新《消防规范图集大全》GB50781-2023 电子工厂化学品系统工程技术规范5.pdf
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1、中华人民共和国国家标准EJ UDC P GB 50781-2012 电子工厂化学品系统工程技术规范Technical code for Chemical System of Electronic Factory 2012一06-28 发布2012-12-01实施。只uqo-斗一元,f-nu 句f-AUlm-。一50。一-AF、-.TA-AM川1四Ajnv一H口-一一定统一中华人民共和国住房和城乡建设部联合发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中华人民共和国国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范Technical code for Chemical System of Electronic
2、Factory GB 50781-2012 主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:2 0 1 2 年1 2 月1 日中国计划出版社2012北京中华人民共和国 国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范GB 50781-2012 会中国计划出版社出版网址: 地址北京市西城区水樨地北里甲11号国宏大厦C座4层邮政编码:100038 电话(010)63906433(发行部新华书店北京发行所发行北京tlt知l印务有限公司印刷850mmX 1168mm 1/32 2.375印张59千字2012年11月第l版2012年II月第l次印刷会统一书号1580177
3、938 定价:15.00元版权所有侵权必究侵权举报电话(010)63906404 如有印装质量问题,请寄本社出版部调换中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1434号关于发布国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范的公告现批准电子工厂化学品 系统工程技术规范为国家标准,编号为GB50781一2012,自2012年12月1日起实施。其中,第3.2.8(1、2、3、4)、6.1.2、6.1.5、6.4.2(7)条(款)为强制性条文,必须严格执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部2012年6月28日刚昌本规范是根据原建设部关于印发(2007年工程建设标
4、准规范制定、修订计划的通知(第二批)建标(2007J126号文的要求,由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司会同有关单位共同编制完成。本规范在编制过程中,根据我国集成电路工厂、平板显示器件工厂和太阳能电池工厂的设计、建造和运行的实际情况,同时考虑工厂目前的现状,对国外工程公司也进行了调查研究,广泛征求了全国有关单位与个人意见,并反复修改,最后经审查定稿。本规范共分7章,主要内容有:总则,术语、缩略语,化学品供应系统,化学品回收系统,化学品监控及安全系统,相关专业设计,工程施工及验收。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文
5、的解释,工业和信息化部负责日常管理,信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行过程中有意见和建议请寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司电子工厂化学品系统工程技术规范管理组(地址:四川成都市双林路251号,邮编:610021,传真:028-84333172).以便今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人:主编单位:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司信息产业部电子工程标准定额站参编单位:巾国电子系统工程第二建设有限公司 1 上海华虹NEC电子有限公司成都爱德工程有限公司上海正帆科技有限公司冠礼控制科技(上海有
6、限公司液化空气上海有限公司上海兄弟微电子技术有限公司上海至纯洁净系统科技有限公司主要起草人:李骥崔永祥刘序中王开源李东升王鹏亮张志辉杨春蓉朱海英张家红简建至杜宝强宋燕周礼誉陈盛云吴建华巨龙主要审查人:陈霖新薛长立路世昌周向荣刘俊超冯卫中顾爱军陈奕强毛煌林张悦 2 目次1总则(1)2 术语、缩略语 (2)2.1 术语(2)2.2 缩略语(4)3 化学品供应系统(5)3.1 一般规定(5)3.2 化学品供应设备(5)3.3 化学品供应管道系统(8)3.4 设备与管道材质(9)3.5 管道标识4 化学品回收系统4.1 一般规定(10)(11)(11)4.2 化学品回收设备(11)4.3 化学品回收管
7、道(1幻5 化学品监控及安全系统(13)5.1 一般规定(13)5.2 监控与安全设备(13)5.3 监控与安全系统(14)6 相关专业设计 U们6.1 建筑结构(16)6.2 电气与仪表控制(17)6.3 给水排水及消防(18)6.4 通风与空气调节 u7 工程施工及验收(2 1)7.1 一般规定(2 1)7.2 设备、材料进场验收(2 1)7.3 设备安装.(22)7.4 化学品供应管道安装(23)7.5 双层管道的施工安装(24)7.6 酸碱类化学品管道内管焊接安装(2的7.7 溶剂化学品管道安装(26)7.8 废液管道施工(28)7.9 管道设备标识(28)7.四管路与系统检测(29)
8、7.11 改建工程的施工门0)7.12 工程验收门的本规范用词说明(33)引用标准名录(34)附:条文说明(3日 2 Contents 1 General provisions(1)2 T erms and abbreviation(2)2.1 Terms(2)2.2 Abbreviation(4)3 Chemical distribution system.(5)3.1 General requirement(5)3.2 Distribution equipmenl(5)3.3 Distribution piping(8)3.4 Equipment and piping materials(
9、9)3.5 Piping identification(10)4 Chemical reclaiming system(1 1)4.1 General requirement(11)4.2 Reclaiming equipment(11)4.3 Reclaiming piping(12)5 Chemical moniter and safety system(13)5.1 General requirement(13)5.2 Equipment requirement(13)5.3 System requirement.(14)6 Design of relating disciplines(
10、16)6.1 Architecture and structure(16)6.2 Electrical and inSLrUmenl control(17)6.3 Plumbing and fire protection.(18)6.4 HVAC(19)7 Engineering construction and acceptance(2 1)3 7.1 General requirement(2 1)7.2 Site inspection and acceptance of equipment and materials(2 1)7.3 Equipment installation(22)7
11、.4 Piping installation of chemical distribution system(23)7.5 Construction and installation of containing piping(24)7.6 Welding installation of inner piping of acid/alkaline containing piping (26)7.7 Installation of solvent piping (2 6)7.8 Construction waste liquid piping(28)7.9 Piping equipment ide
12、ntification(28)7.10 System inspection and testing(29)7.11 Construction of renovation engineering (30)7.12 Engineering inspection and acceptance(30)Explanation of wording in this code (33)List of quo ted standards (34)Addition:Explanatio n of provisions (3 5)4 1总则1.0.1 为使电子工厂化学品供应系统、化学品回收系统及其配套装置的工程设
13、计、施工及验收,贯彻国家工程建设的政策方针,确保工程安全可靠、节约能游、保护环境、技术先进、经济适用,制定本规范。1.O.2 本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。1.O.3 本规范不适用于电子工厂中的化学品库房、设备清洗、废水处理、纯水制备、废气处理等生产辅助和公用设施系统的化学品系统工程的设计、施工及验收。1.O.4 电子工厂化学品系统工程的设计、施工及验收,除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。1 2 术语、缩略语2.1术语2.1.1 化学品系统chemical
14、system 电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品系统的统称。2.1.2 化学品供应系统chemical supply system 电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品供应系统管道与设备的统称。2.1.3 化学品回收系统chemical reclaiming system 电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品回收系统管道与设备的统称。2.1.4 化学品槽车chemical lorry 电子工厂中用于运送大用量化学品的专业车辆。2.1.5 化学品桶槽chemical container 电子工厂中用于储存化学品的小容积容器,放置在化学品储存、分配间的化学品单元内部
15、。2.1.6 化学品储罐chemical storage tank 电子工厂中用于储存化学品的大容积容器,固定布置在化学品储存、分配间内。2.1.7 阅门箱valve manifold box(VMB)指化学品通过供应管道可同时供应两台或以上的生产设备的阀门操作箱。2.1.8 分支阅箱tee box(TB)化学品供应系统中供应两个或以上的间门箱的管道分配箱。2.1.9 扩充阀箱future tee box(FTB)化学品供应系统中用于系统扩充的设置于系统末端的阅箱。2.1.10 取样阀箱sampling box(SB)指化学品管道上用于化学品取样的阀门箱体。2.1.11 泄漏探测器leakag
16、e detector 用于探测化学品单元、化学品储罐及化学品阀门箱等设备发生化学品泄漏井给出信号的装置。2.1.12 化学品监控系统chemical monitor and control system 用来对化学品供应系统,化学品回收系统实现监控、显示、报警、数据收集等功能的远程监控系统。2.1.13 化学品稀释单元chemical dilution unit 电子工厂的化学品系统中用纯水稀释高浓度化学品设备的统称。2.1.14 化学品?昆合单元chemical mixing unit 电子工厂的化学品系统中作为混合两种或以上化学品设备的统称。2.1.15 化学品补充单元chemical c
17、harge uni t 槽车的化学品系统备用供应设备。2.1.16 化学品供应单元chemical transfer unit 向电子工厂工艺系统供应化学品的设备。2.1.17 化学品单元chemical unit 化学品供应系统中化学品补充单元、化学品稀释单元、化学品?昆合单元、化学品供应单元等柜体的统称。2.1.18 化学品储存、分配间chemical storage distri bu tion roo口1电子工业生产厂房或独立建(构)筑物内用于布置化学品储存、分配设备与系统的房间的统称。2.1.19 液位探测器level sensor 用于探测化学品储罐、化学品单元内桶槽的液位的测量元
18、件。2.1.20 火焰探测器ultraviolet rays&infra-red rays(UV/IR)可燃溶剂化学品发生泄漏起火时,探测所产生红外线或是紫外线的辐射热感应装置。2.2 缩略ZR F 2.2.1 PVC polyvinyl chloride 聚氯乙烯2.2.2 C-PVC c1ean polyvinyl chloride 透明聚氯乙烯2.2.3 PFA perfl uoro-alkoxy 四氟乙烯共聚物2.2.4 PP polypropylene 聚丙烯2.2.5 PTFE polytetrafl uoroethylene 聚囚氟乙烯2.2.6 CPVC chlorinated
19、 polyvinyl chloride氯化聚氯乙烯2.2.7 UPVC unplasticized polyvinyl chloride 硬质聚氯乙烯2.2.8 PE polyethylene 聚乙烯2.2.9 PVDF polyvinylidenefl uoride 聚偏氟乙烯 4 3 化学品供应系统3.1一般规定3.1.1 生产厂房内化学品的储存、分配间,应根据生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。3.1.2 化学品应按物化特性分类储存,不相容的化学品应布置在不同的房间内,房间之间应采用实体墙分隔。3.1.3 危险性化学品储存在单独的储存间或储存分配间时,与相邻房间隔墙的耐火极
20、限不应小于2.0h,并应布置在生产厂房一层靠外墙的房间内。3.1.4 生产厂房内的化学品储存、分配间的设计应符合下列规定:1 应设计储存桶槽或储罐,储存桶槽或储罐的容量应为该化学品7d的消耗量;2 应设计日用桶糟,日用桶槽的容量应为该化学品24.0h的消耗量;3 当单一或多种化学品的储存数量达到现行国家标准危险化学品重大危险源辨识)GB18218规定的数盐时,应设置单独用于化学品的储存与分配的建(构)筑物。3.2 化学品供应设备3.2.1 化学品供应单元的设计应符合下列规定:1 供应单元的设备、管路应设置于箱柜内,箱柜顶部直装设高效空气过滤器,并应与单元门有自动联动功能,还应设排气连接口并与相
21、应的排气处理系统连接;2 供应单元应设有确认化学品种类等信息的条形码读码机,单元柜体应设有危险性标识;3 供应单元应设有清洗和吹扫槽车快速接头的纯水枪和氯气枪,有机溶剂化学品补充单元不应设纯水枪;4 不同化学品应设置不同型号、不同规格的快速接头;5 可燃溶剂化学品供应单元应设防静电接地,补充化学品时,静电接地线应与化学品桶或槽车连接;6 供应单元箱柜门应设安全连锁装置,当非正常打开时,应即时报警;7 当采用泵输送时,直采用二组并联设计,当采用氯气输送时,两个压力桶应交替使用;8 供应单元的桶槽应设计氯气密封;9 供应单元的出口应设有自动和手动阔,自动阔的信号应连接监控系统,并应根据工艺设备的需
22、求而开关,同时应设有联动的紧急按钮装置;10 供应单元应设置紧急停止按钮和显示系统状态的三色指示灯,紧急按钮启动时,应发出声y(:;报警信号;供应单元的桶槽应设置液位探测计和高低液位报警装置,同时宜设置可目视的液位计。3.2.2 化学品供应单元应设紧急停止按钮,当系统流量过大或不符合工艺要求时,系统应自动停机,并应在启动时发出警报声及红光闪烁。3.2.3 槽车的化学品系统可设计化学桶槽的补充单元作为备用系统,井应符合下列规定:1 化学品桶槽应置于化学品箱柜内,200.0L化学品桶槽应有被筒输送台;2 补充单元的其他设计应符合本规范第3.2.1条的有关规定。3.2.4 化学品单元应为柜体内的气动
23、组件设计压缩空气管道系统。3.2.5 化学品稀释单元的设计应符合下列规定:1 稀释单元采用泵循环时,循环泵的设计宜二组并联,其中一组应为备用;2 稀释单元应按化学品的特性、浓度计精度要求选用测量原理不同的浓度计;3 稀释单元可根据用量及精度要求选择连续式和批次式系统;4 补充单元的其他设计应符合本规范第3.2.1条的有关规定。3.2.6 可燃溶剂化学品单元应设有热感应及火焰探测器,探测器信号应与消防系统连接。3.2.7 化学品储罐的设计应符合下列规定:1 化学品储罐应采用氯气密封;2 化学品储罐应根据体积大小设置检修口,并宜设检修用不锈钢爬梯等;3 当采用氮气输送时,化学品储罐应设爆破膜、安全
24、阅等泄压装置;4 化学品储罐应设置液位探测计,并应设有高高、高、低、低低液位报警,同时应设计可日视的液位计;5 化学品储罐外部明显处应表明储罐的编号、化学品名称,字体高度不应小于40cm;6 化学品储罐应预留必要的管路出人口,并应设排放口及排放阀。3.2.8 化学品的储存、分配间的液体储罐,应设置溢出保护设施,并应符合下列规定:1 可燃溶剂储罐区应设置防火堤,防火堤容积应大于堤内最大储罐的单罐容积;2 酸耐类化学晶、腐蚀性化学晶液体储罐区应设置防护堤,防护堤容积应大于堤内最大储罐的单罐容积;3 氧化性、腐蚀性化学品液体与可燃溶剂储罐之间、相互接触会引起化学反应的可燃溶剂储罐之间应设置隔堤,隔堤
25、容积应大于隔堤内最大储罐单罐容积的10%;4 防火堤及隔堤应能存受所容纳灌体的静压,且不应渗漏;卧式储罐防火堤的高度不应低于500mm,并应在防火堤适当位置设置人员进出的踏步;5 防火堤、防护堤、隔堤四周应设置泄漏收集沟,沟内应设置泄漏收集坑,不同性质的化学品泄漏收集沟不应连通。3.2.9 化学品储存、分配间四周应设置泄漏废液收集沟,沟内应设置废液收集坑,不同性质的化学品泄漏废液收集沟不应连通。3.2.10 阀门箱的设置应符合下列规定:1 阀门箱内支管数量应按工艺要求确定,宜预留扩充接头,每一支管应设有切断阅、排液阀;2 阀门箱底部应设泄漏或维修用的排液阀;3 阀门箱应设置排气口,并连接至相应
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