冷却塔之节水策略.ppt
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1、却塔之节水策略研究却塔之节水策略研究 在高科技电子产业包括晶圆代工,IC半导体产业,TFT-LCD等产业厂中用水大小除了取决于制程产及产能用率之外,在公用空调系统中占全厂用水的5%20%,主要耗水点则在SCRUBBER及COOLING TOWER水损失补水上,因此空调用水为电子厂业之主要节水潜。前言AUO Proprietary&Confidential简介 1.却水塔简介探讨 2.水塔耗水分析 3.却水塔节水方法 4.实际案例比较 5.结与建议 却却 水水 塔塔 简简 介介 探探 讨讨却水塔原理却水塔是将系统所热交换后回之高温却水,经由分配管喷嘴洒在鳍片(FIN)表面上,同时与风扇(FAN)
2、所产生的强制对空气相互接触,此时,热水与空气之间即产生显热热交换作用。少部份的热水被蒸发成气态水蒸气,而吸收蒸发潜热再低却水之温而形成低温之却水回至系统。然而,大部分却塔中,皆有一或多个旋桨或心式风扇使空气铅直或水平地通过却塔,而以喷嘴喷水或使水沿却塔由一阻板向下洒到另一阻板,即造成很大的水面积。却水塔却后之低温(32)却水却水泵浦配管至各制程系统显热之热交换(高温却水)回至却水塔之分配管/喷嘴形成小水滴经散热材与风扇所吸入之空气进显热及潜热之热交换(低温却水)却水水池却水泵浦再泵送至各制程系统形成一循环回。却水塔的程却水塔的程却水塔在应用上约有以下几种型式分类:1.依通风方式可分:自然通风式
3、(natural draft type)强制通风式(mechanical draft type)2.依风扇位置可分:吹入式(forced draft type)吸入式(induced draft type)3.依空气与水相对方向可分:交错(cross flow type)逆型(counter flow type)却水塔种却水塔种各型式分类示意图各型式分类示意图却水塔,理论上可将循环水却到接近入塔空气的湿球温,但它也是为循环水能够被却的温最低下限,所以水塔的APPROACH越小代表确能越高,初制成本也提升。RANGE AND APPROACH选择却水塔大小之考虑因素水塔耗水分析 却水塔在运转过程
4、中耗水可以分四个部份,分别为蒸发损失(evaporation loss)、飞散损失(drift loss)、溅洒损失(splash loss)、排放损失(blow-down loss)。却水塔耗水途径却水塔耗水途径 却水塔的却过程中,大部份的水蒸发至大气当中,同时也以汽化潜热方式,达到却效果低水温,此即为蒸发损失。水的蒸发,对于水塔水损而言,是在所难免的,因为水的显热(Sensible Heat)远小于潜热(Latent Heat)。也是能将热排除的主因。然而,蒸发损失的多寡完全取决于水塔四周的空气含水的重要因素,但外气因素无法由人为控制,故只能任由外气蒸发其散失。注:(蒸发潜热597.3卡/
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