电阻应变片式传感器(1).ppt
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1、第第3 3章章 应变式传感器应变式传感器 教教 师:郑一力师:郑一力 办公室:森工楼办公室:森工楼423423 E-mail E-mail: tel:13811762730 or 62337736-423 tel:13811762730 or 62337736-423例:例:例:例:取一根细电阻丝,两端接上一台取一根细电阻丝,两端接上一台取一根细电阻丝,两端接上一台取一根细电阻丝,两端接上一台3 3 3 3位半位数字位半位数字位半位数字位半位数字式欧姆表(分辨率为式欧姆表(分辨率为式欧姆表(分辨率为式欧姆表(分辨率为1/20001/20001/20001/2000),记下其初始阻值(图),记下
2、其初始阻值(图),记下其初始阻值(图),记下其初始阻值(图中为中为中为中为10.0110.0110.0110.01 )。当我们用力将该电阻丝拉长时,会发。当我们用力将该电阻丝拉长时,会发。当我们用力将该电阻丝拉长时,会发。当我们用力将该电阻丝拉长时,会发现其阻值略有增加(图中增加到为现其阻值略有增加(图中增加到为现其阻值略有增加(图中增加到为现其阻值略有增加(图中增加到为10.0510.0510.0510.05 )。)。)。)。测量应测量应测量应测量应力、应变、力的传感器就是利用类似的原理制作的。力、应变、力的传感器就是利用类似的原理制作的。力、应变、力的传感器就是利用类似的原理制作的。力、应
3、变、力的传感器就是利用类似的原理制作的。电电阻阻应应变变式式传传感感器器是是利利用用电电阻阻应应变变片片将将应应变变转转换换为为电电阻阻变化变化的传感器的传感器。传感器由在弹性元件传感器由在弹性元件(被测对象被测对象)上粘贴上粘贴电阻应变片电阻应变片构成。构成。当当被被测测物物理理量量作作用用在在弹弹性性元元件件上上时时,弹弹性性元元件件的的变变形形引引起起应应变变敏敏感感元元件件的的阻阻值值变变化化,通通过过转转换换电电路路将将其其转转变变成成电电量量输出输出,电量变化的大小反映了被测物理量的大小。电量变化的大小反映了被测物理量的大小。应应变变式式电电阻阻传传感感器器是是目目前前测测量量力力
4、、力力矩矩、压压力力、加加速速度、重量等参数应度、重量等参数应用最广泛的传感器。用最广泛的传感器。主要内容主要内容 3.1工作原理工作原理3.2电阻应变片种类、材料及粘贴电阻应变片种类、材料及粘贴3.3电阻应变片特性电阻应变片特性3.4电阻应变片的测量电路电阻应变片的测量电路3.5应变式传感器的典型应用应变式传感器的典型应用3.1工作原理工作原理应变应变物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象弹性应变弹性应变当外力去除后,物体能够完全恢复其尺寸和形状的当外力去除后,物体能够完全恢复其尺寸和形状的应变应变弹性元件弹性元件具有弹性应变特性的物体具有弹性应变特
5、性的物体应变传感器在承重梁上应变传感器在承重梁上n电阻应变片的种类电阻应变片的种类 电阻应变片品种繁多电阻应变片品种繁多,形式多样。形式多样。常常用用的的应应变变片片可可分分为为两两类类:金金属属电电阻阻应应变变片片和和半半导导体体电电阻应变片阻应变片。应变效应分析应变效应分析电阻应变片的电阻应变片的工作原理工作原理是基于是基于应变效应应变效应应应变变效效应应:即即导导体体或或半半导导体体材材料料在在外外界界力力的的作作用用下下产产生生机机械械变变形形时时,其其电电阻阻值值相相应应发发生生变变化化,这种现象称为这种现象称为“应变效应应变效应”。一根金属电阻丝,在其未受力时,原始电阻值为:一根金
6、属电阻丝,在其未受力时,原始电阻值为:图3-1 金属电阻丝应变效应 金属丝受拉力后几何尺寸伸长金属丝受拉力后几何尺寸伸长,这时电阻变化多少这时电阻变化多少呢?呢?当当电电阻阻丝丝受受到到拉拉力力F作作用用时时,将将伸伸长长l,横横截截面面积积相相应应减减小小A,电电阻阻率率因因材材料料晶晶格格发发生生变变形形等等因因素素影影响而改变了响而改变了,从而引起电阻值变化量为,从而引起电阻值变化量为:式中:式中:dl/l长度相对变化量,用长度相对变化量,用应变应变表示为表示为电阻相对变化量:电阻相对变化量:dA/A圆圆形形电电阻阻丝丝的的截截面面积积相相对对变变化化量量,设设r为为电阻丝的半径,微分后
7、可得电阻丝的半径,微分后可得dA=2rdr,则则材材料料力力学学:在在在在弹弹弹弹性性性性范范范范围围围围内内内内,金金金金属属属属丝丝丝丝受受受受拉拉拉拉力力力力时时时时,沿沿沿沿轴轴轴轴向向向向伸伸伸伸长长长长,沿径向缩短沿径向缩短沿径向缩短沿径向缩短。n轴向应变和径向应变的关系可表示为轴向应变和径向应变的关系可表示为为材料的为材料的泊松比泊松比泊松比泊松比,负号表示与应变方向相反。负号表示与应变方向相反。推得:推得:定定义义:电电阻阻丝丝的的灵灵敏敏系系数数(物物理理意意义义):单单位位应应变变所引起的电阻相对变化量。其表达式为所引起的电阻相对变化量。其表达式为灵敏系数灵敏系数K0受两个
8、因素影响受两个因素影响一是应变片受力后材料一是应变片受力后材料几何尺寸几何尺寸的变化,的变化,即即1+2二是应变片受力后材料的二是应变片受力后材料的电阻率电阻率发生的变化,发生的变化,即即(d/)/。对对金属材料:金属材料:1+2(d/)/对对半导体材料:半导体材料:(d/)/1+2很难用解析很难用解析式描述式描述大大量量实实验验证证明明,在在电电阻阻丝丝拉拉伸伸极极限限内内,电电阻阻的相对变化与应变成正比,即的相对变化与应变成正比,即K为常数。为常数。对康铜材料,K1.92.1;对镍铬合金材料,K2.12.3;对铂材料,K35。实实验验证证明明,在在金金属属电电阻阻材材料料中中,1+2(d/
9、)/,所所以以(d/)/,因因而而金金属属电电阻阻材材料的灵敏系数为料的灵敏系数为半半导导体体应应变变片片是是用用半半导导体体材材料料制制成成的的,其其工工作作原原理理是是基基于于半半导导体体材材料料的的压压阻阻效效应应。所所谓谓压压阻阻效效应应,是是指指半半导导体体材材料料在在某一轴向受外力作用时某一轴向受外力作用时,其电阻率其电阻率发生变化的现象。发生变化的现象。半导体应变片受轴向力作用时半导体应变片受轴向力作用时,其电阻相对变化为其电阻相对变化为半导体应变片半导体应变片半导体应变片的电阻率相对变化量与所受半导体应变片的电阻率相对变化量与所受的应变力有关:的应变力有关:式中:式中:半导体材
10、料的压阻系数半导体材料的压阻系数;半导体材料的所受应变力半导体材料的所受应变力;E半导体材料的半导体材料的弹性模量弹性模量;半导体材料的应变。半导体材料的应变。因此:因此:实实验验证证明明,在在半半导导体体材材料料中中,E比比1+2大大上上百百倍倍,所所以以1+2可以忽略,因而半导可以忽略,因而半导体应变片的灵敏系数为体应变片的灵敏系数为半半导导体体应应变变片片的的灵灵敏敏系系数数比比金金属属丝丝式式高高5080倍倍,但但半半导导体体材材料料的的温温度度系系数数大大,应应变变时时非非线线性性比比较较严严重重,使它的应用范围受到一定的限制。使它的应用范围受到一定的限制。应变片主要性能指标举例应变
11、片主要性能指标举例 上表中,哪几个型号是半导体应变片?依据是什么?上表中,哪几个型号是半导体应变片?依据是什么?应应变变片片测测量量原原理理:在在外外力力作作用用下下,被被测测对对象象产产生生微微小小机机械械变变形形,贴贴在在对对象象上上的的应应变变片片随随着着发发生生相相同同的的变变化化,同时应变片电阻值也发生相应变化。同时应变片电阻值也发生相应变化。当当测测得得应应变变片片电电阻阻值值变变化化量量为为R时时,便便可可得得到到被被测测对象的应变值,进而得到产生该应变的外力。对象的应变值,进而得到产生该应变的外力。由由此此可可知知,应应变变力力正正比比于于应应变变,而而试试件件应应变变正正比比
12、于于电电阻阻值值的的变变化化,所所以以应应变变力力正正比比于于电电阻阻值值的的变变化化,这这就就是是利利用用应应变片测量应变的变片测量应变的基本原理基本原理基本原理基本原理。=E根据应变力与应变的关系,得到应变力根据应变力与应变的关系,得到应变力为为 3.2电阻应变片种类、材料及粘贴电阻应变片种类、材料及粘贴n电阻应变片的种类电阻应变片的种类 电阻应变片品种繁多电阻应变片品种繁多,形式多样。形式多样。常常用用的的应应变变片片可可分分为为两两类类:金金属属电电阻阻应应变变片片和和半半导导体体电电阻应变片阻应变片。n金金属属电电阻阻应应变变片片由由敏敏感感栅栅、基基片片、覆覆盖盖层层和和引引线线等
13、等部部分分组成组成,如图所示。如图所示。金属电阻应变片金属电阻应变片应变片的基本结构应变片的基本结构金属电阻应变片构成材料金属电阻应变片构成材料 敏感栅敏感栅敏感栅敏感栅作用:将应变量转换成电阻量作用:将应变量转换成电阻量要求:灵敏系数大且稳定,电阻率高,电阻温度系数小,要求:灵敏系数大且稳定,电阻率高,电阻温度系数小,易加工成细丝和箔材,具有良好的焊接性能和抗氧化性易加工成细丝和箔材,具有良好的焊接性能和抗氧化性能。能。材料:铜镍合金、镍铬合金等材料:铜镍合金、镍铬合金等金属电阻应变片构成材料金属电阻应变片构成材料 基底基底基底基底作用:保持敏感栅、引线的几何形状及其相对位置,被测构作用:保
14、持敏感栅、引线的几何形状及其相对位置,被测构件上的应变不失真地传递到敏感栅上。件上的应变不失真地传递到敏感栅上。要求:使敏感栅与弹性体之间具有足够高的电绝缘性能;要求:使敏感栅与弹性体之间具有足够高的电绝缘性能;要求:具有良好的机械特性和电绝缘性能。要求:具有良好的机械特性和电绝缘性能。材料:纸或有机高分子材料,如环氧树脂等。材料:纸或有机高分子材料,如环氧树脂等。金属电阻应变片构成材料金属电阻应变片构成材料 覆盖层覆盖层覆盖层覆盖层作用:保护敏感栅免受机械损伤和空气污染作用:保护敏感栅免受机械损伤和空气污染要求:具有良好的机械特性。要求:具有良好的机械特性。材料:纸或有机高分子材料等材料:纸
15、或有机高分子材料等金属电阻应变片构成材料金属电阻应变片构成材料 引线引线引线引线作用:连接敏感栅和测量电路作用:连接敏感栅和测量电路要求:灵敏系数大且稳定,电阻率高,电阻温度系数小,要求:灵敏系数大且稳定,电阻率高,电阻温度系数小,具有良好的焊接性能和抗氧化性能。具有良好的焊接性能和抗氧化性能。材料:紫铜,表面镀锡或镀银,便于焊接。材料:紫铜,表面镀锡或镀银,便于焊接。n根根据据敏敏感感栅栅的的形形状状,金金属属电电阻阻应应变变片片分分为为丝丝式式、箔箔式式和和薄薄膜膜式式三三种种,其其中中前前两两种种均均需需用用粘粘结结剂剂安安装装在在被被测测试试件上,属于件上,属于粘贴式粘贴式粘贴式粘贴式
16、应变片。应变片。金属电阻应变片金属电阻应变片n目前箔式应变片应用较多。目前箔式应变片应用较多。n金金属属丝丝式式应应变变片片使使用用最最早早。金金属属丝丝式式应应变变片片蠕蠕变变较较大大,金金属属丝丝易易脱脱胶胶,有有逐逐渐渐被被箔箔式式所所取取代代的的趋趋势势。但但其其价价格格便宜,多用于应变、应力的大批量、一次性试验。便宜,多用于应变、应力的大批量、一次性试验。n当当传传感感器器的的弹弹性性体体很很薄薄、尺尺寸寸很很小小时时,采采用用箔箔式式应应变变片片会会由由于于基基底底材材料料和和粘粘结结剂剂的的存存在在而而对对传传感感器器特特性性产产生生不利影响,可采用薄膜式应变片。不利影响,可采用
17、薄膜式应变片。图图3-2丝式金属电阻应变片的结构丝式金属电阻应变片的结构金属丝式应变片金属丝式应变片 n敏敏感感栅栅是是应应变变片片的的核核心心部部分分,它它是是应应变变片片中中将将应应变变量量转转换换成成电电阻阻变变化化量量的的电电阻阻体体,由由线线径径为为0.0120.05mm的的金金属属电电阻阻丝丝绕绕成成,它它粘粘贴贴在在绝绝缘缘的的基基片片上上,通通过过引引线线与与测测量量电电路路相相连,表面有一层起保护作用的覆盖层。连,表面有一层起保护作用的覆盖层。金属丝式应变片金属丝式应变片 金属箔式应变片金属箔式应变片 各式箔式应变花各式箔式应变花箔式应变片的基本结构箔式应变片的基本结构n箔箔
18、式式应应变变片片的的敏敏感感栅栅采采用用光光刻刻技技术术或或蚀蚀刻刻技技术术刻刻成成的的一一种种很很薄薄的的金金属属箔箔栅栅。根根据据不不同同的的测测量量要要求求,制成不同形状尺寸的敏感栅。制成不同形状尺寸的敏感栅。优点优点(1)尺寸准确,线条均匀,适应不同的测量要求,尺寸准确,线条均匀,适应不同的测量要求,(2)可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅)可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅 (3)与被测试件接触面积大,粘结性能好。)与被测试件接触面积大,粘结性能好。散热条件好,允许电流大,灵敏度提高。散热条件好,允许电流大,灵敏度提高。(4)横向效应横向效应可以忽略。可以忽略。(5)蠕变蠕变、机械滞
19、后小,疲劳寿命长。、机械滞后小,疲劳寿命长。金属薄膜应变片金属薄膜应变片 n采采用用真真空空蒸蒸发发或或真真空空沉沉积积等等方方法法在在薄薄的的绝绝缘缘基基片片上上形形成成厚厚度度在在0.1m以以下下的的金金属属电电阻阻材材料料薄薄膜膜敏敏感感栅栅,再加上保护层。再加上保护层。n优优点点:应应变变灵灵敏敏系系数数大大,允允许许电电流流密密度度大大,工工作作范范围广,易实现工业化生产。围广,易实现工业化生产。金属电阻应变片主要特性参数金属电阻应变片主要特性参数 几何尺寸几何尺寸几何尺寸几何尺寸栅长栅长栅宽栅宽基底长基底长基底宽基底宽金属电阻应变片主要特性参数金属电阻应变片主要特性参数 应变片电阻
20、值应变片电阻值应变片电阻值应变片电阻值没有安装也不受外力情况下,于室温时测定的电阻值;没有安装也不受外力情况下,于室温时测定的电阻值;电阻值大,可承受的电压值大,但提高电阻值会使敏感电阻值大,可承受的电压值大,但提高电阻值会使敏感栅尺寸变大;栅尺寸变大;常见值:常见值:60、120、200、350、500、1000(),),其中其中120和和350 最常见。最常见。金属电阻应变片主要特性参数金属电阻应变片主要特性参数 绝缘电阻绝缘电阻绝缘电阻绝缘电阻敏感栅与基底之间的电阻值敏感栅与基底之间的电阻值一般大于一般大于1010金属电阻应变片主要特性参数金属电阻应变片主要特性参数 灵敏系数灵敏系数灵敏
21、系数灵敏系数标称灵敏系数,标称灵敏系数,小于同种材料金属丝的灵敏系数。小于同种材料金属丝的灵敏系数。原因是应变片的横向效应和粘贴胶带来的应变原因是应变片的横向效应和粘贴胶带来的应变传递失真。传递失真。通常为通常为2左右左右 应变片的灵敏系数通过抽样应变片的灵敏系数通过抽样法测定,将电阻应变片粘贴法测定,将电阻应变片粘贴在一维应力作用下的试件上,在一维应力作用下的试件上,试件材料规定为泊松比为试件材料规定为泊松比为0.285的钢的钢金属电阻应变片主要特性参数金属电阻应变片主要特性参数应变极限应变极限指在一定的温度下,指示应变值与真实指在一定的温度下,指示应变值与真实应变的相对差值不超过规定值(一
22、般为应变的相对差值不超过规定值(一般为10)时的最大真实应变值)时的最大真实应变值j真实应变真实应变 g g指示应变指示应变 i i100%190%金属电阻应变片主要特性参数金属电阻应变片主要特性参数 最大工作电流最大工作电流最大工作电流最大工作电流应变片不因电流产生的热量而影响测量精度所允许通过的最大电流。静态测量时,最大工作电流为25mA;在动态测量时,可达75100mA。金属电阻应变片主要特性参数金属电阻应变片主要特性参数 极限工作温度极限工作温度极限工作温度极限工作温度应应变变片片在在规规定定条条件件下下,能能保保持持其其工工作作特特性性不不变变或或在在允允许许范围内变化的最高工作温度
23、或最低工作温度。范围内变化的最高工作温度或最低工作温度。应应变变片片粘粘贴贴在在被被测测试试件件上上,当当温温度度恒恒定定时时,其其加加载载特特性性与与卸卸载特性不重合,即为载特性不重合,即为机械滞后机械滞后机械滞后机械滞后。1 1机械应变机械应变 R R卸载卸载加载加载指指示示应应变变 i i 机械滞后机械滞后机械滞后机械滞后 机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关,加载时的机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关,加载时的机械应变愈大,卸载时的滞后也愈大。所以,机械应变愈大,卸载时的滞后也愈大。所以,通常在实验之通常在实验之前应将试件预先加、卸载若干次,以减少因机械滞后所产生前应将试件预先加
24、、卸载若干次,以减少因机械滞后所产生的实验误差。的实验误差。产生原因产生原因:应变片在承受机械应变后的残余变形,使敏感栅电阻应变片在承受机械应变后的残余变形,使敏感栅电阻发生少量不可逆变化;发生少量不可逆变化;在制造或粘贴应变片时,敏感栅受到的不适当的变形在制造或粘贴应变片时,敏感栅受到的不适当的变形或粘结剂固化不充分等。或粘结剂固化不充分等。对对于于粘粘贴贴好好的的应应变变片片,当当温温度度恒恒定定时时,不不承承受受应应变变时时,其其电阻值随时间增加而变化的特性,称为应变片的电阻值随时间增加而变化的特性,称为应变片的零点漂移零点漂移零点漂移零点漂移。产产生生的的原原因因:敏敏感感栅栅通通电电
25、后后的的温温度度效效应应;应应变变片片的的内内应应力力逐逐渐变化;粘结剂固化不充分等。渐变化;粘结剂固化不充分等。零漂零漂零漂零漂如如果果在在一一定定温温度度下下,使使应应变变片片承承受受恒恒定定的的机机械械应应变变,其其电电阻阻值值随随时时间间增增加加而而变变化化的的特特性性称称为为蠕蠕蠕蠕变变变变。一一般般蠕蠕变变的的方方向与原应变量的方向相反。向与原应变量的方向相反。产产生生的的原原因因:由由于于胶胶层层之之间间发发生生“滑滑动动”,使使力力传传到到敏敏感栅的应变量逐渐减少。感栅的应变量逐渐减少。蠕变蠕变蠕变蠕变电阻应变片的选择、粘贴技术电阻应变片的选择、粘贴技术 1.目测电阻应变片有无
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