二氧化硅薄膜及其钝化.ppt

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1、液相法沉积法制备的二氧化硅薄液相法沉积法制备的二氧化硅薄膜及其钝化性能膜及其钝化性能报告人：王志刚学号：14722075 2014-10-21材料制备方法材料制备方法-功能薄膜功能薄膜1 目目 录录结论结论 4结果与讨论结果与讨论 3实验过程实验过程2引言引言 12引言3 晶体硅太阳能电池目前是居主导地位的光伏器晶体硅太阳能电池目前是居主导地位的光伏器件，在生产和应用总量中占首位，并将向效率更高、件，在生产和应用总量中占首位，并将向效率更高、成本更低的方向发展。成本更低的方向发展。晶体硅材料表面的质量对太阳能电池的转化效晶体硅材料表面的质量对太阳能电池的转化效率起着至关重要的作用，这是因为晶硅

2、材料的表面率起着至关重要的作用，这是因为晶硅材料的表面缺陷密度很高，存在大量的缺陷密度很高，存在大量的悬挂键悬挂键、杂质和断键等，、杂质和断键等，成为载流子的复合中心，导致硅片表面的成为载流子的复合中心，导致硅片表面的少子寿命少子寿命大大降低，因此需要对硅片进行表面钝化，以减少大大降低，因此需要对硅片进行表面钝化，以减少载流子复合。一般而言载流子复合。一般而言，通过采用热氧化通过采用热氧化SiOSiO2 2生长生长工艺（工艺（900900）可以对晶体硅表面进行有效钝化可以对晶体硅表面进行有效钝化，抑制载流子在表面的复合。抑制载流子在表面的复合。引言4 悬挂键悬挂键：一般晶体因晶格在表面处突然终

3、止，在表面的最一般晶体因晶格在表面处突然终止，在表面的最外层的每个原子将有一个未配对的电子，即有一个未饱和外层的每个原子将有一个未配对的电子，即有一个未饱和的键，这个键称为悬挂键。的键，这个键称为悬挂键。引言5 少子寿命少子寿命：太阳能电池光电流是光激发产生非平衡载流子，太阳能电池光电流是光激发产生非平衡载流子，并在并在pnpn结作用下流动产生的。载流子的复合会使光电流减结作用下流动产生的。载流子的复合会使光电流减少，少子寿命越小光电流越小。同时少子寿命减小，增加少，少子寿命越小光电流越小。同时少子寿命减小，增加漏电流从而使开路电压减小。总之，少子寿命越小，电池漏电流从而使开路电压减小。总之，

4、少子寿命越小，电池效率越低。效率越低。由于非平衡少子起着很重要的作用，通常所说的非平由于非平衡少子起着很重要的作用，通常所说的非平衡载流子是指非平衡少数载流子。衡载流子是指非平衡少数载流子。引言 但是硅片中体少子寿命对高温工艺的敏感性非常高，尤其是对于但是硅片中体少子寿命对高温工艺的敏感性非常高，尤其是对于多晶硅片多晶硅片，900900以上的以上的热氧化工艺通常可导致体少子寿命的明显衰退。热氧化工艺通常可导致体少子寿命的明显衰退。等离子体增强化学气相沉积（等离子体增强化学气相沉积（PECVD)PECVD)生长生长SiNSiNx x薄膜薄膜,具有低温、具有低温、低低成本等优点，因此成本等优点，因

5、此 SiN SiNx x钝化成为晶硅电池表面的主要钝化工艺，但是钝化成为晶硅电池表面的主要钝化工艺，但是SiNSiNx x/Si/Si界面晶格失配严重，其钝化性能不如界面晶格失配严重，其钝化性能不如SiOSiO2 2/Si/Si。液相沉积具有沉积温度低（液相沉积具有沉积温度低（30305050)、选择性生长、沉积速率快、选择性生长、沉积速率快、无需真空环境、设备简单、薄膜质量好等优点。无需真空环境、设备简单、薄膜质量好等优点。6 目目 录录实验过程实验过程2引言引言 17实验过程8硅片表面预硅片表面预处理处理配置溶液配置溶液液相沉积二液相沉积二氧化硅薄膜氧化硅薄膜实验过程 实验所用衬底面积为实

6、验所用衬底面积为 125cm125cm 125cm125cm厚度为厚度为(2010)(2010)m m、电阻率为、电阻率为1 13 3cmcm的的P P型型单晶硅片单晶硅片。硅片表面预处理硅片表面预处理：将硅片在：将硅片在4 4HFHF溶液中浸泡溶液中浸泡5min5min，然后去离子水，然后去离子水中浸泡中浸泡1h1h，硅表面状态为，硅表面状态为Si-OHSi-OH。配置溶液：量取适量的分析纯氟硅酸（配置溶液：量取适量的分析纯氟硅酸（H H4 4SiOSiO4 4)溶液，其浓度为溶液，其浓度为30304040，然后加入高纯硅酸（，然后加入高纯硅酸（H H4 4SiOSiO4 4)粉末粉末(99

7、.99(99.99)至溶液饱和，至溶液饱和，判断溶液饱和的标志是往里加入过氧化氢时，溶液会显示橙黄色。判断溶液饱和的标志是往里加入过氧化氢时，溶液会显示橙黄色。将上述溶液磁力搅拌将上述溶液磁力搅拌20min20min，溶液温度调节为，溶液温度调节为4040，把预处理好的，把预处理好的硅片放入溶液中进行液相沉积二氧化硅薄膜。硅片放入溶液中进行液相沉积二氧化硅薄膜。9实验过程-实验仪器 利用利用场发射扫描电镜场发射扫描电镜(JEOL JSM-7001F)(JEOL JSM-7001F)对薄膜的微观对薄膜的微观形貌进行观察。形貌进行观察。采用德国采用德国BRUKERBRUKER公司的公司的Ver-t

8、ex 70VVer-tex 70V型型傅立叶红外光傅立叶红外光谱仪谱仪(FTIR)(FTIR)测定测定SiOSiO2 2薄膜的官能团结构。薄膜的官能团结构。利用利用Thermo ScientificThermo Scientific公司的公司的ESCALab250ESCALab250型型X X射线光射线光电子能谱仪电子能谱仪对薄膜成分进行分析，激发源为单色化对薄膜成分进行分析，激发源为单色化Al KAl KX X射线，功率为射线，功率为150W150W，分析时的基础真空度约为，分析时的基础真空度约为6.5106.510-8-8PaPa，结合能用烷基碳或污染碳的，结合能用烷基碳或污染碳的ClsC

9、ls峰峰(284.8eV)(284.8eV)校正。校正。少数载流子寿命由微波光电导衰减少数载流子寿命由微波光电导衰减(-PCD)-PCD)测试，利测试，利用用SemilabSemilab公司生产的公司生产的WT-2000WT-2000型型-PCD-PCD仪仪对样品进行少子对样品进行少子寿命测量，测量时采用波长为寿命测量，测量时采用波长为904nm904nm、脉冲宽度、脉冲宽度200ns200ns的激的激光激发光生载流子，每个脉冲产生的载流子数为光激发光生载流子，每个脉冲产生的载流子数为12010120101111。10实验过程-实验仪器傅立叶红外光谱仪傅立叶红外光谱仪(FTIR)(FTIR)原

10、理：用一定频率的红外线聚焦照射被分析原理：用一定频率的红外线聚焦照射被分析的试样，如果分子中某个基团的振动频率与照射红外线相同就会产生的试样，如果分子中某个基团的振动频率与照射红外线相同就会产生共振，这个基团就吸收一定频率的红外线，把分子吸收的红外线的情共振，这个基团就吸收一定频率的红外线，把分子吸收的红外线的情况用仪器记录下来，便能得到全面反映试样成份特征的光谱，从而推况用仪器记录下来，便能得到全面反映试样成份特征的光谱，从而推测化合物的类型和结构。测化合物的类型和结构。11实验过程-实验仪器WT-2000型型-PCD仪仪原理：使用波长为原理：使用波长为904nm的激光激发硅片产生电的激光激

11、发硅片产生电子子-空穴对，导致样品电导率的增加，当撤去外界光注入时，电导率空穴对，导致样品电导率的增加，当撤去外界光注入时，电导率随时间指数衰减，这一趋势间接反映了少数载流子数量的衰减趋势。随时间指数衰减，这一趋势间接反映了少数载流子数量的衰减趋势。通过微波（频率为通过微波（频率为10.225GHz）探测硅片电导率随时间的变化就可以）探测硅片电导率随时间的变化就可以得到少数载流子的寿命。得到少数载流子的寿命。12 目目 录录结果与讨论结果与讨论 3实验过程实验过程2引言引言 113结果与讨论-薄膜的微观组织14 沉积后薄膜的微观形貌如图沉积后薄膜的微观形貌如图1 1所示，可以看到液相沉积获所示

12、，可以看到液相沉积获得的二氧化硅薄膜比较致密平整，均匀地覆盖在硅表面。得的二氧化硅薄膜比较致密平整，均匀地覆盖在硅表面。3 30000温度下快速热退火温度下快速热退火5min5min后薄膜的表面形貌见图后薄膜的表面形貌见图1(c)1(c)，经过退火处理后二氧化硅薄膜表面变得更平整、更致密。，经过退火处理后二氧化硅薄膜表面变得更平整、更致密。图图1 1 液相沉积液相沉积SiOSiO2 2薄膜的扫描电镜照片。（薄膜的扫描电镜照片。（a a）沉积态薄）沉积态薄膜表面；（膜表面；（b b）沉积态薄膜界面；（）沉积态薄膜界面；（c c）退火态薄膜表面。退火态薄膜表面。结果与讨论-薄膜的成分结构15 图图

13、2 2为液相沉积为液相沉积SiOSiO2 2薄膜的光电子能谱谱图，可以看到液薄膜的光电子能谱谱图，可以看到液相沉积生长的薄膜中主要含有相沉积生长的薄膜中主要含有SiSi、O O、F F和和C C元素，其中元素，其中C C元素元素为校正元素。为校正元素。结果与讨论-薄膜的成分结构16图图3 Si2p3 Si2p和和OlsOls的高分辨光电子能谱的高分辨光电子能谱 图图3 3中中，Si2pSi2p的峰位于的峰位于103.6eV103.6eV结合能处，从结合能处，从99eV99eV（Si)Si)到到103.6 103.6 eV(SiOeV(SiO2 2)之间没有其它的峰位出现，之间没有其它的峰位出现

14、，说明说明SiSi元素是以元素是以SiOSiO2 2的形式的形式存在于薄膜之中，并且峰形单一平滑，表明利用液相沉积法能在存在于薄膜之中，并且峰形单一平滑，表明利用液相沉积法能在SiSi基底上制备质量良好的基底上制备质量良好的SiOSiO2 2薄膜；薄膜；OlsOls的峰位于的峰位于533.04eV533.04eV结合能结合能处，并且峰的形状非常对称，说明形成的氧化物薄膜具有非常高处，并且峰的形状非常对称，说明形成的氧化物薄膜具有非常高的化学纯度。的化学纯度。结果与讨论-薄膜的成分结构17 图图4 4中，中，1103，815，463cm-1等处的峰值分别代表等处的峰值分别代表Si-O-Si的非对

15、称振动吸的非对称振动吸收峰收峰、对称振动吸收峰对称振动吸收峰、摇摆振动吸收峰摇摆振动吸收峰，而且如此强的振动吸收峰说明所而且如此强的振动吸收峰说明所生成的生成的SiO2网络排布规则网络排布规则，具有很好的化学稳定性。位于具有很好的化学稳定性。位于938cm-1处的处的Si-F振动吸收峰来源于在薄膜振动吸收峰来源于在薄膜生生长过程溶液中的部分长过程溶液中的部分F F离子以离子以Si-F-Si的形式停留的形式停留在薄膜中。对于在薄膜中。对于622、746、1270cm-1所对应的所对应的Si-Si、Si-C、Si-CH3均来源于均来源于硅衬底。硅衬底。另外值得注意另外值得注意的是的是3330375

16、0cm-1处并没有观察到处并没有观察到OH振动吸收峰，说振动吸收峰，说明液相沉积生长的薄膜中不含水分子明液相沉积生长的薄膜中不含水分子，薄膜生长有序薄膜生长有序，质量较好。质量较好。结果与讨论-薄膜的性能研究18 图5是多晶硅制绒和液相沉积二氧化硅薄膜后的反射光谱，可以看到，在可见光波段，液相沉积二氧化硅薄膜后的硅片的反射率大大降低。图5 多晶硅制绒和液相沉积二氧化硅薄膜后的反射光谱结果与讨论-薄膜的性能研究19 液相沉积二氧化硅的减反射效果可用加权平均反射率Ra表示：其中R()为整体的反射率,N()为标准太阳光谱AM1.5G、1000W/cm2射光子通量。经过计算得到，3001000nm波段

17、范围内,液相沉积二氧化硅薄膜后的加权平均反射率分别为10.88，远低于酸制绒硅片的28.87。结果与讨论-薄膜的性能研究20 WT2000测试的少子寿命是硅片的有效少子寿命，衡量的是体少子复合和表面少子复合速度的综合值。为了提取出表面少子复合信息，可以通过如下公式进行计算：其中eff代表有效少子寿命，bulk代表体少子寿命，Seff是表面少子复合速度，W 是硅片厚度。为了更直接反映二氧化硅的表面钝化效果，我们将通过此公式把有效少子寿命换算成表面复合速度进行表征。结果与讨论-薄膜的性能研究21图6 退火温度与时间对表面退火温度与时间对表面符合速率的影响符合速率的影响 退火温度与退火时间对液相沉积

18、SiO2薄膜钝化性能的影响见图6。随退火温度的升高，表面复合速度下降，薄膜钝化效果变好。高于300，继续升高退火温度反而使钝化特性变差。退火温度为300时，随着退火时间的增加，表面复合速度先下降，至退火时间为300s时达到最低，随后随着退火时间的增加，表面复合速度又呈增加趋势。与未沉积薄膜的硅片相比，表面复合速度由6923cm/s降低至2830cm/s。目目 录录结论结论 4结果与讨论结果与讨论 3实验过程实验过程2引言引言 122结论结论a.a.利用液相沉积方法成功在硅基底上制备了二氧化硅薄膜，薄膜致密平利用液相沉积方法成功在硅基底上制备了二氧化硅薄膜，薄膜致密平整，均匀覆盖在硅片表面，成分中含有少量的整，均匀覆盖在硅片表面，成分中含有少量的F F元素。元素。b.b.液相沉积二氧化硅薄膜后，硅在液相沉积二氧化硅薄膜后，硅在3003001100nm1100nm波段范围内的反射率由波段范围内的反射率由28.8728.87降低至降低至10.8810.88。c.c.研究了退火温度和退火时间对液相沉积二氧化硅薄膜钝化性能的影响研究了退火温度和退火时间对液相沉积二氧化硅薄膜钝化性能的影响，300300退火退火 660s 660s，表面复合速度从，表面复合速度从6923cm/s6923cm/s降低至降低至2830cm/s2830cm/s。2324