点、莫尔条纹

11、的特点1 1）莫尔条纹的移动方向与光栅夹角有对应关系）莫尔条纹的移动方向与光栅夹角有对应关系 当主光栅沿栅线垂直方向移动时，莫尔条纹沿着当主光栅沿栅线垂直方向移动时，莫尔条纹沿着夹角夹角平分线（近似平行于栅线）方向移动平分线（近似平行于栅线）方向移动表表5-15-1莫尔条纹和光栅移动方向与夹角转向之间的关系莫尔条纹和光栅移动方向与夹角转向之间的关系标尺光栅相对指示光栅的转标尺光栅相对指示光栅的转角方向角方向标尺光栅移动标尺光栅移动方向方向莫尔条纹移动方向莫尔条纹移动方向 顺时针方向顺时针方向向左向左向上向上向右向右向下向下逆时针方向逆时针方向向左向左向下向下向右向右向上向上Evaluation

12、 only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.2 2）光学放大作用）光学放大作用由公式由公式B=W/B=W/可知，当可知，当W W一定，而一定，而较小时，可使较小时，可使1WBW。如：长光栅在一毫米内刻线为如：长光栅在一毫米内刻线为100100条，条，0.00029 rad0.00029 rad，则：，则：B=0.01/0.000293.44mmB=0.01/0.000293.44mm，放大放大344344倍。倍。放大倍数可通过改变放大

13、倍数可通过改变角连续变化，从而获得任角连续变化，从而获得任意粗细的莫尔条纹，即光栅具有连续变倍的作用。意粗细的莫尔条纹，即光栅具有连续变倍的作用。Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.3 3）均化误差作用）均化误差作用 莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成，莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成，对光栅的刻线误差有平均作用。对光栅的刻线误差有平均作用。Evaluation only.Created with Asp

14、ose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.四、莫尔条纹测量位移四、莫尔条纹测量位移 光栅每移过一个栅距光栅每移过一个栅距W W，莫尔条纹就移过一，莫尔条纹就移过一个间距个间距B B。通过测量莫尔条纹移过的数目，即可。通过测量莫尔条纹移过的数目，即可得出光栅的位移量。得出光栅的位移量。Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011

15、Aspose Pty Ltd.由于光栅的遮光作用，透过光由于光栅的遮光作用，透过光栅的光强随莫尔条纹的移动而变化，栅的光强随莫尔条纹的移动而变化，变化规律接近于一直流信号和一交变化规律接近于一直流信号和一交流信号的叠加。固定在指示光栅一流信号的叠加。固定在指示光栅一侧的光电转换元件的输出，可以用侧的光电转换元件的输出，可以用光栅位移量光栅位移量X X的正弦函数表示，如的正弦函数表示，如图图5-5-35-5-3所示。只要测量波形变化所示。只要测量波形变化的周期数的周期数N N（等于莫尔条纹移动数）（等于莫尔条纹移动数）就可知道光栅的位移量就可知道光栅的位移量X X，其数学，其数学表达式为表达式为

16、图图5-5-3 光电元件输出与光栅位移的关系光电元件输出与光栅位移的关系X X=N NW WEvaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.在实际装置中常将光源、计量光栅、光电在实际装置中常将光源、计量光栅、光电转换和前置放大组合在一起构成传感器（光栅转换和前置放大组合在一起构成传感器（光栅读数头）；将具有细分辨向的差补器、计数器读数头）；将具有细分辨向的差补器、计数器和由步进电机、打印机或绘图机等组成的受控和由步进电

17、机、打印机或绘图机等组成的受控装置装在一个箱内，常称为数字显示器。装置装在一个箱内，常称为数字显示器。计量计量光栅光栅光电光电转换转换前置前置放大放大光源光源细分细分辨向辨向受控受控装置装置计数计数传感器传感器数字显示器数字显示器Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.3 3自由度光栅数显表自由度光栅数显表Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.

18、5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.安装有直线光栅的数控机床加工实况安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅防护罩内为直线光栅光栅扫描头光栅扫描头被加工工件被加工工件切削刀具切削刀具角编码器角编码器安装在夹安装在夹具的端部具的端部Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.五、细分技术五、细分技术 当使用一个光电池通过判

19、断信号周期的方法来当使用一个光电池通过判断信号周期的方法来进行位移测量时，最小分辨力为进行位移测量时，最小分辨力为1 1个栅距。个栅距。为了提高为了提高测量的精度，提高分辨力，测量的精度，提高分辨力，可使栅距减小，即增加可使栅距减小，即增加刻线密度。另一种方法是在双光电元件的基础上，刻线密度。另一种方法是在双光电元件的基础上，经过信号调节环节对信号进行细分经过信号调节环节对信号进行细分.例如例如100100线光栅的线光栅的W=0.01mmW=0.01mm，若，若n=4n=4，则分辨率，则分辨率可从可从0.01mm0.01mm提高到提高到0.0025mm0.0025mm。因为细分后计数脉冲因为细

20、分后计数脉冲提高了提高了n n倍，因此也称之为倍，因此也称之为n n倍频。倍频。v细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲，以减小脉冲当量个脉冲，而是输出若干个脉冲，以减小脉冲当量提高分辨力。提高分辨力。Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.v优点优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和

21、动态测量系统。简单，可用于静态和动态测量系统。v缺点缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。：光电元件安放困难，细分数不能太高。直接细分直接细分v又称位置细分，常用的细分数为又称位置细分，常用的细分数为4 4。四细分可用。四细分可用4 4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内将产生将产生4 4个计数脉冲，实现了四细分。如图个计数脉冲，实现了四细分。如图5-5-45-5-4所所示。示。Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copy

22、right 2004-2011 Aspose Pty Ltd.图图5-5-4 5-5-4 四细分四细分Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.图图5-5-5 5-5-5 光栅传感器电流型输出信号光栅传感器电流型输出信号(a)(a)正弦信号正弦信号;(b);(b)整形后的信号整形后的信号;(c)5;(c)5倍频处理后的信号倍频处理后的信号Evaluation only.Created with Aspose.Sl

23、ides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.六、辨向技术六、辨向技术 如果传感器只安装一套光电元件，则在实际应用中，如果传感器只安装一套光电元件，则在实际应用中，无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号，无法分辨位移的方向。同的正弦信号，无法分辨位移的方向。v如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲数累加，而物体反向移动时可从已累加的脉冲数累加，而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减去反

24、向移动的脉冲数，这样就能得到正数中减去反向移动的脉冲数，这样就能得到正确的测量结果。确的测量结果。Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.在相距的位置上设置两个光电元件在相距的位置上设置两个光电元件1和和2，以得到两个相位互差以得到两个相位互差90的正弦信号。的正弦信号。上一页下一页返 回Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.辨向电路 正向移动时脉冲数累加，反向移动时，便从累加的脉冲数中正向移动时脉冲数累加，反向移动时，便从累加的脉冲数中减去反向移动所得到的脉冲数，这样光栅传感器就可辨向。减去反向移动所得到的脉冲数，这样光栅传感器就可辨向。Evaluation only.Created with Aspose.Slides for.NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0.Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.