传感器第五章 电势式传感器原理与应用优秀课件.ppt

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1、传感器第五章 电势式传感器原理与应用第1页，本讲稿共79页5.1.1 磁电式传感器的工作原理磁电式传感器的工作原理5.1.2 动圈式磁电传感器5.1.3 磁阻式磁电传感器5.1.4 磁电式传感器的动态特性5.1 磁电式传感器第2页，本讲稿共79页5.1.1 磁电式传感器的工作原理 法拉第电磁感应定律：如果线圈是如果线圈是N匝，磁场强度是匝，磁场强度是B，每匝线圈的平均长度，每匝线圈的平均长度la，线圈相对磁场运动的速度为线圈相对磁场运动的速度为=dx/dt，则整个线圈中所产生的电动势为：则整个线圈中所产生的电动势为：第3页，本讲稿共79页不同类型的磁电式传感器磁通量的变化实现办法:磁铁与线圈之

2、间作相对运动；磁路中磁阻的变化；恒定磁场中线圈面积的变化.直接应用：测定速度 在信号调节电路中接积分电路，或微分电路，磁电式传感器就可以用来测量位移或加速度。第4页，本讲稿共79页5.1.1 磁电式传感器的工作原理5.1.2 动圈式磁电传感器动圈式磁电传感器5.1.3 磁阻式磁电传感器5.1.4 磁电式传感器的动态特性5.1 磁电式传感器第5页，本讲稿共79页5.1.2 动圈式磁电传感器 1.动圈式磁电传感器原理2.动圈式磁电传感器结构第6页，本讲稿共79页1.动圈式磁电传感器原理动圈式磁电传感器原理图 第7页，本讲稿共79页传感器原理 如果在线圈运动部分的磁场强度如果在线圈运动部分的磁场强度

3、B是均匀的，则当线圈是均匀的，则当线圈与磁场的相对速度为与磁场的相对速度为时，线圈的感应电动势：时，线圈的感应电动势：当当90，线圈的感应电动势为：，线圈的感应电动势为：当当N、B和和la恒定不变时，恒定不变时，E与与=dx/dt成正比，根据感应成正比，根据感应电动势电动势E的大小就可以知道被测速度的大小。的大小就可以知道被测速度的大小。第8页，本讲稿共79页2.动圈式磁电传感器结构磁电式传感器构成：1、磁路系统 由它产生恒定直流磁场。为了减小传感器的体积，一般都采用永久磁铁；2、线圈 由它运动切割磁力线产生感应电动势。作为一个完整的磁电式传感器，除了磁路系统和线圈外，还有一些其它元件，如壳体

4、、支承、阻尼器、接线装置等。第9页，本讲稿共79页磁电式振动传感器的结构原理 图图5.1.2 磁电式振动传感器的结构原理图磁电式振动传感器的结构原理图1-弹簧片弹簧片 2-永久磁铁永久磁铁 3-阻尼器阻尼器 4-引线引线 5-芯杆芯杆 6-外壳外壳 7-线圈线圈 8-弹簧片弹簧片第10页，本讲稿共79页5.1.1 磁电式传感器的工作原理5.1.2 动圈式磁电传感器5.1.3 磁阻式磁电传感器磁阻式磁电传感器5.1.4 磁电式传感器的动态特性5.1 磁电式传感器第11页，本讲稿共79页5.1.3 磁阻式磁电传感器 线圈和磁铁部分都是静止的，与被测物连接而运动的部分是用导磁材料制成的，在运动中，它

5、们改变磁路的磁阻，因而改变贯穿线圈的磁能量，在线圈中产生感应电动势。用来测量转速，线圈中产生感应电动势的频率作为输出，而电势的频率取决于磁通变化的频率。结构：开磁路、闭磁路 第12页，本讲稿共79页开磁路磁阻式转速传感器 1永久磁铁永久磁铁3感应线圈感应线圈2软铁软铁4齿轮齿轮 结构比较简单，但输出信号较小，结构比较简单，但输出信号较小，当被测轴振动较大时，传感器输出波形失真较大。当被测轴振动较大时，传感器输出波形失真较大。第13页，本讲稿共79页闭磁路磁阻式转速传感器 闭闭磁磁路路磁磁组组式式转转速速传传感感器器采用在振动强的场合，有下限工作频率（50Hz）传感器的输出电势取决于线圈中磁场变

6、化速度，第14页，本讲稿共79页5.1.1 磁电式传感器的工作原理5.1.2 动圈式磁电传感器5.1.3 磁阻式磁电传感器5.1.4 磁电式传感器的动态特性磁电式传感器的动态特性5.1 磁电式传感器第15页，本讲稿共79页5.1.4 磁电式传感器的动态特性 一个二阶系统。Vo为传感器外壳的运动速度，即被测物体运动速度；Vm为传感器惯性质量块的运动速度。等等效效机机械械系系统统第16页，本讲稿共79页若若V(t)为惯性质量块相对外壳的运动速度为惯性质量块相对外壳的运动速度幅频特性幅频特性相频特性相频特性 式中，式中，被测振动的角频率；被测振动的角频率；n传感器运动系统的固有角频率传感器运动系统的

7、固有角频率 传感器运动系统的阻尼比传感器运动系统的阻尼比运动方程运动方程第17页，本讲稿共79页磁电式速度传感器的频率响应特性曲线 只有只有n的情况下，的情况下，Av()1，相对速度，相对速度V(t)的大小才的大小才可以作为被测振动速度可以作为被测振动速度V0(t)的量度。因此磁电式速度传感器的量度。因此磁电式速度传感器的频率较低，一般为的频率较低，一般为1015Hz。第18页，本讲稿共79页测量振动速度的原理相对运动速度相对运动速度V（t）就是前面的线圈相对磁场的运动速度）就是前面的线圈相对磁场的运动速度dx/dt.传感器的输出电势传感器的输出电势E与相对速度与相对速度V（t）成正比，而）成

8、正比，而V（t）可以）可以度量被测振动速度度量被测振动速度V0（t），所以电势），所以电势E也可以度量也可以度量V0（t）。）。End the 5.1第19页，本讲稿共79页5.2 霍尔传感器5.2.1 霍尔传感器工作原理霍尔传感器工作原理5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路5.2.3 霍尔元件的主要特性参数5.2.4 霍尔元件误差及补偿5.2.5 霍尔式传感器的应用第20页，本讲稿共79页5.2.1 霍尔传感器工作原理 在金属或半导体薄片的两端通过控制电流，并在薄片的垂直方向上施加磁场，则在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势（霍尔电势），这种现象称为霍尔效应。第21页，本讲稿共79页霍尔效

9、应原理霍尔常数 第22页，本讲稿共79页载流子受洛仑兹力载流子受洛仑兹力 霍尔电场强度霍尔电场强度平衡状态平衡状态 电子运动平均速度电子运动平均速度 霍尔电势霍尔电势第23页，本讲稿共79页霍尔常数霍尔常数 霍尔常数大小取决于导体的载流子密度：霍尔常数大小取决于导体的载流子密度：金属的自由电子密度太大，因而霍尔常数小，霍尔电势也金属的自由电子密度太大，因而霍尔常数小，霍尔电势也小，所以金属材料不宜制作霍尔元件。小，所以金属材料不宜制作霍尔元件。霍尔电势与导体厚度霍尔电势与导体厚度d成反比：成反比：为了提高霍尔电势值，为了提高霍尔电势值，霍尔元件制成薄片形状。霍尔元件制成薄片形状。霍尔元件灵敏度

10、（灵敏系数）霍尔元件灵敏度（灵敏系数）半导体中电子迁移率（电子定向运动平均速度）比空穴迁半导体中电子迁移率（电子定向运动平均速度）比空穴迁移率高，因此移率高，因此N型半导体型半导体较适合于制造灵敏度高的霍尔元件，较适合于制造灵敏度高的霍尔元件，第24页，本讲稿共79页5.2 霍尔传感器5.2.1 霍尔传感器工作原理5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路霍尔元件的结构和基本电路5.2.3 霍尔元件的主要特性参数5.2.4 霍尔元件误差及补偿5.2.5 霍尔式传感器的应用第25页，本讲稿共79页5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路霍尔元件霍尔元件 第26页，本讲稿共79页5.2 霍尔传感器5.2.1

11、 霍尔传感器工作原理5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路5.2.3 霍尔元件的主要特性参数霍尔元件的主要特性参数5.2.4 霍尔元件误差及补偿5.2.5 霍尔式传感器的应用第27页，本讲稿共79页5.2.3 霍尔元件的主要特性参数：(1)输入电阻和输出电阻 输入电阻：控制电极间的电阻 输出电阻：霍尔电极之间的电阻(2)额定控制电流和最大允许控制电流 额定控制电流：当霍尔元件有控制电流使其本身在 空气中产生10温升时，对应的控制电流值 最大允许控制电流：以元件允许的最大温升为限制 所对应的控制电流值 第28页，本讲稿共79页(3)不等位电势Uo和不等位电阻ro 不等位电势：当霍尔元件的控制电流为

12、额定值时，若元件所处位置的磁感应强度为零，测得的空载霍尔电势。r 0称不等位电阻 第29页，本讲稿共79页(4)寄生直流电势 霍尔元件零位误差的一部分 当没有外加磁场，霍尔元件用交流控制电流时，霍尔电极的输出有一个直流电势 控制电极和霍尔电极与基片的连接是非完全欧姆接触时，会产生整流效应。两个霍尔电极焊点的不一致，引起两电极温度不同产生温差电势(5)霍尔电势温度系数 在一定磁感应强度和控制电流下，温度每变化1C时，霍尔电势变化的百分率第30页，本讲稿共79页5.2 霍尔传感器5.2.1 霍尔传感器工作原理5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路5.2.3 霍尔元件的主要特性参数5.2.4 霍尔元件

13、误差及补偿霍尔元件误差及补偿5.2.5 霍尔式传感器的应用第31页，本讲稿共79页5.3.4 霍尔元件误差及补偿1.不等位电势误差的补偿2.温度误差及其补偿第32页，本讲稿共79页1.不等位电势误差的补偿可以把霍尔元件视为一个四臂电阻电桥，不等位电势就相当于电桥的初始不平衡输出电压。第33页，本讲稿共79页不等位电势的补偿电路 不对称电路简单，而对称补偿的温度稳定性要好些不对称电路简单，而对称补偿的温度稳定性要好些 第34页，本讲稿共79页2.温度误差及其补偿温度误差产生原因：霍尔元件的基片是半导体材料，因而对温度的变化很敏感。其载流子浓度和载流子迁移率、电阻率和霍尔系数都是温度的函数。当温度

14、变化时，霍尔元件的一些特性参数，如霍尔电势、输入电阻和输出电阻等都要发生变化，从而使霍尔式传感器产生温度误差。第35页，本讲稿共79页减小霍尔元件的温度误差 选用温度系数小的元件采用恒温措施采用恒流源供电 第36页，本讲稿共79页恒流源温度补偿 霍尔元件的灵敏系数也是温度的函数，它随温度的变化引起霍尔元件的灵敏系数也是温度的函数，它随温度的变化引起霍尔电势的变化，霍尔元件的灵敏系数与温度的关系霍尔电势的变化，霍尔元件的灵敏系数与温度的关系 大多数霍尔元件的温度系数大多数霍尔元件的温度系数是正值时，它们的霍尔电势是正值时，它们的霍尔电势随温度的升高而增加（随温度的升高而增加（1+t）倍。同时，让

15、控制电流）倍。同时，让控制电流I相应地相应地减小，能保持减小，能保持KHI不变就抵消了灵敏系数值增加的影响不变就抵消了灵敏系数值增加的影响 第37页，本讲稿共79页恒流源温度补偿电路 当霍尔元件的输入电阻随温度升高而增加时，旁路分流电当霍尔元件的输入电阻随温度升高而增加时，旁路分流电阻自动地加强分流，减少了霍尔元件的控制电流。阻自动地加强分流，减少了霍尔元件的控制电流。第38页，本讲稿共79页控制电流控制电流 温度升到温度升到T时，电路中各参数变为时，电路中各参数变为 式中，式中，霍尔元件输入电阻温度系数；霍尔元件输入电阻温度系数；分流电阻温度系。分流电阻温度系。第39页，本讲稿共79页 为使

16、霍尔电势不变，补偿电路必须满足为使霍尔电势不变，补偿电路必须满足:升温前、后升温前、后的霍尔电势不变，的霍尔电势不变，经整理，忽略经整理，忽略 高次项后得高次项后得 用上式即可计算出分流电阻及所需的温度系数值用上式即可计算出分流电阻及所需的温度系数值 第40页，本讲稿共79页5.2 霍尔传感器5.2.1 霍尔传感器工作原理5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路5.2.3 霍尔元件的主要特性参数5.2.4 霍尔元件误差及补偿5.2.5 霍尔式传感器的应用霍尔式传感器的应用第41页，本讲稿共79页5.2.5 霍尔式传感器的应用优点:结构简单，体积小，重量轻，频带宽，动态特性好和寿命长应用：电磁测量：

17、测量恒定的或交变的磁感应强度、有功功率、无功功率、相位、电能等参数；自动检测系统：多用于位移、压力的测量。第42页，本讲稿共79页1.微位移和压力的测量测量原理：霍尔电势与磁感应强度成正比，若磁感应强度是位置的函数，则霍尔电势的大小就可以用来反映霍尔元件的位置。应用：位移测量、力、压力、应变、机械振动、加速度 第43页，本讲稿共79页产生梯度磁场的示意图 位移量较小，适于测量微位移和机械振动位移量较小，适于测量微位移和机械振动 第44页，本讲稿共79页霍尔式压力传感器 1.弹簧管弹簧管 2.磁铁磁铁 3.霍尔片霍尔片 第45页，本讲稿共79页加速度传感器 第46页，本讲稿共79页2.磁场的测量

18、在控制电流恒定条件下，霍尔电势大小与磁感应强度成正比，由于霍尔元件的结构特点，它特别适用于微小气隙中的磁感应强度、高梯度磁场参数的测量。霍尔电势是磁场方向与霍尔基片法线方向之间夹角的函数。霍尔电势是磁场方向与霍尔基片法线方向之间夹角的函数。应用：应用：霍尔式磁罗盘、霍尔式方位传感器、霍尔式转速传感器霍尔式磁罗盘、霍尔式方位传感器、霍尔式转速传感器End the 5.2第47页，本讲稿共79页5.3 压电式传感器5.3.1 压电式传感器的工作原理压电式传感器的工作原理5.3.2 等效电路及信号变换电路5.3.3 压电式加速度传感器5.3.4 压电式测力传感器第48页，本讲稿共79页5.3.1 压

19、电式传感器的工作原理电势型传感器 以压电效应为基础压电效应可逆 “双向传感器”正压电效应 加力 变形 产生电荷逆压电效应 施加电场 电介质产生变形 应力 常见的压电材料有石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。第49页，本讲稿共79页1.石英晶体的压电效应X轴：电轴或轴：电轴或1轴；轴；Y轴：机械轴或轴：机械轴或2轴；轴；Z轴：光轴或轴：光轴或3轴。轴。“纵向压电效应纵向压电效应”：沿电轴（：沿电轴（X轴）方向的力作用下产生电荷轴）方向的力作用下产生电荷“横向压电效应横向压电效应”：沿机械轴（：沿机械轴（Y轴）方向的力作用下产生电荷轴）方向的力作用下产生电荷在光轴（在光轴（Z轴）方向时则不产生压电效应。轴）

20、方向时则不产生压电效应。第50页，本讲稿共79页晶体切片 当沿电轴方向加作用力Fx时，则在与电轴垂直的平面上产生电荷 d11压电系数（压电系数（C/N）作用力是沿着机械轴方向作用力是沿着机械轴方向电荷仍在与电荷仍在与X轴垂直的平面轴垂直的平面第51页，本讲稿共79页切片上电荷的符号与受力方向的关系 图（图（a）是在）是在X轴方向受压力，轴方向受压力，图（图（b）是在）是在X轴方向受拉力，轴方向受拉力，图（图（c）是在）是在Y轴方向受压力，轴方向受压力，图（图（d）是在）是在Y轴方向受拉力。轴方向受拉力。第52页，本讲稿共79页石英晶体的压电效应（a）正负电荷是互相平衡的，所以外部没有带电现象。

21、）正负电荷是互相平衡的，所以外部没有带电现象。（b）在）在X轴方向压缩，表面轴方向压缩，表面A上呈现负电荷、上呈现负电荷、B表面呈现正电荷。表面呈现正电荷。（c）沿）沿Y轴方向压缩，在轴方向压缩，在A和和B表面上分别呈现正电荷和负电荷表面上分别呈现正电荷和负电荷 第53页，本讲稿共79页石英晶体 一种天然晶体，压电系数d112.311012C/N；莫氏硬度为7、熔点为1750、膨胀系数仅为钢的1/30。优点：转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550（压电系数不随温度变化而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。第54页，本讲稿共79页2.压电陶瓷的压电效应人

22、工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。压电陶瓷的极化压电陶瓷的极化第55页，本讲稿共79页陶瓷片极化 压电陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附的自由电荷示意图压电陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附的自由电荷示意图 自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符合相反而数值相等，自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符合相反而数值相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用，因此陶瓷片对外不表现极性。因此陶瓷片对外不表现极性。第56页，本讲稿共79页压电陶瓷的正压电效应 压电陶瓷片上加上一个与极化反向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，原来吸附在极板上的自由电荷，一部分被释放而出现放电现

23、象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。放电电荷的多少与外力的大小成比例关系放电电荷的多少与外力的大小成比例关系 第57页，本讲稿共79页常见压电陶瓷：（1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。（2）锆钛酸铅Pb（ZrTi）O3系压电陶瓷（PZT）压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以获得不同性能的PZT材料。（3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN）具有较高的压电系

24、数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。第58页，本讲稿共79页5.3 压电式传感器5.3.1 压电式传感器的工作原理5.3.2 等效电路及信号变换电路等效电路及信号变换电路5.3.3 压电式加速度传感器5.3.4 压电式测力传感器第59页，本讲稿共79页5.3.2 等效电路及信号变换电路1.压电元件的等效电路2.压电式传感器的信号调节电路第60页，本讲稿共79页1.压电元件的等效电路第61页，本讲稿共79页压电式传感器的等效电路(a)等效为一个电荷源等效为一个电荷源Q与一个电容与一个电容Ca并联的电路并联的电路(b)等效成一个电源等效成一个电源U=Q/Ca 和

25、一个电容和一个电容Ca的串联电路的串联电路 第62页，本讲稿共79页两个压电片的联接方式（a）“并联并联”，Q=2Q，U=U，C=2C并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大，并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大，适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的地方，适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的地方，（b）“串联串联”Q=Q，U=2U，C=C/2而串联接法输出电压大，本身电容小。而串联接法输出电压大，本身电容小。适宜用于以电压作输出信号，且测量电路输入阻抗很高的地方。适宜用于以电压作输出信号，且测量电路输入阻抗很高的地方。第63页，本讲稿共79页2.压电式传感器的信号调节电路

26、压电式传感器要求负载电阻RL必须有很大的数值，才能使测量误差小到一定数值以内。因此常先接入一个高输入阻抗的前置放大器，然后再接一般的放大电路及其它电路。测量电路关键在高阻抗的前置放大器。前置放大器两个作用:把压电式传感器的微弱信号放大；把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。第64页，本讲稿共79页（1）电压放大器Ca：传感器的电容：传感器的电容 Ra：传感器的漏电阻：传感器的漏电阻 Cc：连接电缆的等效电容：连接电缆的等效电容Ri：放大器的输入电阻：放大器的输入电阻Ci：输入电容：输入电容第65页，本讲稿共79页前置放大器输入电压前置放大器输入电压 压电元件的力压电元件的力 F=Fmsint压

27、电元件的压电系数为压电元件的压电系数为d11，产生的电荷为，产生的电荷为Q=d11F。输入电压的幅值输入电压的幅值 当作用力是静态力（当作用力是静态力（=0）时，前置放大器的输入电压为时，前置放大器的输入电压为零。原理上决定了压电式传感器不能测量静态物理量。压电式零。原理上决定了压电式传感器不能测量静态物理量。压电式传感器突出优点：高频响应相当好。传感器突出优点：高频响应相当好。第66页，本讲稿共79页传感器的低频响应范围 如果被测物理量是缓慢变化的动态量，而测量回路的时间常数又不大，则造成传感器灵敏度下降。因此为了扩大传感器的低频响应范围，就必须尽量提高回路的时间常数。但这不能靠增加测量回路

28、的电容量来提高时间常数，因为传感器的电压灵敏度与电容成反比的，切实可行的办法是提高测量回路的电阻。由于传感器本身的绝缘电阻一般都很大，所以测量回路的电阻主要取决于前置放大器的输入电阻。放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就越大，传感器的低频响应也就越好。第67页，本讲稿共79页电压放大器应用限制压电式传感器在与电压放大器配合使用时，连接电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。电压放大器与电荷放大器相比，电路简单，元件少，价格便宜，工作可靠，但是电缆长度对传感器测量精度的影响较大，在一定程度上限制了压电式传感器在某些场合的应用。第68页，本讲稿共79

29、页解决电缆问题的办法将放大器装入传感器中，组成一体化传感器。第69页，本讲稿共79页（2）电荷放大器压电式传感器另一种专用的前置放大器。能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比于输入电荷，因此，电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达10101012，输出阻抗小于100。使用电荷放大器突出的一个优点：在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。第70页，本讲稿共79页压电传感器与电荷放大器连接等效电路 K是放大器的开环增益，（是放大器的开环增益，（-K）表示放大器的输出与输入反相，）表示放大器的输出与输入反相，若开环增益足够高，则放大器的输入端的电位接近若开环增益足够

30、高，则放大器的输入端的电位接近“地地”电位。电位。第71页，本讲稿共79页充电电压接近等于放大器的输出电压充电电压接近等于放大器的输出电压 几点结论：几点结论：1、电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关，而与、电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等均无关系，放大器的放大系数的变化或电缆电容等均无关系，2、只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量、只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量Q变化成线变化成线形关系的输出电压。形关系的输出电压。3、反馈电容、反馈电容Cf小，输出就大，小，输出就大，4、要达到一定的输出灵敏度要求，就必

31、须选择适当的反馈电容。、要达到一定的输出灵敏度要求，就必须选择适当的反馈电容。5、输出电压与电缆电容无关条件：、输出电压与电缆电容无关条件：1+K）Cf（Ca+Cc+Ci）第72页，本讲稿共79页5.3 压电式传感器5.3.1 压电式传感器的工作原理5.3.2 等效电路及信号变换电路5.3.3 压电式加速度传感器压电式加速度传感器5.3.4 压电式测力传感器第73页，本讲稿共79页5.3.3 压电式加速度传感器压压缩缩式式压压电电加加速速度度传传感感器器结结构构第74页，本讲稿共79页测量原理当传感器感受振动时，质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力的作用。这样，质量

32、块就有一正比于加速度的交变力作用在压电片上。由于压电片压电效应，两个表面上就产生交变电荷，当振动频率远低于传感器的固有频率时，传感器的输出电荷（电压）与作用力成正比，亦即与试件的加速度成正比。输出电量由传感器输出端引出，输入到前置放大器后就可以用普通的测量仪器测出试件的加速度，如在放大器中加进适当的积分电路，就可以测出试件的振动速度或位移。第75页，本讲稿共79页5.3 压电式传感器5.3.1 压电式传感器的工作原理5.3.2 等效电路及信号变换电路5.3.3 压电式加速度传感器5.3.4 压电式测力传感器压电式测力传感器第76页，本讲稿共79页5.3.4 压电式测力传感器 压电元件是直接把力转换为电荷的传感器。变形方式：利用纵向压电效应的TE方式最简便。材料选择：决定于所测力的量值大小，对测量误差提 出的要求、工作环境温度等各种因素。晶片数目：通常是使用机械串联而电气并联的两片。晶片电气并联两片，可以使传感器的电荷输出灵敏度增大一倍。第77页，本讲稿共79页单向压电式测力传感器 用于机床动态切削力的测量。第78页，本讲稿共79页压电式压力传感器 测量均布压力的传感器 End the 5.3第79页，本讲稿共79页