《dd高科技产业概况》PPT课件.ppt
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1、高科技產業概況高科技產業概況 微機電產業分析與介紹微機電產業分析與介紹 組員:組員:89114132 鍾妮君鍾妮君 89114226 賴紅旭賴紅旭 89114227 劉懿璇劉懿璇 89114254 劉如晏劉如晏一、緒論一、緒論 微機電系統微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System)簡稱簡稱MEMS 是目前科技界公認最具未來發展是目前科技界公認最具未來發展 潛力及前瞻性的研究領域潛力及前瞻性的研究領域 二、微機電系統產業概況二、微機電系統產業概況 何謂微機電系統技術何謂微機電系統技術(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)?)?
2、是一種結合光、機、電、材、控制、物理、生是一種結合光、機、電、材、控制、物理、生醫、化學等多重技術領域之整合型與微小化系醫、化學等多重技術領域之整合型與微小化系統製造技術。統製造技術。MEMS 可應用的產業可應用的產業範圍範圍包括:包括:資訊通訊消費性電子、資訊通訊消費性電子、工業生產、生醫保健、環保工安、工業生產、生醫保健、環保工安、國防工業、農林水產、太空航空國防工業、農林水產、太空航空等。等。有關微機電的探討與研發有關微機電的探討與研發 世界微機械高峰會議世界微機械高峰會議(World Micromachine Summit)。三、微機電系統的製造技術三、微機電系統的製造技術 矽微加工技
3、術方面又可分為矽微加工技術方面又可分為以下三種:以下三種:體型微加工技術(體型微加工技術(Bulk micromachining)面型微加工技術面型微加工技術(Surface micromachining)微光刻電鑄造模技術微光刻電鑄造模技術(LIGA process)體型微加工技術(體型微加工技術(Bulk micromachining)把矽晶片等材料當成一塊加工母把矽晶片等材料當成一塊加工母材,來作蝕刻切削的加工技術材,來作蝕刻切削的加工技術。常用的材料為矽晶片及玻璃常用的材料為矽晶片及玻璃。面型微加工技術面型微加工技術(Surface micromachining)是比較靠近原本積體電路
4、半導體是比較靠近原本積體電路半導體製程的作法製程的作法。主要是利用蒸鍍、濺鍍或化學沈主要是利用蒸鍍、濺鍍或化學沈積方法,將多層薄膜疊合而成。積方法,將多層薄膜疊合而成。微光刻電鑄造模技術(微光刻電鑄造模技術(LIGA process)LIGA 是德文字是德文字 Lithographie Galvanoformung Abformung 的縮寫的縮寫。主要是綜合光學、電鍍、模造等三主要是綜合光學、電鍍、模造等三項技術來製作微機械元件。項技術來製作微機械元件。微機電與奈米技術的區別。微機電與奈米技術的區別。微機電尺度:微機電尺度:100m 1 m 奈米技術:奈米技術:0.1 m 0.001 m 四
5、微機電系統市場概況四微機電系統市場概況 在在2002年時,消費性產品與工業設年時,消費性產品與工業設備的應用佔了整個微機電技術將近備的應用佔了整個微機電技術將近百分之五十的比例;而預估到了百分之五十的比例;而預估到了2005年,光電、通訊相關產品將獨年,光電、通訊相關產品將獨佔整個微機電市場的大部分。佔整個微機電市場的大部分。2002年市場佔有率 預估2005年市場佔有率 汽車 26.0%光開關 24.4%工業設備 14.7%投影系統 14.6%噴墨印表頭 9.5%繼電器 14.0%投影系統 8.2%汽車 11.6%血壓計 4.4%工業設備 6.9%消費電子 4.0%噴墨印表頭 6.0%生物晶
6、片 1.6%生物晶片 4.0%光開關 0.8%通信用濾波器 2.9%醫療設備 0.6%血壓計 2.2%醫療儀器 0.4%通信用Laser 1.7%微機電系統現階段與未來技術微機電系統現階段與未來技術的應用也包含了以下幾個項目:的應用也包含了以下幾個項目:國防科技:微陀螺儀、生化及醫療感測器、國防科技:微陀螺儀、生化及醫療感測器、間諜昆蟲。間諜昆蟲。汽車工業:加速規、微感測器、微閥、微汽車工業:加速規、微感測器、微閥、微幫浦、安全氣囊系統。幫浦、安全氣囊系統。通訊光電:濾波器、光通訊連接器與耦合通訊光電:濾波器、光通訊連接器與耦合器、光開關。器、光開關。資訊產業:讀寫頭、投影機元資訊產業:讀寫頭
7、、投影機元件、微熱管。件、微熱管。生物醫療:生物檢測晶片、實生物醫療:生物檢測晶片、實驗室晶片、藥物釋放系統、體內驗室晶片、藥物釋放系統、體內診斷機器人。診斷機器人。五、國內相關廠商五、國內相關廠商 亞太優勢:亞太優勢:朝微機電國際整合元件製造廠()與朝微機電國際整合元件製造廠()與晶圓代工廠方向同時進軍。晶圓代工廠方向同時進軍。全磊微機電:全磊微機電:全磊微機電同步開發微機電技術與光主動元全磊微機電同步開發微機電技術與光主動元件。件。華新麗華:華新麗華:為全球第一座提供為全球第一座提供4到到8吋微系統吋微系統晶圓製程服務之專業代工廠晶圓製程服務之專業代工廠。應用產業區分應用產業區分 公司公司
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