《ELA基础介绍》PPT课件.ppt

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1、ELA基础知识介绍Array-MFG2015/09/10Locfe南城Outline1.ELA与LTPS制程2.准分子激光退火系统3.ELA工艺技术4.ELA工艺测试ELAELA简介简介准分子就是一种处于激发态的复合粒子，在标准状态下，即在基态时，它处于分离状态，而在激发态处于分子状态。常见的准分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr*ELAELA简介简介为什么选用准分子激光？为什么选用准分子激光？准分子激光对应的紫外波段，a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数紫外光的注入深度较小，可以减小激光对玻璃基板的作用ELAELA与与LTPSLTPS制程制程ELAELA与与LTPSLTP

2、S制程制程ELAELA与与LTPSLTPS制程制程 2.准分子激光退火系统(2)准分子激光原理、结构及参数(1)准分子激光退火系统的结构(3)光学系统构成简介(4)退火腔结构简介ELA系统基本组成准分子激光退火系统准分子激光退火系统TCZ&JSW ELA System overview准分子激光退火系统准分子激光退火系统-ELA System overview准分子激光原理、结构及参数准分子激光原理、结构及参数-激光器原理准分子激光原理、准分子激光原理、结结构及参数构及参数-激光器原理准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、结结构及参数构及参数构及参数构及参数-Lase

3、r tube designLaser tube design准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、结结构及参数构及参数构及参数构及参数-Laser tube design准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、结结构及参数构及参数构及参数构及参数LasingIon branchDischarge Xe，F2Xe，Xe*，Xe+，F2，F-Xe*，F2 Xe+，F-(XeF)*Xe，FNeutral branch351 nme-+XeXe+e-+e-e-+XeXe*+e-e-+F2F-+FXe+F-+M(XeF)*+MXe*+F2(XeF)*+F

4、Pumping:Stimulated:(XeF)*+hXe+F+2h(351nm)Losses:(XeF)*Xe+F+h(351nm)(XeF)*+MXe+F+M(XeF)*+M+XeXe2F+MX+h(351nm)X*准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、结结构及参数构及参数构及参数构及参数-Laser architectureLaser architecture准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、准分子激光原理、结结构及参数构及参数构及参数构及参数-Gas lifetime准分子激光原理、准分子激光原理、结构及参数构及参数-参数参数准分子激光原理、准分

5、子激光原理、结构及参数构及参数-参数参数Peak to Peak Energy Fluctuation准分子激光原理、准分子激光原理、结构及参数构及参数-参数参数Pulse durationPulse duration准分子光学系准分子光学系统简介介光学系统示意图准分子光学系准分子光学系统简介介Monitor system示意图准分子光学系准分子光学系统简介介Beam Short Axis&Long AxisShort Axis Slope准分子光学系准分子光学系统简介介退火腔退火腔结构构简介介退火腔室结构退火腔退火腔结构构简介介Scan Process3.ELA工艺技术(1)晶化机制(2)主

6、要参数薄膜吸收与加热薄膜吸收与加热薄膜表层熔融薄膜表层熔融热能传导热能传导部分熔融部分熔融接近完全熔融接近完全熔融完全熔融完全熔融激光照射激光照射多晶硅晶化过程ELAELA工艺技术工艺技术-晶化机制ELAELA工艺技术工艺技术-主要参数Energy Density Vs Melt regimeELAELA工艺技术工艺技术-主要参数Overlap Vs PitchOverlap相邻两个shot之间的重合程度Pitch相邻两个shot之间的距离Overlap=(Beam Width-Pitch)/Beam WidthOverlap Vs.Grain SizeELAELA工艺技术工艺技术-主要参数ELAELA工艺技术工艺技术-主要参数CVD Thin Film ConcernELAELA工艺技术工艺技术-主要参数Dehydrogen4.ELA工艺测试(2)SEM测试(3)AFM测试(1)宏观检查(4)-PCD测试ELAELA工艺技术工艺技术-宏观检查宏观检查-MuraELAELA工艺技术工艺技术-SEM测试ELAELA工艺技术工艺技术-AFM测试ELAELA工艺技术工艺技术-AFM测试Surface Maphology MechanismELAELA工艺技术工艺技术-PCD测试Thanks