光电检测技术精品光电子发射探测器.ppt
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1、光电探测与信号处理光电探测与信号处理第三章第三章光电探测器光电探测器华中科技大学华中科技大学1 1第一页,编辑于星期六:十六点 三十四分。第三章第三章光电探测器光电探测器教学内容教学内容课课内学内学时时课课外学外学时时3.1光光电电子子发发射探射探测测器器(PE)3.2光光电导电导探探测测器器4h4h3.3光伏探光伏探测测器器3.3.1光伏效光伏效应应及其特性曲及其特性曲线线3.3.2几种典型光伏器件几种典型光伏器件3.3.3光伏探光伏探测测器的主要特性器的主要特性4h4h3.4热电热电探探测测器器3.4.1基本原理基本原理3.4.2热电热电偶和偶和热电热电堆堆3.4.3测辐测辐射射热计热计(
2、Bolometers)3.4.4热释电热释电器件器件4h4h3.5光光电电成像器件成像器件3.5.1像管像管3.5.2摄摄像管像管3.5.3CCD固体固体摄摄像器件像器件(ChargeCoupledDevice)3.5.4CMOS图图像像传传感器感器3.6各各类类光光电电探探测测器的性能及器的性能及应应用比用比较较4h8h2 2第二页,编辑于星期六:十六点 三十四分。光电发射器件是基于外光电效应的器件光电发射器件是基于外光电效应的器件3.1 3.1 光电子发射探测器光电子发射探测器(PE-Photo Emission)3 3第三页,编辑于星期六:十六点 三十四分。dynodeMicrochan
3、nel plates 光电管光电管光电倍增管光电倍增管像增强管像增强管4 4第四页,编辑于星期六:十六点 三十四分。优点优点:灵敏度高、稳定性好、响应速度快和噪声小:灵敏度高、稳定性好、响应速度快和噪声小缺点:缺点:结构复杂,工作电压高,体积大结构复杂,工作电压高,体积大光电发射器件的特点光电发射器件的特点许多应用领域被性价比更高、体积小巧便于集成的半许多应用领域被性价比更高、体积小巧便于集成的半导体光电器件所替代,但在导体光电器件所替代,但在微弱光信号探测、快速光脉微弱光信号探测、快速光脉冲探测冲探测等方面仍占优势。等方面仍占优势。5 5第五页,编辑于星期六:十六点 三十四分。3.1.1 光
4、电阴极光电阴极 3.1.2 光电管、像增强管光电管、像增强管 3.1.3 光电倍增管光电倍增管 一、光电倍增管组成及工作原理一、光电倍增管组成及工作原理一、光电倍增管组成及工作原理一、光电倍增管组成及工作原理二、二、二、二、光电倍增管的主要特性参数光电倍增管的主要特性参数光电倍增管的主要特性参数光电倍增管的主要特性参数三、光电倍增管的供电电路三、光电倍增管的供电电路三、光电倍增管的供电电路三、光电倍增管的供电电路四、光电倍增管的应用四、光电倍增管的应用四、光电倍增管的应用四、光电倍增管的应用五、小结五、小结五、小结五、小结6 6第六页,编辑于星期六:十六点 三十四分。3.1.1 光电阴极光电阴
5、极l l 将不同波长的各种辐射信号转化为电信号,均依赖光电阴极;将不同波长的各种辐射信号转化为电信号,均依赖光电阴极;将不同波长的各种辐射信号转化为电信号,均依赖光电阴极;将不同波长的各种辐射信号转化为电信号,均依赖光电阴极;l l 光电阴极关系到光电器件的各项光电性能光电阴极关系到光电器件的各项光电性能光电阴极关系到光电器件的各项光电性能光电阴极关系到光电器件的各项光电性能7 7第七页,编辑于星期六:十六点 三十四分。一、光电阴极的主要参数一、光电阴极的主要参数1.灵敏度2.量子效率3.光谱响应4.暗电流8 8第八页,编辑于星期六:十六点 三十四分。1.灵敏度灵敏度包括光谱灵敏度与积分灵敏度
6、。(1)光谱灵敏度 定义在单色(单一波长)辐射作用于光电阴极时,光电阴极输出电流Ik与单色辐射通量e,之比为光电阴极的光谱灵敏度Se,。(A/W或A/W)9 9第九页,编辑于星期六:十六点 三十四分。(2 2)积分灵敏度积分灵敏度 定义:在某波长范围内的积分辐射作用于光电阴极时,定义:在某波长范围内的积分辐射作用于光电阴极时,定义:在某波长范围内的积分辐射作用于光电阴极时,定义:在某波长范围内的积分辐射作用于光电阴极时,光电阴极输出电流光电阴极输出电流光电阴极输出电流光电阴极输出电流I Ik k与入射辐射通量与入射辐射通量e e之比。之比。之比。之比。在可见光波长范围内的在可见光波长范围内的“
7、白光白光”作用于光电阴极时,作用于光电阴极时,光电阴极电流光电阴极电流I Ik k与入射光通量与入射光通量v之比为光电阴极的白之比为光电阴极的白之比为光电阴极的白之比为光电阴极的白光灵敏度光灵敏度光灵敏度光灵敏度S Sv v。(mA/WmA/W或或或或A/W)(mA/lm)(mA/lm)1010第十页,编辑于星期六:十六点 三十四分。.量子效率量子效率 定义在定义在单色辐射单色辐射作用于光电阴极时,光电阴极发射作用于光电阴极时,光电阴极发射作用于光电阴极时,光电阴极发射作用于光电阴极时,光电阴极发射单位时间发射出去的光电子数单位时间发射出去的光电子数单位时间发射出去的光电子数单位时间发射出去的
8、光电子数N Ne,与入射的光子数之比为与入射的光子数之比为与入射的光子数之比为与入射的光子数之比为光电阴极的量子效率光电阴极的量子效率光电阴极的量子效率光电阴极的量子效率(或称量子产额)。即(或称量子产额)。即(或称量子产额)。即(或称量子产额)。即 量子效率和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方量子效率和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方量子效率和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方量子效率和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方法法法法。它们之间的关系为。它们之间的关系为。它们之间的关系为。它们之间的关系为1111第十一页,编辑于星期六:十六点 三十四分。3.光谱响应曲线光谱响应曲线 光电发射阴极
9、的光谱灵敏度或量子效率与入射辐射光电发射阴极的光谱灵敏度或量子效率与入射辐射波长的关系曲线称为光谱响应波长的关系曲线称为光谱响应。4.暗电流暗电流 光电发射阴极中少数处于较高能级的电子在室温下获得了光电发射阴极中少数处于较高能级的电子在室温下获得了热能产生热能产生热电子发射热电子发射,形成暗电流。光电发射阴极的暗电流,形成暗电流。光电发射阴极的暗电流与材料的光电发射阈值有关。一般光电发射阴极的暗电流与材料的光电发射阈值有关。一般光电发射阴极的暗电流极低,其强度相当于极低,其强度相当于10-1610-18A/cm2的电流密度。的电流密度。1212第十二页,编辑于星期六:十六点 三十四分。二、光电
10、阴极材料二、光电阴极材料1.单碱与多碱锑化物光阴极单碱:单碱:金属锑(金属锑(Sb)与碱金属锂()与碱金属锂(Li)、钠()、钠(Na)、钾()、钾(K)、铷)、铷(Rb)、铯(、铯(Cs)中的一种化合,能形成具有稳定光电发射的发射)中的一种化合,能形成具有稳定光电发射的发射体。体。最常用的是最常用的是锑化铯锑化铯(Cs3Sb),其阴极灵敏度最高。长波限约为,其阴极灵敏度最高。长波限约为650nm,对红外不灵敏,广泛用于紫外和可见光区的光电探,对红外不灵敏,广泛用于紫外和可见光区的光电探测器中。锑化铯阴极的峰值量子效率较高,测器中。锑化铯阴极的峰值量子效率较高,一般高达一般高达20%30%,比
11、银氧铯光电阴极高比银氧铯光电阴极高30多倍。多倍。多碱多碱:两种或三种碱金属与锑化合形成多碱锑化物光阴极。其:两种或三种碱金属与锑化合形成多碱锑化物光阴极。其量子效量子效率峰值可高达率峰值可高达30%。暗电流低,光谱响应范围宽。双碱阴极暗电流低,光谱响应范围宽。双碱阴极锑钾锑钾钠(钠(Na2KSb),锑铯钾(),锑铯钾(K2CsSb);三碱阴极三碱阴极锑钾钠铯锑钾钠铯(NaKSbCs)1313第十三页,编辑于星期六:十六点 三十四分。2.银氧铯与铋银氧铯光电阴极银氧铯与铋银氧铯光电阴极银氧铯银氧铯(Ag-O-Cs)阴极是最早使用的实用光阴极。阴极是最早使用的实用光阴极。它的特点是对它的特点是对
12、近红外辐射灵敏。近红外辐射灵敏。制作过程是先在真空玻璃壳壁上涂上一层银膜再制作过程是先在真空玻璃壳壁上涂上一层银膜再通入氧气,通过辉光放电使银表面氧化,对于半透明银膜由于基通入氧气,通过辉光放电使银表面氧化,对于半透明银膜由于基层电阻太高,不能用放电方法而用射频加热法形成氧化银膜,再层电阻太高,不能用放电方法而用射频加热法形成氧化银膜,再引入铯蒸汽进行敏化处理,形成引入铯蒸汽进行敏化处理,形成Ag-O-Cs薄膜。薄膜。银氧铯光电阴极的光谱响应有两个峰值,一个在银氧铯光电阴极的光谱响应有两个峰值,一个在350nm处,一个处,一个在在800nm处。光谱范围在处。光谱范围在300nm到到1200nm
13、之间。量子效率不高,之间。量子效率不高,峰值处约峰值处约0.5%1%左右。左右。银氧铯使用温度可达银氧铯使用温度可达100,但暗电流较大,且随温度变,但暗电流较大,且随温度变化较快。化较快。1414第十四页,编辑于星期六:十六点 三十四分。将近红外区具有高灵敏度的将近红外区具有高灵敏度的Ag-O-Cs阴极和蓝光区具有阴极和蓝光区具有高灵敏度的高灵敏度的Bi-Cs-O阴极相结合,可以获得在整个可见光谱阴极相结合,可以获得在整个可见光谱内有较均匀响应和高灵敏度的铋银氧铯光电阴极。内有较均匀响应和高灵敏度的铋银氧铯光电阴极。铋银氧铯光电阴极制作方法很多,四种元素可以铋银氧铯光电阴极制作方法很多,四种
14、元素可以有不同的结合次序,如有不同的结合次序,如Bi-Ag-O-Cs,Bi-O-Ag-Cs,Ag-Bi-O-Cs等。等。量子效率可达量子效率可达10,约为约为Cs3Sb光电阴极的光电阴极的一半,其优点是一半,其优点是光谱响应与人眼相匹配光谱响应与人眼相匹配。1515第十五页,编辑于星期六:十六点 三十四分。1616第十六页,编辑于星期六:十六点 三十四分。暗电流比较:暗电流比较:暗电流比较:暗电流比较:Ag-O-CsBi-Bi-Ag-O-CsAg-O-CsCsCs3 3SbSb量子效率比较:量子效率比较:量子效率比较:量子效率比较:Ag-O-CsAg-O-CsBi-Bi-Ag-O-CsCsCs
15、3 3SbSb多碱多碱多碱多碱灵敏度比较:灵敏度比较:Ag-O-CsAg-O-CsBi-Bi-Ag-O-CsCs3 3SbIA时,流过各分压电阻Ri的电流近似相等。工程上常设计IR大于等于10倍的IA电流。IR10IA选择的太大将使分压电阻功率损耗加大,倍增管温度升高导致性能的降低,以至于温升太高而无法工作。6969第六十九页,编辑于星期六:十六点 三十四分。选定电流后,可以计算出电阻链分压器的总阻值R 从而可以算出各分压电阻Ri。考虑到阴极到第一级倍增极之间的距离7070第七十页,编辑于星期六:十六点 三十四分。2.2.电源电压和极间电压电源电压和极间电压 极间供电电压UDD直接影响着二次电
16、子发射系数,或管子的增益G。因此,根据增益G的要求可以设计出极间供电电压UDD。由可以计算出UDD。锑化铯倍增极 银镁合金倍增极 7171第七十一页,编辑于星期六:十六点 三十四分。供电电压的极性阳极接地负高压供电:阳极接地负高压供电:阳极信号输出方便,可以交直流输出。但由于阴极处于负高压,因屏蔽罩都是与机壳相连接地的,所以光、磁、电的屏蔽罩不能跟阴极靠的很近,至少间隔12cm,使倍增管尺寸变大,同时阳极输出暗电流和噪声较大。阴极接地的正高压供电:阴极接地的正高压供电:光、磁、电的屏蔽罩能跟阴极靠的很近,屏蔽效果好,可以得到较低的暗电流和噪声。但阳极处于正高压会导致寄生电容增大,匹配电缆连接复
17、杂,阳极信号输出必须通过耐高压、噪声小的隔直流电容器,因此只能输出交流信号。7272第七十二页,编辑于星期六:十六点 三十四分。GKPR1R2R3R4R5R7R6负高压负高压DC输出电路输出电路负高压脉冲输出电路负高压脉冲输出电路GKPR1R2R3R4R5R7R67373第七十三页,编辑于星期六:十六点 三十四分。3.极间电压的稳定度 对上两式进行微分,并用增量形式表示,可得到光电倍增管的电流增益稳定度与极间电压稳定度的关系 对锑化铯倍增极 对银镁合金倍增极 由于光电倍增管的输出信号Uo=GSkvRL,因此,输出信号的稳定度与增益的稳定度有关 7474第七十四页,编辑于星期六:十六点 三十四分
18、。4.末极的并联电容 当入射辐射信号为高速的迅变信号或脉冲时,末3级倍增极电流变化会引起较大UDD的变化,引起光电倍增管增益的起伏,将破坏信息的变换。在末3极并联3个电容C1、C2与C3,通过电容的充放电过程使末3级电压稳定。电容C1、C2与C3的计算公式为 式中N为倍增极数,Iam为阳极峰值电流,为脉冲的持续时间,UDD为极间电压,L为增益稳定度的百分数。或锑化铯银镁合金7575第七十五页,编辑于星期六:十六点 三十四分。5.信号输出光电倍增管输出一个电流信号,而与其相联的后续电路,一般是基于电压信号而设计的,因此,常用一个负载电阻来完成电流-电压的转换。在此,我们来研究一下负载电阻的选取。
19、由于光电倍增管输出电流很小,而且实际上常常将其看作一个恒流源,因此,一般认为负载电阻可以任意大地选取,从而从一个较低的电流信号,得到一个很高的电压信号。但是实际上,较大的负载电阻会导致频率响应和输出线性的恶化。7676第七十六页,编辑于星期六:十六点 三十四分。若负载电阻为RL,光电倍增管阳极和其它电极之间的静电电容量以及由于布线等引起的杂散电容量的总和为Cs,则截止频率fc:上式可以看到,尽管光电倍增管和放大器有极快的响应时间,输出线路响应也将受到截止频率fc的限制。如果负载电阻RL值较高,在较高输出电流情况下,负载电阻将导致阳极电位电压降增大,造成阳极-末倍增极电压降低,从而降低了输出线性
20、(输出电流与入射光的比例关系)。7777第七十七页,编辑于星期六:十六点 三十四分。实 例 17878第七十八页,编辑于星期六:十六点 三十四分。实 例 2The multi-anode position sensitive photomultiplier tube(PSPMT)参考文献:赵翠兰等,多阳极位置灵敏光电倍增管位置读出电路的设计实现,原子核物理评论,2010年01期7979第七十九页,编辑于星期六:十六点 三十四分。四.光电倍增管的应用 光电倍增管不但具有极高的光电灵敏度、极快的响应速度、极低的暗电流低和噪声,还能够在很大范围内调整内增益。因此,它在微光探测、快速光子计数和微光时域
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