传感器原理与应用课件 第4章电阻应变式传感器.ppt
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1、传感器原理与应用课件 第4章 电阻应变式传感器 Still waters run deep.流静水深流静水深,人静心深人静心深 Where there is life,there is hope。有生命必有希望。有生命必有希望 将电阻应变片粘贴在弹性元件特定表面上,将电阻应变片粘贴在弹性元件特定表面上,当力、扭矩、速度、加速度及流量等物理量作用当力、扭矩、速度、加速度及流量等物理量作用于弹性元件时,会导致元件应力和应变的变化,于弹性元件时,会导致元件应力和应变的变化,进而引起电阻应变片电阻的变化。电阻的变化经进而引起电阻应变片电阻的变化。电阻的变化经电路处理后以电信号的方式输出,这就是电阻应电
2、路处理后以电信号的方式输出,这就是电阻应变式传感器的工作原理。变式传感器的工作原理。4.14.1电阻应变片的工作原理电阻应变片的工作原理电阻应变片简称应变片,是一种能将试件上的电阻应变片简称应变片,是一种能将试件上的应变变化转换成电阻变化的传感元件,其转换应变变化转换成电阻变化的传感元件,其转换原理是基于金属电阻丝的电阻应变效应。原理是基于金属电阻丝的电阻应变效应。所谓电阻应变效应是指金属导体(电阻丝)的所谓电阻应变效应是指金属导体(电阻丝)的电阻值随变形(伸长或缩短)而发生改变的一电阻值随变形(伸长或缩短)而发生改变的一种物理现象。种物理现象。原因:因为金属丝的电阻与材料的电阻率与其原因:因
3、为金属丝的电阻与材料的电阻率与其几何尺寸有关,而金属丝在承受机械变形的过几何尺寸有关,而金属丝在承受机械变形的过程中,它们都要发生变化,因而引起金属丝的程中,它们都要发生变化,因而引起金属丝的电阻变化。电阻变化。设有一段长为设有一段长为L L,截面积为,截面积为A A,电阻率为,电阻率为的导体的导体(如金属丝如金属丝),它具有的电阻为,它具有的电阻为 当它受到轴向力当它受到轴向力F F而被拉伸而被拉伸(或压缩或压缩)时,其时,其L L、A A和和均发生变化均发生变化 根据材料力学的知识,杆件在轴向受拉或受压时,其纵向应变与横向应变的关系根据材料力学的知识,杆件在轴向受拉或受压时,其纵向应变与横
4、向应变的关系金属金属丝电丝电阻率的相阻率的相对变对变化与其化与其轴轴向所受向所受应应力力s s 有关,即有关,即式中式中 e e 金属金属丝丝材料的材料的应变应变 E 金属金属丝丝材料的材料的弹弹性模量性模量 l l 压压阻系数,与材料有关阻系数,与材料有关 m m 为为金属材料的泊松比金属材料的泊松比 dr r/r r 金属金属丝电丝电阻率的相阻率的相对变对变化量化量 由式子可知由式子可知电电阻相阻相对变对变化量是由两方面的因素决定的。一是由金属化量是由两方面的因素决定的。一是由金属丝丝几何尺几何尺寸的改寸的改变变而引起,即(而引起,即(l+2m m)项项;另一是材料受力后,材料的;另一是材
5、料受力后,材料的电电阻率阻率r r 发发生生变变化而引起,即化而引起,即l lE项项。对对于特定的材料,(于特定的材料,(l+2m m+l lE)是一常数,因此,式)是一常数,因此,式子子所所表达的表达的电电阻阻丝电丝电阻阻变变化率与化率与应变应变成成线线性关系,性关系,这这就是就是电电阻阻应变计测应变计测量量应变应变的的理理论论基基础础。K0为单为单根金属根金属丝丝的灵敏系数,其物理意的灵敏系数,其物理意义为义为:当金属:当金属丝发丝发生生单单位位长长度度变变化(化(应变应变)时时,其大小,其大小为电为电阻阻变变化率与其化率与其应变应变的比的比值值,亦即,亦即单单位位应变应变的的电电阻阻变变
6、化率。化率。金属丝式电阻应变片与半导体式应变片的主要金属丝式电阻应变片与半导体式应变片的主要区别在于:前者是利用金属导体形变引起电阻的区别在于:前者是利用金属导体形变引起电阻的变化,后者则是利用半导体电阻率变化引起电阻变化,后者则是利用半导体电阻率变化引起电阻的变化。的变化。4.24.2电阻应变片的结构、类型及参数电阻应变片的结构、类型及参数4.2.14.2.1应变片的基本结构应变片的基本结构 敏感栅敏感栅应变计中实现应变应变计中实现应变-电阻转换的敏感元件。电阻转换的敏感元件。敏感敏感栅合金材料的选择对所制造的电阻应变计性能的好坏起着决定性栅合金材料的选择对所制造的电阻应变计性能的好坏起着决
7、定性的作用。的作用。基底基底固定敏感栅,并使敏感栅与弹性元件相互绝缘;应固定敏感栅,并使敏感栅与弹性元件相互绝缘;应变计工作时,基底起着把试件应变准确地传递给敏感栅的作用,变计工作时,基底起着把试件应变准确地传递给敏感栅的作用,为此基底必须很薄,一般为为此基底必须很薄,一般为0.020.020.04mm0.04mm。常用的基底材料有纸、。常用的基底材料有纸、胶膜和玻璃纤维布。胶膜和玻璃纤维布。引线引线连接敏感栅和测量线路的丝状或带状的金属导线。连接敏感栅和测量线路的丝状或带状的金属导线。一般要求引线材料具有低的稳定的电阻率及小的电阻温度系数。一般要求引线材料具有低的稳定的电阻率及小的电阻温度系
8、数。盖层盖层保护敏感栅使其避免受到机械损伤或防止高温氧化。保护敏感栅使其避免受到机械损伤或防止高温氧化。粘结剂粘结剂在制造应变计时,用它分别把盖层和敏感栅固结在制造应变计时,用它分别把盖层和敏感栅固结于基底;在使用应变计时,用它把应变计基底再粘贴在试件表面于基底;在使用应变计时,用它把应变计基底再粘贴在试件表面的被测部位,因此它也起着传递应变的作用。的被测部位,因此它也起着传递应变的作用。4.2.24.2.2电阻应变片的种类及特点电阻应变片的种类及特点1.1.电阻丝式应变片电阻丝式应变片 电阻丝式应变片的敏感元件是丝栅状的金属丝,它可以制成电阻丝式应变片的敏感元件是丝栅状的金属丝,它可以制成U
9、 U型、型、V V型和型和H H型等多种形状型等多种形状 电阻丝式应变片因使用的基片材质又可以分为纸基、纸浸胶基和电阻丝式应变片因使用的基片材质又可以分为纸基、纸浸胶基和胶基等种类。胶基等种类。2.2.箔式应变片箔式应变片 箔式应变片的工作原理和结构与丝式应变片基本相同,但制造箔式应变片的工作原理和结构与丝式应变片基本相同,但制造方法不同。它采用光刻法代替丝式应变片的绕线工艺。方法不同。它采用光刻法代替丝式应变片的绕线工艺。箔式应变片与丝式应变片相比具有下列优点:箔式应变片与丝式应变片相比具有下列优点:a.a.制造工艺能保证线栅的尺寸正确,线条均匀,大批生产时制造工艺能保证线栅的尺寸正确,线条
10、均匀,大批生产时电阻值离散度小,能制成任意形状以适应不同的测量要求。电阻值离散度小,能制成任意形状以适应不同的测量要求。电阻线栅的基长可做得很小(最小的目前已达电阻线栅的基长可做得很小(最小的目前已达0.2mm0.2mm););b.b.横向效应很小;横向效应很小;c.c.允许电流大允许电流大;d.d.柔性好、蠕变小、疲劳寿命长。可贴在形状复杂的试件上柔性好、蠕变小、疲劳寿命长。可贴在形状复杂的试件上,与试件的接触面积大,粘接牢固,能很好地随同试件变形,与试件的接触面积大,粘接牢固,能很好地随同试件变形,在受交变载荷时疲劳寿命长,蠕变也小。在受交变载荷时疲劳寿命长,蠕变也小。e.e.生产效率高。
11、便于实现生产工艺自动化,从而提高生产率,生产效率高。便于实现生产工艺自动化,从而提高生产率,减轻工人的劳动减轻工人的劳动,价格便宜。价格便宜。3.3.半导体式应变片半导体式应变片 半导体式应变片的使用方法与金属电阻应变片相同,即粘贴在弹半导体式应变片的使用方法与金属电阻应变片相同,即粘贴在弹性元件或被测体上,随被测试件的应变其电阻值发生相应变化。性元件或被测体上,随被测试件的应变其电阻值发生相应变化。半导体式应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。半导体式应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。4.2.34.2.3金属应变片的参数金属应变片的参数1.1.几何尺寸几何尺寸 应变片的工作宽
12、度(基宽)应变片的工作宽度(基宽)b b是在应变片轴线相垂直的方向上,是在应变片轴线相垂直的方向上,敏感栅最外侧之间的距离;应变片的工作基长(标距)敏感栅最外侧之间的距离;应变片的工作基长(标距)L L是应变片敏是应变片敏感栅在其轴线方向的长度,对于带有圆弧端的敏感栅,就是指两端圆感栅在其轴线方向的长度,对于带有圆弧端的敏感栅,就是指两端圆弧之间的距离弧之间的距离;应变片敏感栅的有效工作面积应变片敏感栅的有效工作面积b bL L。目前应变片最小基长为目前应变片最小基长为0.2mm0.2mm,最长达,最长达300mm300mm。一般生产厂家都有。一般生产厂家都有一个应变片基长系列供选用。一个应变
13、片基长系列供选用。2.电阻值电阻值R 应变片没有粘贴也不受力时,在室温下测定的电阻值。应变片没有粘贴也不受力时,在室温下测定的电阻值。.应变应变片阻片阻值值有一个系列,如有一个系列,如60W W、120W W、350W W、600W W和和1000W W,其中以,其中以120W W最最为为常用。常用。3.最大工作电流最大工作电流 允许通过应变片而不影响其工作特性的最大电流。允许通过应变片而不影响其工作特性的最大电流。工作电流大,应变片输出信号大,灵敏度高,但过大的电流工作电流大,应变片输出信号大,灵敏度高,但过大的电流会把应变片烧毁。会把应变片烧毁。4.绝缘电阻绝缘电阻 应变片引线与被测试件之
14、间的电阻值,它取决于粘合剂及应变片引线与被测试件之间的电阻值,它取决于粘合剂及基底材料的种类。绝缘电阻过低,会造成应变片与试件之间漏电,基底材料的种类。绝缘电阻过低,会造成应变片与试件之间漏电,产生测量误差。产生测量误差。5.5.相对灵敏系数相对灵敏系数 应变计的灵敏系数直接关系到应变测量的精度。应变计的灵敏系数直接关系到应变测量的精度。K K值通常采用从批值通常采用从批量生产中每批抽样,在规定条件下通过实测确定量生产中每批抽样,在规定条件下通过实测确定即应变计的标定即应变计的标定,故故K K又称标定灵敏系数。规定条件是:又称标定灵敏系数。规定条件是:试件材料取泊松比试件材料取泊松比=0.28
15、5=0.285的的钢;钢;试件单向受力;试件单向受力;应变计轴向与主应力方向一致。应变计轴向与主应力方向一致。实验发现,实际应变片的实验发现,实际应变片的K K值比单丝的值比单丝的K K值要小,造成此现象原因值要小,造成此现象原因是横向效应;还有粘结层传递变形失真。是横向效应;还有粘结层传递变形失真。6.6.横向效应横向效应 将直的电阻丝绕成敏感栅之后,虽然长度相同,但应变状态不将直的电阻丝绕成敏感栅之后,虽然长度相同,但应变状态不同,其灵敏系数降低了。这种现象称横向效应。同,其灵敏系数降低了。这种现象称横向效应。定性分析定性分析 当将应变片粘贴在被测试件上时当将应变片粘贴在被测试件上时,敏感
16、栅是由敏感栅是由n n条长度为条长度为L L的直线段和(的直线段和(n-1n-1)个半径为)个半径为r r的半圆组成的半圆组成,该应变片承受该应变片承受轴向应力而产生纵向拉应变轴向应力而产生纵向拉应变x x时时,各直线段的电阻将增加各直线段的电阻将增加,但半圆弧段还受到从但半圆弧段还受到从x x到到-x x之间变化的应变,圆弧段横之间变化的应变,圆弧段横向收缩引起阻值减小量对轴向伸长引起阻值增加量起着抵消向收缩引起阻值减小量对轴向伸长引起阻值增加量起着抵消作用。作用。因而同样应变阻值变化减小,因而同样应变阻值变化减小,K K值减小,此现象为横值减小,此现象为横向效应。向效应。横向效应在圆弧段产
17、生,消除圆弧段即可消除横向效应。为了减小横向效横向效应在圆弧段产生,消除圆弧段即可消除横向效应。为了减小横向效应产生的测量误差,现在一般多采用箔式应变片应产生的测量误差,现在一般多采用箔式应变片.7.7.机械滞后、零漂和蠕变机械滞后、零漂和蠕变 机械滞后就是循环加载时,加载特性与卸载特性不重合的现象,机械滞后就是循环加载时,加载特性与卸载特性不重合的现象,称为机械滞后。产生的原因主要是敏感栅、基底和粘合剂在承受机称为机械滞后。产生的原因主要是敏感栅、基底和粘合剂在承受机械应变以后所留下的残余变形械应变以后所留下的残余变形 粘贴在试件上的应变片,在温度保持恒定没有机械应变的情况粘贴在试件上的应变
18、片,在温度保持恒定没有机械应变的情况下,电阻值随时问变化的特性称为应变片的零漂。下,电阻值随时问变化的特性称为应变片的零漂。粘贴在试件上的应变片,温度保持恒定,在承受某一恒定的机粘贴在试件上的应变片,温度保持恒定,在承受某一恒定的机械应变,其电阻值随时间变化而变化的特性称为应变片的蠕变。械应变,其电阻值随时间变化而变化的特性称为应变片的蠕变。8.应变极限应变极限 应当知道,应变计的线性应当知道,应变计的线性(灵敏系数为常数灵敏系数为常数)特特性,只有在一定的应变限度范围内才能保持。当试件性,只有在一定的应变限度范围内才能保持。当试件输入的真实应变超过某一限值时,应变计的输出特性输入的真实应变超
19、过某一限值时,应变计的输出特性将出现非线性。在恒温条件下,使非线性误差达到将出现非线性。在恒温条件下,使非线性误差达到10%时的真实应变值,称为应变极限,时的真实应变值,称为应变极限,用用e e j表示。表示。4.2.4 4.2.4应变片的粘贴技术应变片的粘贴技术 粘合剂在很大程度上影响着应变片的工作特性,如蠕变、滞后、零粘合剂在很大程度上影响着应变片的工作特性,如蠕变、滞后、零漂、灵敏度、线性以及影响这些特性随时间、温度变化的程度。所以粘漂、灵敏度、线性以及影响这些特性随时间、温度变化的程度。所以粘合剂的选用和粘贴工艺是很重要的问题合剂的选用和粘贴工艺是很重要的问题 传感器性能的好坏除取决于
20、应变计外传感器性能的好坏除取决于应变计外,还取决于粘合剂的质量、粘还取决于粘合剂的质量、粘贴方法是否正确。贴方法是否正确。应变片的粘贴通常包括下列工艺流程:表面处理(研磨及清洗)应变片的粘贴通常包括下列工艺流程:表面处理(研磨及清洗)弹性体上底胶(涂覆或浸渍)弹性体上底胶(涂覆或浸渍)底胶固化底胶固化粘贴应变片粘贴应变片粘贴固化粘贴固化上上防潮层防潮层粘贴质量检查。粘贴质量检查。4.34.3应变片的动态响应特性应变片的动态响应特性4.3.14.3.1应变波的传播过程应变波的传播过程 被测试件的应变是以应变波的形式进行传递的。应变波首先经被测试件的应变是以应变波的形式进行传递的。应变波首先经过试
21、件或弹性元件,然后经过粘合层和应变片基片,最后传播到应变片上,过试件或弹性元件,然后经过粘合层和应变片基片,最后传播到应变片上,并由应变片将试件变形的应变波全部反映出来。并由应变片将试件变形的应变波全部反映出来。1应变波在试件材料中的传播应变波在试件材料中的传播 式中式中 n n 应变应变波在波在试试件中的件中的传传播速度;播速度;E 试试件材料的件材料的纵纵向向弹弹性模量;性模量;r r 试试件材料的密度。件材料的密度。2.2.应变波在粘帖层和应变片基片中的传播应变波在粘帖层和应变片基片中的传播 由于粘接由于粘接层层和基片的和基片的总总厚度非常小,所以它的厚度非常小,所以它的传传播播时间时间
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