SCHMID制绒培训讲义.ppt

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1、一区培训 衣明俊 1理论篇23制绒基础知识制绒基础知识一、制绒流程和原理制绒流程和原理二、设备操作安全二、设备操作安全三、化学药品的安全及和急救措施三、化学药品的安全及和急救措施四、安四、安 全全 设设 施施五五操操 作作 控控 制制 系系 统统六、六、机器操作机器操作七、零件名称与符号七、零件名称与符号八、设备维修计划八、设备维修计划4一工艺流程硅片装载刻蚀制绒清洗碱洗中和清洗疏水清洗烘干硅片卸载目的：1.去除硅片表面损伤层2.硅片表面被加工形成均匀有规则的绒面（降低光的反射率）5 在这台设备我们首先应该了解什么叫制绒，所谓制绒就是把切下表面不在这台设备我们首先应该了解什么叫制绒，所谓制绒就

2、是把切下表面不规则锯齿型硅片，通过某种生产工艺使硅片表面加工成均匀有规则的绒面规则锯齿型硅片，通过某种生产工艺使硅片表面加工成均匀有规则的绒面（降低光的反射率），使它成为我们制造电池所需要的表面结构。目的是（降低光的反射率），使它成为我们制造电池所需要的表面结构。目的是获得表面结构完全相同结构（凹陷的底、顶）获得表面结构完全相同结构（凹陷的底、顶）0.01mm适合的原则。适合的原则。6 硅片表面绒面化硅片表面绒面化 由于硅片用由于硅片用P P型硅片，可利用酸性溶液对硅片进行各型硅片，可利用酸性溶液对硅片进行各向同性腐蚀的特点来制备绒面。可以得到整齐均匀的凹向同性腐蚀的特点来制备绒面。可以得到整

3、齐均匀的凹陷组成的绒面。绒面具有受光面积大，反射率低的特点。陷组成的绒面。绒面具有受光面积大，反射率低的特点。可提高单晶硅太阳电池的短路电流，从而提高太阳电池可提高单晶硅太阳电池的短路电流，从而提高太阳电池的光电转换效率。的光电转换效率。7 硅片表面绒面受光面积：（绒面硅片表面绒面受光面积：（绒面金字塔形金字塔形的理解计算）的理解计算）金字塔形角锥体的表面积金字塔形角锥体的表面积S0S0等于等于四个边长为四个边长为a a正三角形正三角形S S之和之和 由此可见有绒面的受光面积比光由此可见有绒面的受光面积比光面提高了倍即面提高了倍即1.7321.732倍。倍。8 硅片表面绒面反射率：硅片表面绒面

4、反射率：当一束强度为当一束强度为E0E0的光投射到图中的的光投射到图中的A A点，产生反射光点，产生反射光1 1和进入硅和进入硅中的折射光中的折射光2 2。反射光。反射光1 1可以继续投射到另一方锥的可以继续投射到另一方锥的B B点，产生二点，产生二次反射光次反射光3 3和进入半导体的折射光和进入半导体的折射光4 4；而对光面电池就不产生这；而对光面电池就不产生这第二次的入射。经计算可知还有第二次的入射。经计算可知还有11%11%的二次反射光可能进行第三次反的二次反射光可能进行第三次反射和折射，由此可算得绒面的反射率为射和折射，由此可算得绒面的反射率为9.04%9.04%。9 硅片表面酸制绒反

5、应机理：硅片表面酸制绒反应机理：HNOHNO3 3给硅表面提供空穴，打破了硅表面的给硅表面提供空穴，打破了硅表面的Si-HSi-H键，使键，使SiSi氧化成氧化成SiOSiO2 2,然后然后HFHF溶解溶解SiOSiO2 2，并生成络合物，并生成络合物H H2 2SiFSiF6.6.从而导致硅表面发生从而导致硅表面发生各向同性非均匀性腐蚀，形成粗糙的多孔硅层。有利于减少光反射，各向同性非均匀性腐蚀，形成粗糙的多孔硅层。有利于减少光反射，增强光吸收。增强光吸收。3Si+4HNO3Si+4HNO3 3+18HF 3H+18HF 3H2 2SiFSiF6 6+4NO+8H+4NO+8H2 2O O

6、基本反应式基本反应式：10硅片沉浸在酸溶液浴槽里，表面刻蚀掉0.001mm11在这个生产工艺过程中按照工作区域可分为9个模组(M1M9)。12 M1和M9模组为硅片输送与跟踪监测，它安装几个监测用的传感器和一个脉冲传感器。其中监测传感器能够正确反应电池片是否到达，在进口处安装一个监测气体浓度传感器，它是用来监测酸的挥发气体是否超标，预防操作人员受到伤害。脉冲发生器是记录传送多长距离。1mm=1脉冲机器通过传感器和脉冲发生器的信息PLC可准确电池片的位置。总之监测传感器和脉冲传感器都可以用来监测硅片的数量。硅片可以通过传送轮导向机构进行规正。13M1M9传送系统是通过驱动电机带动从动轮上的齿轮传

7、递的，由于齿轮传动比稳定可靠，因此设备采用齿轮传送。14M1M9硅片是通过定中心滚轮、传送轮、定位轮传送的。15M2M8都有自己的排风装置。(如图所示）16其中各个单元内部都有自己的排风设施。其中包括药槽内部、工作药槽内部、单元部分（如图所示）。17M2用制成的HF-HNO3药液沉浸硅片进行硅片刻蚀。1819 M3清洗硅片,在清洗过程中，三个缸的水位是不同的，其中硅片进入第一个槽时，清洗所使用的水是不纯净的，当硅片进入水第三液时这时才是纯净水，这种设计的目的就是节约用水。M5、M7清洗硅片与M3功能相同。20硅片在清洗单元中过程是：清洗-吸吮（特制海绵滚轮）-吹干。21 M4用制成的KOH药液

8、沉浸硅片，其目的进行多孔硅表面处理和抛光，其中药液的浓度是通过电导率控制（KOH电离浓度）。2223M6硅片在制成的HF和HCI溶液进行疏水（中和去除金属离子）,其中HCl是去除金属离子，HF起疏水作用。24 M8硅片烘干处理,它是通过两台空气压缩泵，通过两次过滤（粗过滤、细过滤），最终送到两组风刀中对硅片进行烘干，空气最终温度可达到40度，它的工作原理是一个物理变化过程，就是气体分子之间的距离由小变大的过程，也就是一个散热的过程。25最后我们还要对硅片进行检测，不符合要求的硅片剔除，检测方式有倒影的测量、显微镜观测硅片表面的结构、称重。26二 设备操作安全 安全和事故预防是每个现场工作必需遵

9、守的，在这一章里最重要是安全操作指南及总结概述。在工作中任何情况下必须服从安全说明，由于不正确的操作会造成对员工生命的威胁和生命危险，也会产生机械装置及公司运作的其他材料资产的损害。在运输安装、调试装备、使用、设计、操作、服务以上所有人员，必须认真遵守以下安全说明。另外在生产者的手册里及其它成分必须遵守安全操作指南。在机器上应为操作者提供危险标示符号在此机器上工作操作人员必须明白和密切注意机器上的警示标示。（如图所示）27 戴上安全防护眼镜 戴上安全防护手套 穿上安全防护服 戴上呼吸安全器 戴上护目镜 未经许可不许进入 警告：有害原料 警告：有热辐射伤害28 警告：有触电危险 警告：当心机器旋

10、转 警告：当心夹手 警告：当心挤压的危险 警告：当心机器开启的危险 警告：有毒原料 警告：有酸原料 警告：小心路滑29 每一个独立的设备都要遵守安全标准和规则。这个设备按照描述和示意的文件它是安全的。从各个单元零件和设备仍然会导致危险，因此我们特别提示在危险区域使用者，应当被告之使用的文件，尤其使用者必须被授权（有资格）。使用者对设备操作系统、安全系统和事故预防系统的规则清楚，并且在此设备上培训。必须阅读掌握安全警示说明进行确认签字。要很明确指定相关人员的责任进行操作，例如操作、安装、服务必须有专人负责。除了相关操作使用说明以外还有以些补充说明，例如工作组织机构、工作程序、工作人员（包括必要的

11、管理人员）！要定期仔细检查这台设备操作人员。采取必要措施保证设备完全安全的情况下使用！30 培训这台设备的使用人员在火灾发生时，要有报警和灭火意识。要为操作人员制作保护性服装。要给工人和服务人员说明工作必要安全知识。遵守这台设备安全和警示标示，并且让他们在工作中保持清晰头脑。经常说明设备的工作环境。要告之现场操作人员急救设备和灭火材料位置。要把设备的操作按钮远离危险区域，确保设备操作按钮直接能看到。这台设备必须安装合适的保护装置。不要改变结构和程序说明,因为会导致不安全，除非得到从事这台设备生产者（工艺）的同意。改变设备状态包括（软件和硬件）要需生产者特定的培训，除非有约定。要求设备操作人员说

12、明必要的法律规定和设备功能的附加条款。操作指南是防止不适当的习惯操作和浪费材料。31 所有从事操作设备的工人在工作前保证以下条件。遵守操作安全和事故预防基本规则。在这个文件里已经阅读和理解安全并签字。为了所有有关人员的利益请遵守以下规定。除了这个文件以外，遵守基本法律和其他有关操作安全和事故预防的规定也要保护周围环境。禁止任何伤害人生安全危险方式操作。注意设备上的所有警示标示。在操作设备上禁止长头发、领带或其他松散的衣服及首饰。使用合适的保护性服装。在移除保护装置时设备禁止工作，安全门在正常模式必须关门。注意灭火呼叫及灭火的可能性，并且注意灭火器的位置。在没有制造商认可禁止结构改变和程序修改，

13、因为那些会导致不安全。在紧急情况下应立即关闭设备上蘑菇状按钮，当危险解除时应通知各设备负责相关人员。32合格的员工是经过基本的培训、经历、指导以及能很好理解事故预防程序规则并且能够预知危险。必须遵守最低法定年龄有资格和培训过的人才能在此设备工作和安装。明确指定操作、服务、修理人员。当开始工作时，经过培训有资格操作人员必须要接受有经验丰富人员监管。这些安全预防措施对湿处理区域系统是有效的，并且与化学药品安全使用规则一致。33（一）：为了自身的安全遵必须守以下规定1.在工作间里严格禁止明火、抽烟。2.在工作中严格禁止吃、喝、抽烟和刀是的。3.在工作间严格禁止打手机。4注意机器上的警示标示。5不要靠

14、近和攀爬机器。6.机器开始运转确保没有人在危险之中，7.严格禁止正在运动机器中传送工具或机器零件8.在有高危险和绊脚的单元中要从房间的后面走过，保证不要踩到软管。349.必须穿戴完整的防护服。10.不要攀登、座、站在没有使用的管子和电缆。11.在机器上焊接、烘烤、及砂纸打磨工作周围环境必须认可，因为哪有爆炸及火灾的危险。12.在每次换班时核查机器上隐患和缺陷。13.核查所有电缆线和管子及设备他们的外表是否存在危险、排列是否整齐。发现隐患立即通知负责时人员。15核查设备上排风系统功能是否正常。16.潮湿的太阳能电池板不能接触传感器防止降低它们的功能。35（二）设备的安全：1.机器设备不正确安全操

15、作是严格禁止的！2不能更改移动任何安全设施。3.机器运转中机器底座正面的盖子一直保持关闭的，因为机器在转动时，接触它们会带来危险。4.不能随便更改机器上的安全设施。5.必须有专业知识和经验的人才能许可在空压设备上工作。6.用电设备可能在带电的情况下总开关也会发生爆炸。7.必须有资格的人才能在电器设备上工作。368.不允许冲洗和液体飞溅在电器设备上，这样可能引起电击。9.如果工作人员存在生命危险另外一人必须在现场随时按下紧急停止按钮。10.工作区域必须用红白相间的安全链条维护起来和警告标志。11.带电设备必须用绝缘工具。（三）：化学制品安全：1.在连接管和化学药品的槽之间的设备必须专人负责。2从

16、事化学药品工作避免与皮肤直接接触。374.在吃饭和喝水之前必须把手彻底清洗干净。按照规则处理储备物品和洗涤剂。5根据急救医学常识，必须遵守有关氢氟酸的规定。6酸的活动性很强因此工作人员必须使用合适的防护服（例如脸部防护用具、橡胶围裙、橡胶手套）。7在工作时必须穿着合适的保护服和围裙。3.每一项工作后必须洗澡把自己用过的工具彻底清洗干净。8在有害气环境工作时必须戴好过滤装置的防毒面具。9工作要仔细避免液体泼洒。10维修工作后从事人员必须用手冲洗使用过工具中和液体保证工具清洁。3811泄露蒸发的气体必须通过排气系统排出。12制定规则将液体碰洒或溢出必须处理现场，这些原料不能随意流向地面必须回收到污

17、水处理系统。13在进入空的容器里之前检查容器里的氧气和气体。14注意！不要在设备里准备酸或碱金属，因为在稀释的过程中能释放很高的温度，这对机器有很大危害。15吸入工作中的原料和废弃原料蒸发的气体易导致危害及生命危险（防护服(安全罩)。3916注意！液体对人体有腐蚀性危害，任何人在设备修补过程中穿过的防护服所有单元必须冲洗干净。17防护服必须能够抵抗相关酸相关化学药品的腐蚀。包括护目镜、手套、合成纤维的围裙、橡胶工作裤、橡胶鞋等等防护服必须能够抵抗酸的腐蚀。18.当清洗设备、零件、备件每一项工作时必须戴手套，因为那里表面可能残留酸的余液氢氟酸设备特殊19.当在设备前面的滑门打开时，要有必须保护措

18、施，包括胶靴、脸部要有护目镜全面遮护。20.在有害气体浓度高于2.5ppm情况下呼吸必须采取保护措施（戴上呼吸安全器）。4020.在有害气体浓度高于2.5ppm情况下呼吸必须采取保护措施（戴上呼吸安全器）。21在维修工作过程中和清洗单元，必须全面穿保护服。（在清洗单元维护前后）22.注意！在放空液体之前液缸的加热必须关闭15分钟，预防剩余热量对加热单元破坏。23.在已经开启机器运转单元里不允许灰尘进入。（四）：在维护支持工作中也存在危险1.在维修工作中必须关闭总开关断绝工作单元的联系，预防工作中带来危害。2.进行泵的压力测试使他保持运转状态。413.用水冲洗过的单元关闭盖子、滑板玻璃窗及关闭单

19、元后门。4.机器启动前确保所有门窗是否关闭后再开机。.5.当被一个电池片闭塞干扰时；在生产期间移除电池片必须穿上护短依、戴上防化学长手套、围裙。将充满溢流就近滑行的玻璃窗打开将其清除，使用过的工具用水冲洗干净。6.过滤器如果有缺陷必须打开设备盖子泵必须停止工作。最好在停机更换过滤器。7.更换过滤器单元后，泵启动前遵照规定拧紧盖子避免渗漏。为了自身的安全必须总开关是关闭的，避免泵开启时造成无关人员伤害。8 严格预防措施必须接受，工作中前后门完全关闭的。429.不能在有压力管和过滤器危险区域工作。10.接触这些材料使用的手套耐用性不小于8小时。11.手套材料氟化物合成厚度不能小于0.4mm。接触材

20、料的手套磨损(穿孔)不能小于4小时。12.手套材料丁基合成橡胶不能小于0.5mm接触这些材料的手套磨损（穿孔）不能小于2小时。聚碳酸脂材料不能小于0.5mm.14，维护人员必须穿防护服。在没有适当的防护服不许进到设备里。4315.为了安全禁止随意改变和更改机器上控制系统（软件）目录，换有缺部分必须使用原来准被SCHMID公司认可备份或这些标。16必须拥有Gebr.SCHMID授权的人和持有书面认可才能编辑改动机器上的控制系统目录。17.在这台机器上工作必须了解使用说明和懂得规则，这些法律和规则都是为了使用国家防止意外事故必须遵循的。只有遵从安全操作说明才能延长机器的使用寿命。18.在工厂里专职

21、运送的人员必须为防止意外事故做好安全和管理。4419.运送员工在里面必须保持设备部件遮盖物一定的距离。20.装备与安装不能在机器工作中进行的，因为在拆卸防护装置时机器都在移动运转因此存在一定伤害的危险。21.维修、服务和清洁处理不能在运转工作中进行。22.服务钥匙开关 只有经授权有资格的人使用。23.在维护单元中通过的泵工艺安全开关要求必须自动关闭的。4524.注意当安全开关指向1和盖子打开时，所有泵全部继续运转。当开关盖子打开时，所有泵开关都是打开运转的，但也有个别泵是通过时间间隔和待命方式控制的因此必须做好最大限度的预防措施。至于这些间隔时间或正在待命运转的开关来说，虽然在停止状态但它们是

22、独立的只是不做连续运转，当有人打开单元工作时必须防止泵的意外开启。25.防护装置在分解安全装置整个活动过程中，机器无意中启动也会给我们带来伤害的危险。4626.停电维修工作，必须进行设备保护装置的检查和设备校对它的功能，重新安装安全装置。完成维修和服务工作后，必须进行设备保护装置的检查和校对它的功能，重新安装安全装置。27.至于机器异常停机开关就是预防其他人无意碰撞和开启以免造成操作混乱来说的安全措施。当你发现异常的操作的、运转的行为，同样可以按下机器的异常停机开关。28.温度异常泵的预检方式可以用手感触泵是否在运转状态，但不能在充满化学药剂的机器里进行测试，29有关化学药品的使用为维护做好时

23、间的安排，注意特定的日期。减少不必要多余的储存，这样才能延长机器的平均使用寿命。30不恰当的运输或忽视列出的使用说明，将会带来不安全隐患和危害。47三 化学药品的安全及和急救措施下面讲一下化学药品的安全及和急救措施，由于设备生产中使用了许多化学药品，其中包括HF/HNO3/KOH/HCI的几种化学药品，尤其是HF/HNO3 这两种化学药品对人浓度很强对人伤害极大，因此SCHMID公司在所有存在这几种化学药液管路、设备制造中都采用了PVDF材料，由于PVDF材料具有抗酸碱、强度好的优点，确保生产的使用安全。同时在生产过程中会产生一些对人体有害的气体以及易燃气体，在这方面SCHMID公司相应地 4

24、8安装了一些保护装置，在制绒工序里每个单元都安装了排风装置包括储存缸内部、工作部、整个单元内部等三部分。同时也安装了许多灵敏传感器，其中包括测试气体浓度传感器、液面传感器、普通传感器、温度测试系统。其中浓度传感器是测试有害气体在单元中浓度是否超标，如果超标传感器就会给PC控制系统发出指令，报警器就会发出鸣声，同时机器两侧和控制面板上的红灯就会不停地闪烁。这时操作及现场人员应及时撤离，机器立即停止运转，49事故应由有授全（设备工程师）人员及时处理，同时处理人员必须穿防护服处理现场，事故处理完毕后有害气体符合安全要求，现场操作人员才能进入现场工作。液面传感器可以用来测试液面高度，也就是说用来监测工

25、作液面防止液体外溢，如果药液溢出要及时找出原因停机处理，以免造成人员的伤害。在此工作环境中所有液体禁止与皮夫接触，必须用PH试纸测试后进行处理，如果是酸液可用氢氧化钙药液清除，如果是碱用拖把擦干冲洗掉。50我们说酸在制绒设备中无处不在，必须特别注意。下面说一下当人接触到酸液时的急救方法：（接触酸安全时间为60秒）当酸液溅到衣服或皮肤上时，在人接触酸液60秒内尽快将其擦干，用药液清洗干净，最后用药膏擦拭。当酸液溅到眼睛时必须在1分钟内进行药液冲洗20分钟，如果用手触摸有疼痛冲洗时间，为了避免另一只眼睛受其伤害，眼睛保持转动清洗，直到将眼睛剩余残渣清洗干净，最后用过的手必须洗净。51当呼吸系统受到

26、伤害时，要及时把人抬到安全地方呼吸新鲜空气，护理人员要穿防护服以免受其伤害，将药物喷入受害人口中定量供给，经过以上措施后，必须及时通知医院和医生再进行医学处理。52四 安 全 设 施左边图形是一个控制开关，它是用来控制设备上滑动门窗的。当钥匙方向指向1时，通过门窗边缘的传感器给PC指令，使门窗上定位销通过气缸的作用撤出，这时门窗就可以打开但不影响机器正常运转。53当钥匙方向指向0时，通过门窗边缘的传感器给PC指令，使门窗上定位销通过气缸的作用将门窗锁定，这时门窗是关闭不能打开的，如要强行打开门窗机器将全部停止工作。54当触摸保护开关时，机器所有运作必须立即自动停止。因此要求工作中禁止所有人触及

27、保护开关，除非存在人身安全及设备重大隐患急需处理。55这是药缸中一个抽液装备，它的作用是当模组后面出现渗漏时（管路），这时托盘中液面通过一个传感器给PC发出信号，然后PC给泵发出开启指令，通过吸水装置把液体吸干。这样才能对设备进行维护处理（穿防护服）。另外它还可以通过单元内部的开关操作。56安全恒温调节器，它是用来监测药缸内部药液的温度的，当药液温度超标时信息就反应到PC，通过PC发出指令给气动阀，(这时所有机器停止运转)，然后阀门打开供液直到温度达到工作要求,机器自动开启。57质量监督控制设备，包括普通、数字流量计，其中药液的多少可通过数字流量计控制自动补液的数量。58这时监测沉浸单元液面水

28、平，当液面低于我们设置时，自动补液装置就会自动供给，直到满足要求。59五 操 作 控 制 系 统60功能：1：过程管理和控制。2：报告储存和分析。3：趋势储存和分析。4：修改方法、加载和储存。5：管理和授权。6：管理物件和授权。7：维修计划和记录。61模组导航 ：1选择模块2模块底色可用三种颜色表示3红色为警告。（必须处理）4黄色为预警。（要处理）5蓝色为正常。机器概述62重要菜单按钮63确认身分(语言类别)，假如选择英文，那么在显示屏出现英文菜单。如按下机器按钮，右边辅助菜单我们可以接受使用的文件。按下右所需边按钮就可获取机器信息。6465如果按下趋势按钮可显示储存模拟数据有价值的参数。可显

29、示5种储存模拟数据在某时刻生产状态。66创建、更改、储存的方法67如果按下（组、类）按钮，例如入口处不同类别清楚说明68如果按下使用按钮（用户账单的创）69如果按下维护按钮从事维护活动计划和记录70 绿色：在规定的界限里面工作正常。黄色：在规定的界限里有超越趋势需要关注。(预示警告)红色：在规定的界限里已被超越需要处理。（警告）灰色：设备没有运转。黑色：设备在运转。蓝色：管子、泵、阀在药缸中的运转。深蓝：冷却液温度没有达到使用要求。71721：语言选择 2：信息目录 3：机器状态 4：完全关闭 5：激活触摸屏 6：活泼的方法7：电池片制作数量73如果按下F1按钮，触摸屏由暗色变成绿色，机器开始

30、运转。如果按下F2按钮，触摸屏上的文字变成红字，机器停止工作。如果按下F3按钮，那么维护开关是打开的，其余开关是受约束的。如果按下F4按钮，那么恢复信息，复位信号。74如果按下F5,那么生产处于(停工、待料)期。在这菜单中可以准确看到损害原因记录。如果按下F6，在这菜单中能准确反应一星期的工作情况的时间。如果按下F7，在这菜单中显示不同测试数据及管理信息系统。75如果按下F8,在这菜单中显示使用者姓名及密码（进入工作和离开工作状态）。如果按下F9,在这菜单中显示机器全部预警和警告菜单如果按下F10,在这菜单中显示机器控制的单元参数。76 六.机器操作:1.机器开始运转，逆时针旋转90度 2.非

31、常停止按钮全部解除77 3用力按下控制柜开启按钮和控制台上按钮（机器开始工作）784.控制柜按钮打开同时计算机键盘功能也全部打开。795.按下F8按键，显示屏出现菜单栏，一填写用户姓名，二用户密码。806，如果输入错误请按F4重新输入。7在F1 Start菜单明显看出，机器开启按下键盘F1或开关柜开启按钮。81 开机前必须注意的事项：1.提供高压空气的设备是否准备完毕。2.提供供水系统的设备是否准备完毕。3.提供化学药剂的设备是否准备完毕。4.工作间玻璃门窗和槽箱盖子是否关闭。5.提供排气系统的设备是否准备完毕。当机器开启时，如要开门窗必须将钥匙开关指向1的位置。82当设备需要维护时必须将维护

32、钥匙开关指向F1或按下触摸屏F3 maintenance83七 零件名称与符号8485868788八设备维修计划899091 最后简单的说一下PSG去磷硅玻璃，它与制绒设备区别在于M2单元、M6及排风设备。硅片在制绒设备中全部沉浸在药液中全面刻蚀，而PSG去磷硅玻璃设备中，硅片是离开液面通过骨轮和升降旋转结构进行边缘刻蚀。M6不同的是PSG去磷硅玻璃设备中药液只有HF酸一种，而制绒中HF和HCl是两种药液。而两台设备中的排风设施也不同，其中PSG去磷硅玻璃设备中M2M8有各自的排风设施。北京捷宸阳光科技发展有限公司 逄崇伟 宋金明 2009年12月92思考题1.写出制绒工艺的工艺流程写出制绒工艺的工艺流程2.制绒设备使用了哪些化学品？制绒设备使用了哪些化学品？3.操作过程中一旦有化学品溅到皮肤上，应操作过程中一旦有化学品溅到皮肤上，应如何处理？如何处理？