湿度传感器幻灯片.ppt
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1、第1页,共24页,编辑于2022年,星期日湿度传感器湿度传感器湿度传感器,分为电阻式和电容式两种,产品的基本湿度传感器,分为电阻式和电容式两种,产品的基本形式都为在基片涂覆感湿材料形成感湿膜。空气中的形式都为在基片涂覆感湿材料形成感湿膜。空气中的水蒸汽吸附于感湿材料后,元件的阻抗、介质常数发水蒸汽吸附于感湿材料后,元件的阻抗、介质常数发生变化,从而制成湿敏元件。生变化,从而制成湿敏元件。第2页,共24页,编辑于2022年,星期日第3页,共24页,编辑于2022年,星期日湿敏电阻湿敏电阻 湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜,当空气中的水蒸气吸附
2、湿材料制成的膜,当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时,元件的电阻率和电阻值都在感湿膜上时,元件的电阻率和电阻值都发生变化,利用这一特性即可测量湿度。发生变化,利用这一特性即可测量湿度。湿敏电阻的种类很多,例如金属氧化特湿湿敏电阻的种类很多,例如金属氧化特湿敏电阻、硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等。敏电阻、硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等。第4页,共24页,编辑于2022年,星期日湿敏电容湿敏电容用高分子薄膜电容制成,常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、醋酸纤维等。湿度改变时,介电常数变化,电容量也变化,电容变化量与相对湿度成正比。优点:灵敏度高、响应速度快、湿度的滞后量小、便于制造、容易实现小型化和集成化。
3、生产厂家Humirel公司、Philips公司、Siemens公司等。以Humirel公司的SH1100型为例,其测量范围(1%99%)RH,在55%RH时的电容量为180pF(典型值)。当相对湿度从0变化到100%时,电容量的变化范围是163pF202pF。温度系数为0.04pF/,湿度滞后量为1.5%,响应时间为5s。第5页,共24页,编辑于2022年,星期日1.1.氯化锂湿敏元件氯化锂湿敏元件氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解,离子导电率氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解,离子导电率发生变化而制成的测湿元件。发生变化而制成的测湿元件。几种湿敏元件几种湿敏元件第6页,共24页,编辑于202
4、2年,星期日第7页,共24页,编辑于2022年,星期日第8页,共24页,编辑于2022年,星期日2.2.半导体陶瓷湿敏元件半导体陶瓷湿敏元件材料主要是金属氯化物,其电阻率随湿度增加而材料主要是金属氯化物,其电阻率随湿度增加而下降下降负特性湿敏半导瓷。负特性湿敏半导瓷。FeFe3 3O O4 4半导瓷的电阻率随着湿度的增加而增大半导瓷的电阻率随着湿度的增加而增大正特性湿敏半导瓷正特性湿敏半导瓷第9页,共24页,编辑于2022年,星期日第10页,共24页,编辑于2022年,星期日3.3.热敏电阻式湿敏元件热敏电阻式湿敏元件第11页,共24页,编辑于2022年,星期日4.4.高分子膜湿敏元件高分子膜
5、湿敏元件随高分子膜吸收或放出水份而引起电导率或电容变化随高分子膜吸收或放出水份而引起电导率或电容变化实现测量环境相对湿度。实现测量环境相对湿度。5.5.金属氧化物陶瓷湿敏元件金属氧化物陶瓷湿敏元件AlAl2 2O O3 3为主体湿敏体。为主体湿敏体。第12页,共24页,编辑于2022年,星期日集成湿度传感器集成湿度传感器集成湿度传感器的国外主要厂家集成湿度传感器的国外主要厂家Honeywell公司(HIH-3602、HIH-3605、HIH-3610型)Humirel公司(HM1500、HM1520、HF3223、HTF3223型)Sensiron公司(SHT11、SHT15型)。第13页,共
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