《测试技术》第四章传感器的基本类型及其工作原理解读优秀PPT.ppt
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1、第四章第四章 传感器的基本类型传感器的基本类型及其工作原理及其工作原理动力装置电控技术探讨所动力装置电控技术探讨所1.概概 述;述;2.电阻式传感器;电阻式传感器;3.电感式传感器;电感式传感器;4.电容式传感器;电容式传感器;5.压电式传感器;压电式传感器;6.磁电式传感器。磁电式传感器。7.热电式传感器;热电式传感器;8.光电式传感器;光电式传感器;9.霍尔传感器;霍尔传感器;10.数字式传感器;数字式传感器;11.传感器信号处理电路。传感器信号处理电路。帮助电源帮助电源敏感元件敏感元件转换元件转换元件基本转换电路基本转换电路被测量被测量电量电量敏感元件,是干脆感受被测量,并输出与被测量成
2、确定关敏感元件,是干脆感受被测量,并输出与被测量成确定关 系的系的某一物理量的元件。某一物理量的元件。转换元件转换元件,敏感元件的输出就是它的输入,它把输入转换成电路,敏感元件的输出就是它的输入,它把输入转换成电路参量。参量。基本转换电路:基本转换电路:上述电路参数接入基本转换电路(简称转换电上述电路参数接入基本转换电路(简称转换电路),便可转换成电量输出。路),便可转换成电量输出。传感器的组成传感器的组成 第一节第一节.概概 述述传感器的分类传感器的分类 第一节第一节.概概 述述(1)按被测物理量分类)按被测物理量分类(2)按测量原理分类)按测量原理分类(3)按输出信号性质分类)按输出信号性
3、质分类被测量为压力、温度、速度等物理量,相应的为压力被测量为压力、温度、速度等物理量,相应的为压力传感器、温度传感器等传感器、温度传感器等基于物理学现象,如电阻式传感器、电感式传感器、基于物理学现象,如电阻式传感器、电感式传感器、电容式传感器、压电式传感器等电容式传感器、压电式传感器等模拟式传感器、数字式传感器模拟式传感器、数字式传感器其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器n 电阻式传感器:将被测的量转变为电阻变更的一种传感器。电阻式传感器:将被测的量转变为电阻变更的一种传感器。一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器金属电阻应变计效应:金属导体(电阻丝)的电阻值随其变形金属电阻应变计效应:金
4、属导体(电阻丝)的电阻值随其变形(伸长或缩短)而发生变更的一种物理现象。(伸长或缩短)而发生变更的一种物理现象。已知导体(一根圆截面的金属丝)的电阻:已知导体(一根圆截面的金属丝)的电阻:dlF金属丝的原始电阻金属丝的原始电阻金属丝的原始电阻率金属丝的原始电阻率金属丝的原始长度金属丝的原始长度金属丝的原始横截面积金属丝的原始横截面积上式中:上式中:为导体的轴向应变量为导体的轴向应变量 ;为导体的横向应变量为导体的横向应变量 由材料力学得:由材料力学得:式中:式中:为材料的泊松比,大多数金属材料的泊松比为为材料的泊松比,大多数金属材料的泊松比为 0.30.5 左右左右可得到:可得到:上式说明:电
5、阻应变效应主要取决于它的几何应变和本身特有的导电性能上式说明:电阻应变效应主要取决于它的几何应变和本身特有的导电性能其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器设金属丝在外力作用下沿轴线伸长,伸长量设为设金属丝在外力作用下沿轴线伸长,伸长量设为 l,并因此截面,并因此截面积变更积变更 A,电阻率的变更为,电阻率的变更为 ,相应的电阻变更为,相应的电阻变更为 dR 。对。对式式 全微分得电阻变更率全微分得电阻变更率 dR/R 为:为:其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器1引出线引出线 2敏感栅敏感栅 3覆盖层覆盖层 4基
6、底基底(a)金属丝短接式;()金属丝短接式;(b)金属箔式;)金属箔式;(c)用于扭矩测量;()用于扭矩测量;(d)用于流体压力测量)用于流体压力测量其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器粘贴技术粘贴技术(1)(2)(3)(4)(5)(6)其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器粘贴技术粘贴技术(7)(8)(9)(10)(11)(12)为构件线胀系数为构件线胀系数其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器温度误差温度误差温度误差温度误差 温度变更引起的应变片电阻变更温度变更引起的应
7、变片电阻变更 温度变更引起应变片变形,产生附加应变温度变更引起应变片变形,产生附加应变附加应变的影响附加应变的影响构件的线胀伸长量为构件的线胀伸长量为应变片处于自由状态应变片处于自由状态为应变片线胀系数为应变片线胀系数应变片产生附加变形应变片产生附加变形温度对电阻的影响温度对电阻的影响温度引起的电阻变更温度引起的电阻变更其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器温度补偿温度补偿温度补温度补偿方法偿方法 桥路补偿法桥路补偿法 应变片自补偿法应变片自补偿法选择特定的应变片选择特定的应变片接受双金属敏感栅自补偿应变片接受双金属敏感栅自补偿应变片热敏电阻补偿热敏电阻
8、补偿应变片测量电路应变片测量电路取值取值 则有:则有:其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器温度补偿温度补偿选择材料时满足选择材料时满足其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器一、金属应变式传感器一、金属应变式传感器应变片自补偿应变片自补偿 选择特定的应变片选择特定的应变片 接受双金属敏感栅自补偿应变片接受双金属敏感栅自补偿应变片选择材料时满足选择材料时满足则可实现则可实现温度补偿温度补偿双金属丝敏感栅双金属丝敏感栅 热敏电阻补偿法热敏电阻补偿法其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器二、半导体式压阻传感器二、半导体式压阻传感器很多固体材料受到应力作用,电阻
9、率会发生变更,称为压阻效应很多固体材料受到应力作用,电阻率会发生变更,称为压阻效应半导体材料的压阻效应最为明显,如硅半导体材料的压阻效应最为明显,如硅/锗压阻式传感器锗压阻式传感器)结构图)主要元件硅环)结构图)主要元件硅环 压力传感器压力传感器其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器二、半导体式压阻传感器二、半导体式压阻传感器压阻式加速度传感器压阻式加速度传感器当质量块受加速度作用时,硅梁根部受应力作用当质量块受加速度作用时,硅梁根部受应力作用.其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器电阻应变式力传感器电阻应变式力传感器电阻应变式力传感器电阻应变式力传感器电阻式压力传感器电阻式压力传感器电阻式压
10、力传感器电阻式压力传感器其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器三、电位计式传感器三、电位计式传感器n 用于角位移和线位移测量的电阻式传感器用于角位移和线位移测量的电阻式传感器n 这类传感器通常以电位计的形式接入测量电路,称为这类传感器通常以电位计的形式接入测量电路,称为电位计式传感器电位计式传感器其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器三、电位计式传感器三、电位计式传感器电位计式传感器原理图电位计式传感器原理图非线性相对误差非线性相对误差 为:为:令令与与 呈非线性关系呈非线性关系非线性相对误差非线性相对误差其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器三、电位计式传感器三、电位计式传感器当位移量当位移
11、量 时时,得最大相对误差得最大相对误差 为为负载电阻负载电阻 越大,相对误差越小越大,相对误差越小 四、气敏传感器四、气敏传感器其次节其次节.电阻式传感器电阻式传感器五、湿敏传感器五、湿敏传感器n 半导体气敏元件与被测气体接触后,会造成半导体性质半导体气敏元件与被测气体接触后,会造成半导体性质的变更,以此特性来检测气体的成分的传感器,称为气敏传的变更,以此特性来检测气体的成分的传感器,称为气敏传感器。感器。n 有些材料的电阻值会随空气湿度的变更而变更,利用此有些材料的电阻值会随空气湿度的变更而变更,利用此原理制成的传感器,称为湿敏电阻传感器。原理制成的传感器,称为湿敏电阻传感器。第三节第三节.
12、电感式传感器电感式传感器 电感式传感器,利用线圈自感或互感的变更,把被测物电感式传感器,利用线圈自感或互感的变更,把被测物理量如位移、振动、压力、流量等转换为线圈上电感量变理量如位移、振动、压力、流量等转换为线圈上电感量变更的传感器。更的传感器。电感式传感器电感式传感器互感式电感传感器互感式电感传感器自感式电感传感器自感式电感传感器变气隙式电感传感器变气隙式电感传感器变截面式电感传感器变截面式电感传感器螺管式电感传感器螺管式电感传感器第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、自感式电感传感器一、自感式电感传感器 变气隙式电感传感器变气隙式电感传感器自感式电感传感器的结构自感式电感传感器的结构线
13、圈电感量线圈电感量线圈匝数;线圈匝数;磁路的总磁阻磁路的总磁阻假如气隙厚度假如气隙厚度 较小,则较小,则总磁阻值为:总磁阻值为:第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、自感式电感传感器一、自感式电感传感器 变气隙式电感传感器变气隙式电感传感器灵敏度灵敏度S为为变隙式电压传感器变隙式电压传感器的的L-特性特性 难度可见难度可见值越小,灵值越小,灵敏度越高敏度越高 为了保证线性度,变气为了保证线性度,变气隙式传感器只能工作在一隙式传感器只能工作在一段比较小的区域内段比较小的区域内第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、自感式电感传感器一、自感式电感传感器 变气隙式电感传感器的应用变气隙式电感传
14、感器的应用变隙电感式压力传感器结构图变隙电感式压力传感器结构图 第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、自感式电感传感器一、自感式电感传感器 变气隙式电感传感器的应用变气隙式电感传感器的应用变隙式差动电感压力传感器变隙式差动电感压力传感器 第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、自感式电感传感器一、自感式电感传感器 变截面式电感传感器变截面式电感传感器123 被测物体带动衔铁作线位移或角位移时,磁路被测物体带动衔铁作线位移或角位移时,磁路中气隙截面积发生变更,变更量为中气隙截面积发生变更,变更量为A 上式中,线圈匝数上式中,线圈匝数 ,气隙厚度,气隙厚度 不变,不变,L是气隙截面积是气隙截
15、面积 A的函数的函数 灵敏度灵敏度变截面式变截面式第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、自感式电感传感器一、自感式电感传感器 螺管式电感传感器螺管式电感传感器rx螺旋管螺旋管铁心铁心单线圈螺管型传感器结构图单线圈螺管型传感器结构图l 螺管型自感传感器:单线圈和差动式螺管型自感传感器:单线圈和差动式 单线圈螺管型传感器主要包括:螺管线圈和圆柱形铁芯单线圈螺管型传感器主要包括:螺管线圈和圆柱形铁芯 传传感感器器工工作作时时,因因铁铁芯芯在在线线圈圈中中伸伸入入长长度度的的变变更更,引引起起螺螺管管线线圈圈自自感感值值的的变变更更,当当用用恒恒流流源源激激励励时时,则则线线圈圈的的输输出出电电压
16、压与与铁芯的位移量有关铁芯的位移量有关螺管线圈内磁场分布曲线螺管线圈内磁场分布曲线rxl1.00.80.60.40.20.2 0.4 0.60.81.0H()INlx(l)u 铁芯在起先插入铁芯在起先插入(x=0)或几乎离开线圈时)或几乎离开线圈时的灵敏度,比铁芯插入线的灵敏度,比铁芯插入线圈的圈的1/2长度时的灵敏度小长度时的灵敏度小得多。这说明只有在线圈得多。这说明只有在线圈中段才有可能获得较高的中段才有可能获得较高的灵敏度,并且有较好的线灵敏度,并且有较好的线性特性。性特性。第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、自感式电感传感器一、自感式电感传感器 螺管式电感传感器螺管式电感传感器第
17、三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、互感式电感传感器一、互感式电感传感器 把把被被测测的的非非电电量量变变更更转转换换为为线线圈圈互互感感变变更更的的传传感感器器称称为为互互感感式式传传感感器器。这这种种传传感感器器是是依依据据变变压压器器的的基基本本原原理理制制成成的的,并并且且次次级级绕绕组组用用差差动动形形式式连连接接,故故称称差差动动变变压压器器式式传传感器。感器。差差动动变变压压器器结结构构形形式式较较多多,有有变变隙隙式式、变变面面积积式式和和螺螺线线管管式式等等。在在非非电电量量测测量量中中,应应用用最最多多的的是是螺螺线线管管式式差差动动变变压压器器,它它可可以以测测量量1
18、-100mm机机械械位位移移,并并具具有有测测量量精精度度高高、灵敏度高、灵敏度高、结构简洁、性能牢靠等优点。结构简洁、性能牢靠等优点。第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、互感式电感传感器一、互感式电感传感器 变隙式差动变压器结构变隙式差动变压器结构变隙式差动变压器结构示意图变隙式差动变压器结构示意图第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、互感式电感传感器一、互感式电感传感器 螺线管式差动变压器螺线管式差动变压器螺线管式差动变压器结构示意图螺线管式差动变压器结构示意图第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、互感式电感传感器一、互感式电感传感器 变面积式差动变压器变面积式差动变压器变面
19、积式差动变压器结构示意图变面积式差动变压器结构示意图第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、互感式电感传感器一、互感式电感传感器 工作原理工作原理工作原理变隙式差动变压器工作原理变隙式差动变压器 u 闭磁路变隙式差动变压器的结构如右图所示,在A、B两个铁芯上绕有W1a=W1b=W1的两个初级绕组和W2a=W2b=W2两个次级绕组。两个初级绕组的同名端顺向串联,而两个次级绕组的同名端则反相串联。第三节第三节.电感式传感器电感式传感器一、互感式电感传感器一、互感式电感传感器变隙式差动变压器输出特性变隙式差动变压器输出特性 变隙式差动变压器等效电路变隙式差动变压器等效电路 第四节第四节.电容式传感
20、器电容式传感器 电容式传感器是将被测物理量的位移转换为电容量的变更,再通电容式传感器是将被测物理量的位移转换为电容量的变更,再通过配套的测量电路,将电容的变更转换为电信号输出。过配套的测量电路,将电容的变更转换为电信号输出。上式中:上式中:0 真空的介电常数;真空的介电常数;s 极板的遮盖面积;极板的遮盖面积;极板间相对介电系数;极板间相对介电系数;两平行极板间的距离。两平行极板间的距离。两极板间的电容量两极板间的电容量第四节第四节.电容式传感器电容式传感器一、变极板间隙型电容传感器一、变极板间隙型电容传感器传感器固定一块极板,而使另一传感器固定一块极板,而使另一块极板移动,从而来变更间隙块极
21、板移动,从而来变更间隙以引起电容的变更以引起电容的变更设间隙有一变更量设间隙有一变更量,则有:,则有:电容传感器的灵敏度电容传感器的灵敏度 实际应用中为提高传感器的灵实际应用中为提高传感器的灵敏度,常接受差动式结构敏度,常接受差动式结构第四节第四节.电容式传感器电容式传感器二、变面积型电容传感器二、变面积型电容传感器变更电容器极板面积获得电容传感器输出变更变更电容器极板面积获得电容传感器输出变更第四节第四节.电容式传感器电容式传感器三、变介电常数型电容传感器三、变介电常数型电容传感器输出电容输出电容C与液面高度成线性关系与液面高度成线性关系容器内介质的介电常数容器内介质的介电常数容器上面气体介
22、质介电常数容器上面气体介质介电常数第四节第四节.电容式传感器电容式传感器此方法可用来对不同材料如此方法可用来对不同材料如纸、塑料膜、合成纤维等的纸、塑料膜、合成纤维等的厚度进行测定厚度进行测定三、变介电常数型电容传感器三、变介电常数型电容传感器 应用应用此方法可用来测量位移此方法可用来测量位移第五节第五节.压电式传感器压电式传感器一些物质在外力作用下表面会产生电荷;一些物质在外力作用下表面会产生电荷;压电传感器工作原理,基于某些物质的压电效应;压电传感器工作原理,基于某些物质的压电效应;压电传感器是力敏感元件,主要用于测量可转换成力的物理压电传感器是力敏感元件,主要用于测量可转换成力的物理量,
23、如压力、加速度等。量,如压力、加速度等。一、工作原理一、工作原理 压电效应压电效应u 压电效应:某些电介质,当沿着确定方向对其施力而使它变形压电效应:某些电介质,当沿着确定方向对其施力而使它变形时,内部就产生极化现象,同时在它的两个表面上便产生符号相时,内部就产生极化现象,同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷,当外力去掉后,又重新复原到不带电状态。反的电荷,当外力去掉后,又重新复原到不带电状态。u 压电材料受力变形,在表面产生电荷压电材料受力变形,在表面产生电荷 正压电效应正压电效应 u 压电材料通电压,材料变形压电材料通电压,材料变形 逆压电效应逆压电效应 u 压电材料压电材料u 压电晶
24、体压电晶体u 压电陶瓷压电陶瓷第五节第五节.压电式传感器压电式传感器F F F FF FF F 一、工作原理一、工作原理 压电效应压电效应压电效应示意图压电效应示意图压电效应的可逆性压电效应的可逆性 逆压电效应逆压电效应电能电能电能电能机械能机械能机械能机械能正压电效应正压电效应第五节第五节.压电式传感器压电式传感器(a)晶体外形;晶体外形;(b)切割方向;切割方向;(c)晶片晶片 一、工作原理一、工作原理 石英晶体石英晶体x方向方向,为电轴;为电轴;y方向方向,为力轴;为力轴;Z方向方向,为光轴为光轴.第五节第五节.压电式传感器压电式传感器二、工作原理二、工作原理 压电元件连接方式压电元件连
25、接方式(a)相同极性端粘结相同极性端粘结(b)不同极性端粘结不同极性端粘结 并联接法输出电荷大,本身电容并联接法输出电荷大,本身电容大,大,时间常数大,适宜用在测量时间常数大,适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。场合。串联接法输出电压大,本身电容串联接法输出电压大,本身电容小,适宜用于以电压作输出信号,小,适宜用于以电压作输出信号,并且测量电路输入阻抗很高的场合。并且测量电路输入阻抗很高的场合。第五节第五节.压电式传感器压电式传感器二、工作原理二、工作原理 压电传感器的测量电路压电传感器的测量电路u 压电传感器本身的内阻抗很高,而输出能量较小,因此它的
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