多晶硅厂原材料分析讲座.ppt

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1、多晶硅原材料分析多晶硅原材料分析第一章硅粉分析第一章硅粉分析第二章液氯分析第二章液氯分析第三章其它原料分析第三章其它原料分析第一章硅粉分析第一章硅粉分析一、概述硅粉是多晶硅厂的主要原料之一，其质量的好与坏直接影响三氯氢硅的合成及纯度。硅粉分析的目的是检测所购进硅粉的各项指标是否满足工艺生产的要求。这些指标有：硅粉粒度，铁、铝、钙、钛、磷、硼元素的含量。分析方法有传统的化学分析方法，也有越来越普及的仪器分析法。v仪器分析：-射线荧光光谱法，优点是能同时检测多个元素、速度快，不破坏样品，操作简便；ICP-AES法，能同时检测多个元素，分析速度快，取样量少，操作简便；法，灵敏度高，取样量少，低浓度下

2、分析准确度高，操作较简便；各种仪器均有其他仪器无法比拟的优点，各种仪器在检测时有一定的互补性。v化学分析与仪器分析比较化学分析一般是半微量(0.01-0.1g)、常量(0.1g)组分的分析。特点：准确度高；成本低廉。操作复杂，过程时间长，受人员因素影响大。仪器分析的分析对象一般是半微量(0.01-0.1g)、微量(0.1-10mg)、超微量(303030300.250.250.250.25MgOMgOMgOMgO101010100.250.250.250.25101010100.200.200.200.20酸不溶物酸不溶物酸不溶物酸不溶物0.150.150.150.15游离水游离水游离水游离水

3、0.250.250.250.25二、氢氧化钠（酸碱滴定法）二、氢氧化钠（酸碱滴定法）原理原理 1 1 氢氧化钠含量的测定原理氢氧化钠含量的测定原理:试样溶液中先加试样溶液中先加入氯化钡，则碳酸钠转化为碳酸钡沉淀入氯化钡，则碳酸钠转化为碳酸钡沉淀,然后然后以酚酞为指示剂，用盐酸标准溶液滴定至终点。以酚酞为指示剂，用盐酸标准溶液滴定至终点。反应如下。反应如下。NaNa2 2COCO3 3+BaCl+BaCl2 2=BaCO=BaCO3 3+2NaCl+2NaClNaOH+HCl=NaCl+HNaOH+HCl=NaCl+H2 2O O 2 2 碳酸钠含量的测定原理碳酸钠含量的测定原理:试样溶液以甲基橙试样溶液以甲基橙为指示剂，用盐酸标准溶液滴定至终点，测得为指示剂，用盐酸标准溶液滴定至终点，测得氢氧化钠和碳酸钠的总和，再减去氢氧化钠的氢氧化钠和碳酸钠的总和，再减去氢氧化钠的含量，则可测得碳酸钠的含量。含量，则可测得碳酸钠的含量。三、氢氧化钾（酸碱滴定）三、氢氧化钾（酸碱滴定）四、氯化钙四、氯化钙五、盐酸五、盐酸