《常用传感器》课件.ppt
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1、第二章 常用传感器速度传感器空间格栅式压差式、热线风速仪加速度传感器压电、应变、电容式冲撞传感器电容式、压阻式、压电晶体n基本内容控制系统所需传感器温度传感器热电阻、热电偶压力传感器压阻式、静电容式空气流量传感器气体传感器氧传感器,空燃比传感器汽车电子控制技术2.1 概述(各系统所需传感器)汽车电子控制技术2.2 温度传感器温度传感器汽车电子控制技术汽车电子控制技术2.2.1 热电阻n对传感器材料的要求:温度系数大,线性好;性能稳定;使用温度范围宽;系数设置方便;线材加工方便。最合适的材料:铂(Pt)、铜(Cu)铂电阻:Rt=R0(1+At+Bt)(0630)R100/R0=1.3916 铂电
2、阻主要规格如下:公称电阻公称电阻:(50),100 精度等级精度等级:级级额定电流额定电流:2级及mA)封装形式封装形式:护管式、玻璃封装式(400)、陶瓷封装(600)汽车电子控制技术半导体热敏电阻与金属热电阻比,温度系数大、反应速度快、价格便宜,但线性差。常用的有:NTC、PTC、CTR 等NTC(Negative Tempreature Coefficient thermister)主要由Mn,Co,Ni,Fe等金属氧化组成,可通过改变成分调整电阻值及温度特性。R=RoexpB(1/T-1/T0其中,B:热敏系数,一般20006000K汽车电子控制技术2.2.2 热电偶n热电偶由两种不同
3、的金属线相接触而构成,当基准电和测量点间有温差时,就会得到输出电位。其结构简单、可靠,测量范围广,可测量微小区域的温度(用的丝线细),响应速度快,但输出信号小(几十v/),需注意测量电路的漂移和噪声。n热电偶测量的是温差,需对基准点的温度进行补偿:将基准点放置在冰点槽中;用热电阻测量基准点的温度,并用桥式电路进行自动补偿。n封装形式:保护管(不锈钢,330mm):强度高、耐热、耐腐蚀;铠装(金属管,0.2,0.58mm):金属细管和热电偶芯间填充有MgO,绝缘、密封,抗腐蚀和老化,反应快,耐热,耐振,可适当弯曲。汽车电子控制技术2.3 压力传感器n基本构成:变形部分(压力应变);变换部分(应变
4、电信号);信号处理部分(信号放大和调整).n检测原理:物性型(压阻效应);结构型(电极面积或距离).n2.3.1 压阻式压力传感器压阻效应:结晶硅受到应力作用,单位电阻值会发生变化.扩散半导体式:在硅基片的中央制有膜片,在膜片上扩散形成压阻应变片,当在压力作用下,产生应变,使应变片阻值发生变化,测出阻值的变化量即可得到压力值.汽车电子控制技术n特点:选择扩散位置可制出电桥其他臂;灵敏度高(为金属应变片的几十几百倍);一致性好,无需粘接,无畸变、滞后;温度变化对压阻系数影响大,需补偿;先将膜片固定在硅机体上,再一起固定在金属机体上.n构造和测量原理:在膜片表面扩散成四个应变片,其中两个沿半径方向
5、布置(Radial Gauge Resister):Rr1和Rr2;其中两个沿切线方向布置(Tangential Gauge Resister):Rt1和Rt2,膜片受到压力作用时会产生变形,在膜片表面上生成的应力是径向r切向t的合成,在微小范围内变形与应力可视为线性:r,tkP (其中,k:膜片的压力应变系数;P:压差)如按图(a)那样布置,应变电阻会受到二个方向应力r和t的作用,由于压阻效应使径向应变电阻和切向应变电阻的阻值发生变化,可近似用下面的式子表示:汽车电子控制技术Rr/Rrl r+tt Rt/Rtl t+tr其中,Rr,Rt:应力为零时径向和切向应变电阻的阻值 Rr,Rt:应力作
6、用后径向和切向应变电阻的阻值变化量l,t:纵向和横向压阻系数(l:longitudinal,t:transverse)l0,t0接成桥式电路时的输出电压:e=(Rr-Rt)E/(Rr+Rt)k l p制造过程制造过程:将将n型硅片的两面加工成镜面;型硅片的两面加工成镜面;扩散形成应变电阻和电子元件;扩散形成应变电阻和电子元件;蒸着形成电极;蒸着形成电极;内面加工出凹形截面形成膜片;内面加工出凹形截面形成膜片;固定到与硅的热膨胀系数接近的玻璃等基体上固定到与硅的热膨胀系数接近的玻璃等基体上装入外壳中、连出引线、充填硅胶装入外壳中、连出引线、充填硅胶汽车电子控制技术静电容式压力传感器静电容式压力传
7、感器概要:由可动电极(膜片)和绝缘基板上两个面对面的电极组成,被测压力使膜片变形,和固定电极间的间隙发生变化,引起静电容变化,可得与压力一一对应的容量差,其特性取决于膜片部分的结构(特别是电极间的间隙),为了获得稳定性好的传感器,精密加工和装配就尤其重要。构造和测量原理:以压差传感器为例,作为可动电极的的硅膜片置于两个玻璃基板上形成的固定电极之间,间隙在几到几十之间,形成差动电容。电容量变化和电极间隙:如果膜片有微小变形w,有:w=kp其中,k:膜片的压力变形系数,p:压差汽车电子控制技术差动容量变化量C和变形W之间可用下式表示:C/C=w/d(C与电极间隙d成反比,若间隙越小容量变化就越大,
8、就能作成高灵敏度传感器)p=d C/(2k C)(d:电极间隙;C:初试电容量)由于工作环境恶劣,要求测量精度和 可靠性高汽车电子控制技术n基本特性:基本特性:精度、分辨率、测量范围。n决定测量下限的因素:压力/应变转换灵敏度和滞后、应变/电信号转换的噪声等。n决确定测量上限的因素:决确定测量上限的因素:压力/应变转换部分的机械强度。n非线性:非线性:直接影响精度,取决于压力/应变转换部分。n温度特性:温度特性:电桥用恒流供电可使温度系数减小。n寿命:寿命:由于工作环境恶劣,采用保护结构。高压传感器用金属膜片保护应变面。汽车电子控制技术2.3.4 汽车用压力传感器应用实例汽车用压力传感器应用实
9、例低成本化:半导体标准过程 批量生产精细加工小型化高性能化:数字信号处理;软件补偿可靠性:表面保护技术;封装技术汽车电子控制技术2.4 流量传感器n2.4.1 汽车用流量传感器汽车用流量传感器空气流量计燃料(汽油、柴油、天然气等)流量计是电喷的主要传感器,用于计量吸入汽缸的空气量。不仅是发动机控制用,也可作耗油量表示用。流量:单位时间内流体流经流通断面的量,测量方法有:直接检测量;检测平均流速;检测局部流速.n2.4.2 空气流量计空气流量计对空气流量计的要求:对空气流量计的要求:测量范围宽、精度高、响应快及耐尘土和油滴、能适应大范围的温度变化、输出信号是流量的对数函数、可靠、体积小、重量轻、
10、成本低。空气流量计的类型:空气流量计的类型:转叶式、卡门螺旋式、热线式汽车电子控制技术汽车用空气流量计规格汽车用空气流量计规格汽车电子控制技术2.4.3 热线式空气流量计热线式空气流量计Hot-Wire Anemometer热线式空气流量计的原理:向铂金丝热线式空气流量计的原理:向铂金丝(箔膜箔膜)供电供电使之发热,利用空气的热传导量与空气流相依存的使之发热,利用空气的热传导量与空气流相依存的关系来测量流量。在电桥臂上设有加热丝和测温热关系来测量流量。在电桥臂上设有加热丝和测温热敏电阻,调整热丝电流使热丝和热敏电阻间温差不敏电阻,调整热丝电流使热丝和热敏电阻间温差不随空气流量而变化,把供给热丝
11、的电流作为空气流随空气流量而变化,把供给热丝的电流作为空气流量信号。空气流量和输出信号间的关系可由热丝发量信号。空气流量和输出信号间的关系可由热丝发热量和传热量的关系推出:热量和传热量的关系推出:其中,I:供电电流;Ga:空气流量;A,B:常数只要测出电流I,即可由上式求得空气流量,代表空气流量的电流信号,在低流速时,信号变化大。汽车电子控制技术n按先后顺序介绍几种实用结构按先后顺序介绍几种实用结构整流筒式:整流筒式:在整流筒内架设有70m的铂金丝,用铂金在陶瓷上形成的箔膜电阻作测温电阻,工作时热丝被加热到1000(自洁),排除尘埃附着的影响。分流式:分流式:将热丝和测温电阻设置在分流通道中,
12、以减少流体波动对测量精度的影响;同时,在发动机回火时能保护热丝。薄膜电阻式:薄膜电阻式:与整流筒式类似,只是不用热丝而用薄膜电阻(制在薄型陶瓷上),与空气流成30夹角。插入式:插入式:可装在进气管任意部位,它将热丝、旁通通道、测量电路作成整体结构,从进气管的侧壁插入即可。其目的是减小整体体积。汽车电子控制技术热丝式空气流量计的构造传感部分热丝型(Hot-wire):将铂金丝架设在空气流中,;线圈型:将铂金丝卷在陶瓷支架上,;薄膜型(Hot-Film):将 薄膜电阻设在陶瓷板上。铂金丝细,热容量小,响应快,但易堆积尘埃,影响测量精度;热容量大,响应较慢,但不易堆积尘埃,且对测量精度影响不大。测量
13、电路:使热丝和热敏电阻间温差保持恒定,现在采用一比较放大器,可测量剧烈变化的空气温度。分流通道:从进气通道分隔出来的支路,以降低气流波动对测量精度的影响。汽车电子控制技术热丝式空气流量计测波动气流时应注意:n波动流平均流量的平均化:波动流平均流量的平均化:指示值比实际值小。分流式利用分流通道内气流惯性让平均流速增加,使误差相互抵消。P:分流通道出入口压力差 u,l:分流通道的流速及长度n逆流修正:逆流修正:不能测量出流动方向,有逆流时,测量值比实际值大。可采用分流式“流体二极管”原理:逆流发生时分流通道内的气流不流动,将测量误差降为原来的一半。n2.4.4 空气流量计的课题流量和流向;输出特性
14、自动修正、软件修正。汽车电子控制技术2.5 速度及加速度传感器速度及加速度传感器n2.5.1 速度传感器速度传感器具有代表性的是车速传感器,常用方法:近似测量计测车轮单位时间内的转数;多卜勒雷达测速,fD=f1-f2=2Vcos/空间光栅式:光波等在通过已知空间频率的光栅时,其功率谱中心频率会发生变化,根据中心频率的变化即可得到移动速度。利用周节为P的空间光栅和凸透镜来观察以速度V移动的路面时,观察到的光线具有的中心频率f可表示为:f=MV/P,M:透镜放大倍数。实际系统使用cds光电元件做传感器。汽车电子控制技术2.5.2 车辆控制用加速度传感器车辆控制用加速度传感器加速度传感器测量方式比较
15、汽车电子控制技术n车辆控制系统用(低频);防撞气囊用(高频)压电式加速度传感器压电式加速度传感器压电效应压电效应:压电晶体在受到力的作用时会发生变形同时产生电荷.在受到加速度作用时,膜片变形,输出电极和压电晶体间产生与加速度成比例的的电压,下面的压电晶体是为了消除电状驱动电极用于自诊断.汽车电子控制技术应变式加速度传感器应变式加速度传感器n本方式是利用硅基片上的精细加工技术制造而成.将两枚硅片用1000以上的高温直接粘再一起,并在上片作出梁;在下片作出惯性质量,然后再贴在玻璃集体上,当受到加速度作用时,重物上下移动,支持重物的梁发生弯曲变形,梁上的应变片阻值发生变化,通过测量其重物和基体间形成
16、有阻尼控制作用的间隙,利用间隙中流动气体的“气枕作用”,对高频成分(振动系共振频率)加以抑制.汽车电子控制技术电容式加速度传感器电容式加速度传感器n本方式也是利用硅基片上的精细加工技术制造而成.可动电极由悬臂梁支承;可动电极产生位移时,和两个固定电极间的电容量会发生变化。可把电容量发生转换成输出电压的;也可采用静电伺服方式,虽然信号处理电路较为复杂,但精度较高。PWM(Pulse Width Modulation)脉宽调制静电伺服型加速度传感器汽车电子控制技术2.5.3 防撞气囊用冲撞传感器防撞气囊用冲撞传感器n防撞气囊的构成防撞气囊的构成:传感器传感器(检测冲撞检测冲撞);控制器控制器(判判
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