《半导体物理复习》PPT课件.ppt
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1、浅能级杂质的特点浅能级杂质的特点:浅能级杂质的作用浅能级杂质的作用:载流子浓度载流子浓度=(状态密度状态密度g(E)分布函数分布函数f(E)dE)/V*状态密度状态密度=所掺施主杂质的浓度所掺施主杂质的浓度ND(E=ED)*状态密度状态密度=所掺受主杂质的浓度所掺受主杂质的浓度NA(E=EA)重点:重点:n0、p0、EF随掺杂浓度和温度的变化规律随掺杂浓度和温度的变化规律方法:方法:n0、p0、nD、PA+电中性方程电中性方程温温 区区 低温 中温 高温 费米能级费米能级 载流子浓度载流子浓度(1)n T分析、讨论分析、讨论(2)EF T(3)EF 掺杂(掺杂(T一定,则一定,则NC也一定)也
2、一定)T一定,ND越大,EF越靠近ECT一定,NA越大,EF越靠近EV。1.1.锌锌(Zn)(Zn)在在SiSi中为一双重受主中为一双重受主,即每一个即每一个ZnZn原子可在原子可在E EA1A1(E(EA1A1-E-EV V=0.31eV)=0.31eV)能能2.2.接收接收1 1个电子个电子,在较高能级在较高能级E EA2A2(E(EA2A2-E-EV V=0.55eV)=0.55eV)上接受第上接受第2 2个电子个电子.为了完全为了完全补补3.3.偿偿1 1个个N ND D=1016cm-3=1016cm-3的的n-Sin-Si样品样品,需要掺入需要掺入ZnZn的浓度为多少的浓度为多少?(?(设设EgEg=1.12eV)=1.12eV)2.某掺施主杂质的非简并某掺施主杂质的非简并SiSi样品,试求样品,试求E EF F=(E EC C+E+ED D)/2/2时施主的浓度。时施主的浓度。.
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