光栅式传感器辩向精选课件.ppt
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1、关于光栅式传感器辩向第一页,本课件共有27页什么是光栅在玻璃或者金属上进行刻画,可以得到一系列密集刻线,这种具有周期性的刻线分布的光学元件称为光栅。光栅也称衍射光栅。它是一块刻有大量平行等宽、等距狭缝(刻线)的平面玻璃或金属片。光栅的狭缝数量很大,一般每毫米几十至几千条。单色平行光通过光栅每个缝的衍射和各缝间的干涉,形成暗条纹很宽、明条纹很细的图样,这些锐细而明亮的条纹称作谱线。谱线的位置随波长而异,当复色光通过光栅后,不同波长的谱线在不同的位置出现而形成光谱。光通过光栅形成光谱是单缝衍射和多缝干涉的共同结果。第二页,本课件共有27页计量光栅的种类第三页,本课件共有27页莫尔条纹计量光栅是利用
2、光栅的莫尔条纹进行精密测量的。莫尔条纹就是光栅式传感器工作的原理。莫尔条纹通常是由两块光栅叠加形成的。第四页,本课件共有27页莫尔条纹原理图在这些白色透光处两光栅透光部分叠加所以形成了亮带,而在黑色遮光处两光栅不透光部分进行叠加形成了暗带。这种由光栅重叠形成的图案称为莫尔条纹。第五页,本课件共有27页长光栅莫尔条纹的周期为:其中 :标尺光栅也称主光栅1的光栅常数;:指示光栅2的光栅常数;:两光栅的夹角;第六页,本课件共有27页莫尔条纹重要的性质1.运动的对应关系当主光栅向右边运动一个栅距时,莫尔条纹向下移动一个条纹间距B。反之亦然。所以光栅传感在测量时,可以根据莫尔条纹的移动量和移动方向判定光
3、栅的位置量和位移方向。主光栅移动一个光栅距=指示光栅上一个莫尔周期。在主光栅移动时指示光栅上就会有上下移动的明暗相间的条纹,所以我们只要数出明暗相间的次数就可以知道莫尔条纹经过了多少周期,从而在间接的推断出主光栅移动了多少了光栅距离。第七页,本课件共有27页主光栅左右移动方向=指示光栅上下移动方向。指示光栅向上移动,主光栅则向坐移动,反之亦然。所以我们根据判定指示光栅上莫尔条纹的移动方向就可以判断主光栅的移动方向了。2.位移的放大作用由于光栅角 非常的小,根据公式可知:第八页,本课件共有27页尽管栅距很小,很难观察,但是我们的莫尔条纹却清晰可见。这非常有利于布置接受莫尔条纹信号的光电器件。第九
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